【技术实现步骤摘要】
探测装置及检测设备
本技术涉及检测设备
，尤其是检测设备的探测装置。本技术还涉及设有所述探测装置的检测设备。
技术介绍
现有光学检测仪器一般由光源单元、探测单元以及控制单元组成，其中，探测单元是光学检测仪器的重要组成部分，探测单元将直接影响检测结果的准确性。在利用探测单元对待测对象，如晶圆、LCD基板、OLED基板及手机壳等进行检测时，首先需要调整探测单元与待测对象之间的位置关系，以便于准确对待测对象进行探测。一般探测单元包括信号光收集组件和探测器，其中，信号光收集组件用于将待测对象表面的信号光进行收集并将信号光成像至探测器的探测区域，探测器用于依据信号光形成探测信息，如图像信息或光强度信息等。对探测单元进行调整时包括对信号光收集组件和探测器进行调整，以使得探测单元获得准确的探测信息，而现有探测单元在进行调整时灵活性差，调整过程繁琐复杂，不利于提高检测效率和检测精度，有待于作出进一步的改进。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种探测装置。该探测装置的各个部分可以单独进行调整，使得该探测装置具有较高的灵活性，其调整过程简单且便于实现，可显著提高检测效率和检测精度。本技术的另一目的是提供一种设有所述探测装置的检测设备。为实现上述目的，本技术提供一种探测装置，其特征在于，包括：第一镜筒、第二镜筒和探测组件；所述第一镜筒的内部形成有第一光学通路，所述第一光学通路设有收集透镜组，所述第二镜筒的内部形成有第二光学通路，所述探测组件与所述第二镜筒连接；所述第一...
【技术保护点】
1.探测装置，其特征在于，包括：第一镜筒、第二镜筒和探测组件；所述第一镜筒的内部形成有第一光学通路，所述第一光学通路设有收集透镜组，所述第二镜筒的内部形成有第二光学通路，所述探测组件与所述第二镜筒连接；所述第一镜筒与第二镜筒的对接端通过连接组件连接，所述连接组件用于调节所述第一镜筒与第二镜筒之间的位置。/n
【技术特征摘要】
1.探测装置，其特征在于，包括：第一镜筒、第二镜筒和探测组件；所述第一镜筒的内部形成有第一光学通路，所述第一光学通路设有收集透镜组，所述第二镜筒的内部形成有第二光学通路，所述探测组件与所述第二镜筒连接；所述第一镜筒与第二镜筒的对接端通过连接组件连接，所述连接组件用于调节所述第一镜筒与第二镜筒之间的位置。
2.根据权利要求1所述的探测装置，其特征在于，所述连接组件包括：第一轴向调节机构和第一轴向固定机构，所述第一轴向调节机构调节所述第一镜筒相对于所述第二镜筒沿第一光学通路光轴方向的位置，所述第一轴向固定机构固定所述第一镜筒相对于所述第二镜筒沿第一光学通路光轴方向的位置。
3.根据权利要求2所述的探测装置，其特征在于，所述第一轴向调节机构包括第一螺纹副，所述第一螺纹副包括设于所述第一镜筒对接端的外螺纹或内螺纹和设于所述第二镜筒对接端的内螺纹或外螺纹，所述第一镜筒的对接端与所述第二镜筒的对接端通过螺纹相连接。
4.根据权利要求3所述的探测装置，其特征在于，所述第一轴向固定机构包括设于所述第一螺纹副外围以锁紧所述第一螺纹副的第一卡扣。
5.根据权利要求1所述的探测装置，其特征在于，所述探测组件包括第三镜筒和探测器，所述探测器通过第三镜筒与第二镜筒连接，所述第三镜筒包括第三镜筒a或第三镜筒b，所述第三镜筒a和第三镜筒b能够以更换的形式分先后次序分别连接于所述第二镜筒；所述探测器包括用于安装在所述第三镜筒a的第一探测器或用于安装在所述第三镜筒b的第二探测器。
6.根据权利要求5所述的探测装置，其特征在于，所述第三镜筒与第二镜筒通过第二轴向固定机构相连接，所述第二轴向固定机构包括第二螺纹副，所述第二螺纹副包括设于所述第二镜筒对接端的外螺纹或内螺纹和设于所述第三镜筒对接端的内螺纹或外螺纹，所述第二镜筒的对接端与所述第三镜筒的对接端通过螺纹相连接。
7.根据权利要求6所述的探测装置，其特征在于，还包括第三轴向固定机构，所述第三轴向固定机构包括设于所述第二螺纹副外围以锁紧所述第二螺纹副的第二卡扣。
8.根据权利要求5所述的探测装置，其特征在于，所述第一探测器包括面阵探测器，所述第二探测器包括线阵探测器。
9.根据权利要求5所述的探测装置，其特征在于，所述第三镜筒b设有光学元件，所述光学元件用于使所述收集透镜组收集到的信号光整形后进入所述第二探测器。
10.根据权利要求9所述的探测装置，其特征在于，所述光学元件包括滤光片或偏振片。
11.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，黄有为，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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