一种大口径深型非球面镜检测系统技术方案

一种大口径深型非球面镜检测系统包括菲索型干涉仪、部分补偿器、被测非球面镜、电控平移台及其计算机控制系统，部分补偿器把干涉仪标准镜头出射的参考平面波前转换为非球面波前，通过计算机控制电控平移台移动部分补偿器，产生的参考非球面波前将与被测非球面相应的环带区域相匹配，通过干涉仪把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来，由环形子孔径“拼接”算法将所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息。本发明专利技术具有所需补偿器容易制造和装调等优点，为大口径、大相对口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学检测技术，特别是一种针对旋转对称的大口径深型非球面镜检测系统，属于先进光学制造与检测

技术介绍
随着光学加工和检测技术的不断发展，以非球面镜为关键部件的大口径光学系统在天文、空间光学和军事等领域得到了愈来愈广泛的应用，而且所需非球面镜口径和相对口径越来越大。大口径非球面镜的制造需要相应的检测技术。然而，对大口径非球面镜进行高精度检测仍然存在很多挑战。在大口径非球面镜的抛光加工阶段，通常的定量检测方法由无像差点法和补偿器零检验法。无像差点法仅适用于二次曲面的检测，除凹椭球面不用辅助镜可实现独立检验和扁球面没有无像差点之外，其余二次曲面无像差点检验均要用一辅助镜；然而对于大口径深型非球面镜所需的高精度辅助镜通常制造困难，价格昂贵，对于超大口径的非球面镜更是难以实现。补偿器零检验法是广泛使用的一种大口径非球面镜的检测方法，该方法的实质是借助补偿器把平面或球面波前转换为与被测非球面镜理论形状重合的非球面波前，由补偿器出射的波前，可以看作是叠在被检非球面镜上的无接触样板，其最大优点在于所适用的辅助元件(补偿器)的直径比被检验镜直径小得多。为了对被测非球面镜作出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大口径深型非球面镜检测系统，其特征在于：包括菲索型干涉仪、部分补偿器、被测非球面镜、电控平移台及其计算机控制系统，部分补偿器位于菲索型干涉仪和被测非球面镜之间，平行置于入射光路中，部分补偿器把干涉仪标准镜头出射的参考平面波前转换为非球面波前，使得其与被检非球面理论形状较直接出射的球面波前更接近，然后通过计算机控制电控平移台移动部分补偿器，所产生的一系列参考非球面波前将与被测非球面相应的环带区域相匹配，在所匹配的环带区域里的入射参考非球面波前与被测非球面表面之间的偏离量将减小到干涉仪的测量范围内，产生一系列环带干涉条纹，通过干涉仪把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来，由环形子孔径拼接算法将...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：侯溪，伍凡，杨力，吴时彬，陈强，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]