差动式压电六维力传感器制造技术

差动式压电六维力传感器。该传感器包括有以立方体的相对面关系两两相对地安装的四对测力组、压在这四对测力组两侧的预紧垫块和传力架。各测力组均各有重叠于外侧一个测量Ｆ↓［Ｘ］、Ｆ↓［Ｙ］的测力计和重叠于内侧一个测量Ｆ↓［Ｚ］、Ｍ↓［Ｘ］、Ｍ↓［Ｙ］、Ｍ↓［Ｚ］的测力测矩计。各测力计内均以中心对称的状态安装有位于同一平面上的八片ＸＯ°切型压电晶片，它们的敏感轴均垂直于它们所在平面、且相对测力计中的压电晶片的敏感轴方向相对；各测力测矩计内安装有均分别与同一测力组内各ＸＯ°切型压电晶片对齐、平行且在同一平面上的八片ＹＯ°切型压电晶片，它们的敏感轴均平行于它们所在平面、且其敏感轴方向各异。本发明专利技术无需对输出信号进行解耦运算，工作可靠，测量精度高，抗干扰能力强。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
差动式压电六维力传感器，其特征在于，该传感器包括一个带有信号输出插座（３）的传感器基座、在该传感器基座内以立方体的相对面关系两两相对地安装的四对测力组、压在这四对测力组外侧面上的各一块预紧垫块（７）、分别顶住四对测力组内侧面的传力架（４）；所述测力组均各有重叠于外侧一个测量Ｆ↓［Ｘ］、Ｆ↓［Ｙ］的测力计（５）和重叠于内侧一个测量Ｆ↓［Ｚ］、Ｍ↓［Ｘ］、Ｍ↓［Ｙ］、Ｍ↓［Ｚ］的测力测矩计（６）；各测力计（５）内均以中心对称的状态安装有位于同一平面上的八片Ｘ０°切型压电晶片（Ｘｘ），这些Ｘ０°切型压电晶片（Ｘｘ）的敏感轴均垂直于它们所在平面、且相对测力计（５）中的各Ｘ０°切型压电晶片（Ｘｘ）的敏感轴方向相对，每一测力计（５）中的八片Ｘ０°切型压电晶片（Ｘｘ）各自并联后与插座（３）连接；各测力测矩计（６）内安装有均分别与同一测力组内各Ｘ０°切型压电晶片（Ｘｘ）对齐、平行且在同一平面上的八片Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ１～Ｙ８、Ｙ９～Ｙ１６、Ｙ１７～Ｙ２４、Ｙ２５～Ｙ３２），这些Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ１～Ｙ８、Ｙ９～Ｙ１６、Ｙ１７～Ｙ２４、Ｙ２５～Ｙ３２）的敏感轴均平行于它们所在平面；位于四个测力测矩计（６）的对称中心上下两端的各两片Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ１和Ｙ２、Ｙ９和Ｙ１０、Ｙ１７和Ｙ１８、Ｙ２５和Ｙ２６）的敏感轴与Ｚ轴平行、且相对的两个测力测矩计（６）中的Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ１和Ｙ２对Ｙ９和Ｙ１０、Ｙ１７和Ｙ１８对Ｙ２５和Ｙ２６）的敏感轴方向相反，各测力测矩计（６）中的各两片其敏感轴与Ｚ轴平行的Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ１和Ｙ２、Ｙ９和Ｙ１０、Ｙ１７和Ｙ１８、Ｙ２５和Ｙ２６）分别并联后与插座（３）连接；位于两个相对的测力测矩计（６）对称中心左右两端的各两片Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ１９和Ｙ２０、Ｙ２７和Ｙ２８）的敏感轴与Ｘ轴平行、且方向相同，这两个测力测矩计（６）中的各两片其敏感轴与Ｘ轴平行的Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ１９和Ｙ２０、Ｙ２７和Ｙ２８）分别并联后与插座（３）连接；位于另两个相对的测力测矩计（６）的对称中心左右两端的各两片Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ３和Ｙ４、Ｙ１１和Ｙ１２）的敏感轴与Ｙ轴平行、且方向相同，这两个测力测矩计（６）中的各两片其敏感轴与Ｙ轴平行的Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ３和Ｙ４、Ｙ１１和Ｙ１２）分别并联后与插座（３）连接；四个测力测矩计（６）中的其余各四片Ｙ０°切型压电晶片（Ｙ５～Ｙ８、Ｙ１３～Ｙ１６、Ｙ２１～Ｙ２...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊，秦岚，刘京诚，李敏，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：发明
国别省市：85[中国|重庆]