高温高压氦检漏方法及其检漏装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了在高温高压条件下，对工件进行氦检漏的高温高压氦检漏方法及其检漏装置。本发明专利技术的方法包括：ａ）对检漏装置的真空室抽真空，使其真空度达到１×１０↑［－３］Ｐａ；ｂ）对真空室加热待其温度升至３８０℃时进行恒温控制；ｃ）对真空检测系统标定；ｄ）对被测工件预抽真空，使之达到１～１０Ｐａ；ｅ）对被测工件充０．１～１．５ＭＰａ的氦气；ｆ）对被测工件再次抽真空，使真空度降至１０Ｐａ以下；ｇ）真空室温度降至室温，取出被测工件。本发明专利技术的装置由真空检漏装置、真空室加热及温控装置、工件预抽真空及充氦进排气装置和氦质谱检漏仪组合而成。本发明专利技术优点是检测方法简单，检测结果可靠，检测灵敏度高达０．５×１０↑［－１１］Ｐａ.ｍ↑［３］／ｓ，既能满足常温、常压又能满足高温高压条件下对被测工件的氦检漏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种检测工件密封性能的检测方法及其检测装置，具体涉及 氦气检漏方法及所用检漏装置。技术背景为了检测工件的密封性能，必须进行氦质谱检漏。关于真空氦检漏的设 备和方法很多，目前的真空检漏系统， 一般为常温、常压真空氦检漏系统。如中国专利CN200420115241.2所公开的检漏设备，采用真空室法氦检漏技 术，检测装置可以对被检测工件充压，装置包括带上盖的容器，上盖与容器 之间的固体密封材料，带检漏仪吸管的检漏仪，置于容器外的检漏气源，和 与被检产品连接的密封夹具，容器的下部为液腔，液腔与上盖之间为集气腔， 上盖设有一端与集气腔相通、另一端与检漏仪吸管相通的检漏孔，被检产品 置于液腔内并通过检漏气源通入检漏气体。由于该系统采用液腔液体加热， 检测温度较低，而不能用于高温高压环境下的工件的氦检漏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在高温高压条件下，对工件密封性能进行 检测的高温高压氦检漏方法，并提供应用这种方法对工件进行检测所用的检 漏装置。本专利技术的目的是通过实施下述技术方案实现的 一种被测工件髙温高压氦检漏方法，包括以下步骤第一步，对检漏装置的真空室抽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种被测工件的高温高压氦检漏方法，包括以下步骤：第一步，对检漏装置的真空室抽真空，使真空室的真空度达到１×１０↑［－３］Ｐａ；第二步，当真空室的真空度达到１×１０↑［－３］Ｐａ时，对真空室进行加热，待其温度升至３８０℃时，对 真空室进行恒温控制；第三步，对真空检测系统进行标定；第四步，将待测工件装入真空室，对该工件预抽真空，使工件的预抽真空度达到１～１０Ｐａ，第五步，对测试工件充０．１～１．５ＭＰａ的氦气；第六步，对测试工件再次抽 真空，使其真空度降至１０Ｐａ以下，从真空度数即可判断工件的密封性能；第七...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：侯晔，冯英群，宋吉荣，
申请(专利权)人：中国核动力研究设计院，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]