风机控制方法及风机控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种风机控制方法，通过风机向工艺腔室内输送气体，并根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制风机的转速，以降低风机的能耗。本发明专利技术还提供一种风机控制装置，包括获取单元和控制单元，其中，获取单元用于获取清洗工艺采用的工艺参数，并发送至控制单元；控制单元用于根据工艺参数的变化控制风机的转速，以降低风机的能耗。本发明专利技术提供的风机控制方法及风机控制装置能够节省清洗工艺消耗的能源，降低清洗工艺的成本。

【技术实现步骤摘要】
风机控制方法及风机控制装置
本专利技术涉及半导体设备
，具体地，涉及一种风机控制方法及风机控制装置。
技术介绍
目前，在半导体工艺中，通常需要对晶片进行清洗，以去除工艺过程中附着在晶片上的污染物，并在清洗后对晶片进行甩干处理，避免清洗后的晶片表面粘连清洗剂。在现有技术中，清洗设备包括工艺腔室、旋转基座、风机(FFU)和排风口(Exhaust)，其中，旋转基座设置在工艺腔室中，用于在清洗工艺过程中承载晶片，风机用于向工艺腔内送风，工艺腔室通过排风口进行排气，在清洗工艺过程中及清洗工艺前后，工艺腔室内的气流是一定的，且风机全速运转，排风口也开到最大，以保证高速气流的流通。但是，在实际应用中，在清洗工艺的不同阶段，风机并不需要全速运转，就能够达到工艺效果，因此，现有技术中风机在整个清洗工艺过程中始终全速运转，就导致了能源的浪费。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种风机控制方法及风机控制装置，其能够节省清洗工艺消耗的能源，降低清洗工艺的成本。为实现本专利技术的目的而提供一种风机控制方法，所述风机用于向工艺腔室内输送气体，包括以下步骤：S1，根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制所述风机的转速，以降低所述风机的能耗。优选的，所述工艺参数包括基座的转速；在所述步骤S1中，控制所述风机的转速，以使其与所述基座的转速呈正比例关系。优选的，所述步骤S1，进一步包括以下步骤：S11，判断所述基座的转速是在第一转速范围内，还是在第二转速范围内，还是在第三转速范围内；若在所述第一转速范围内，则进行步骤S12；若在所述第二转速范围内，则进行步骤S13；若在所述第三转速范围内，则进行步骤S14；所述第一转速范围的最大值小于所述第二转速范围的最小值；所述第二转速范围的最大值小于所述第三转速范围的最小值；S12，将所述风机的转速控制在第一预设范围内；S13，将所述风机的转速控制在第二预设范围内，所述第一预设范围的最大值小于或者等于所述第二预设范围的最小值；S14，将所述风机的转速控制在第三预设范围内，所述第二预设范围的最大值小于或者等于所述第三预设范围的最小值。优选的，所述工艺参数还包括喷淋臂的摆动状态，所述摆动状态包括静止状态和运动状态；所述步骤S1，进一步包括以下步骤：S11，判断所述喷淋臂的摆动状态是所述静止状态，还是所述运动状态，若是所述静止状态，则进行步骤S12；若是所述运动状态，则判断所述基座的转速是在第一转速范围内，还是在第二转速范围内；若在所述第一转速范围内，则进行步骤S13；若在所述第二转速范围内，则进行步骤S14；所述第一转速范围的最大值小于所述第二转速范围的最小值；S12，将所述风机的转速控制在第一预设范围内；S13，将所述风机的转速控制在第二预设范围内，所述第一预设范围的最大值小于或者等于所述第二预设范围的最小值；S14，将所述风机的转速控制在第三预设范围内，所述第二预设范围的最大值小于或者等于所述第三预设范围的最小值。优选的，所述第一转速范围为小于400rad/min；所述第二转速范围为大于或者等于400rad/min，且小于1900rad/min；所述第三转速范围为大于或者等于1900rad/min。优选的，所述工艺参数包括工艺时间；在所述步骤S1中，随着所述工艺时间的累积，按预设规则控制所述风机的转速。优选的，所述步骤S1，进一步包括以下步骤：S101，判断所述工艺时间是否到达第一时间点，若否，则将所述风机的转速控制在第一预设范围内，并返回步骤S101；若是，则将所述风机的转速控制在第二预设范围内，并进行步骤S102；所述第一预设范围的最大值小于或者等于所述第二预设范围的最小值；S102，判断所述工艺时间是否到达第二时间点，若否，则将所述风机的转速控制在第二预设范围内，并返回步骤S102；若是，则将所述风机的转速控制在第三预设范围内；所述第二预设范围的最大值小于或者等于所述第三预设范围的最小值。优选的，在所述步骤S1中，根据所述风机的转速的变化控制排风通道的排气流量，以保证腔室中的气流稳定。优选的，控制所述排风通道的排气流量，以使其与所述风机的转速呈正比例关系。本专利技术还提供一种风机控制装置，包括获取单元和控制单元，其中，所述获取单元用于获取清洗工艺采用的工艺参数，并发送至控制单元；所述控制单元用于根据所述工艺参数的变化控制所述风机的转速，以降低所述风机的能耗。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的风机控制方法，通过风机向工艺腔室内输送气体，并通过根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制风机的转速，使风机的转速随着工艺参数的变化而变化，这样可以使风机在整个清洗工艺的过程中，并不是始终以最大转速工作，而是可以在较低转速下工作，从而降低清洗工艺中风机的能耗，进而节省清洗工艺消耗的能源，降低清洗工艺的成本。本专利技术提供的风机控制装置，包括获取单元和控制单元，借助获取单元获取清洗工艺采用的工艺参数，并发送至控制单元；并借助控制单元根据工艺参数的变化控制风机的转速，使风机的转速随着工艺参数的变化而变化，这样可以使风机在整个清洗工艺的过程中，并不是始终以最大转速工作，而是可以在较低转速下工作，从而降低清洗工艺中风机的能耗，进而节省清洗工艺消耗的能源，降低清洗工艺的成本。附图说明图1为本专利技术提供的风机控制方法的流程框图；图2为本专利技术提供的风机控制方法的第一实施例的流程框图；图3为本专利技术提供的风机控制方法的第一实施例的另一个具体过程的流程框图；图4为本专利技术提供的风机控制方法的第二实施例的流程框图；图5为本专利技术提供的风机控制装置的结构示意图；图6为本专利技术提供的风机控制装置的结构示意图；附图标记说明：1-获取单元；2-控制单元；3-工艺腔室；4-旋转电机；5-排风通道；6-风机；7-调节阀；8-调节电机。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图来对本专利技术提供的风机控制方法及风机控制装置进行详细描述。如图1，本实施例提供一种风机控制方法，风机6与工艺腔室3相连，用于向工艺腔室3内输送气体，风机控制方法包括以下步骤：S1，根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制风机6的转速，以降低风机6的能耗。本实施例提供的风机控制方法，通过根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制风机6的转速，使风机6的转速随着工艺参数的变化而变化，这样可以使风机6在整个清洗工艺的过程中，并不是始终以最大转速工作，而是可以在较低转速下工作，从而降低清洗工艺中风机6的能耗，进而节省清洗工艺消耗的能源，降低清洗工艺的成本。具体的，在清洗工艺的过程中，清洗工艺采用的工艺参数随着清洗工艺进行到不同的清洗阶段发生变化，以满足当前清洗阶段的工艺效果，通过根据清洗工艺采用的工艺参数的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种风机控制方法，所述风机用于向工艺腔室内输送气体，其特征在于，包括以下步骤：/nS1，根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制所述风机的转速，以降低所述风机的能耗。/n

【技术特征摘要】
1.一种风机控制方法，所述风机用于向工艺腔室内输送气体，其特征在于，包括以下步骤：
S1，根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制所述风机的转速，以降低所述风机的能耗。


2.根据权利要求1所述的风机控制方法，其特征在于，所述工艺参数包括基座的转速；
在所述步骤S1中，控制所述风机的转速，以使其与所述基座的转速呈正比例关系。


3.根据权利要求2所述的风机控制方法，其特征在于，所述步骤S1，进一步包括以下步骤：
S11，判断所述基座的转速是在第一转速范围内，还是在第二转速范围内，还是在第三转速范围内；若在所述第一转速范围内，则进行步骤S12；若在所述第二转速范围内，则进行步骤S13；若在所述第三转速范围内，则进行步骤S14；所述第一转速范围的最大值小于所述第二转速范围的最小值；所述第二转速范围的最大值小于所述第三转速范围的最小值；
S12，将所述风机的转速控制在第一预设范围内；
S13，将所述风机的转速控制在第二预设范围内，所述第一预设范围的最大值小于或者等于所述第二预设范围的最小值；
S14，将所述风机的转速控制在第三预设范围内，所述第二预设范围的最大值小于或者等于所述第三预设范围的最小值。


4.根据权利要求2所述的风机控制方法，其特征在于，所述工艺参数还包括喷淋臂的摆动状态，所述摆动状态包括静止状态和运动状态；
所述步骤S1，进一步包括以下步骤：
S11，判断所述喷淋臂的摆动状态是所述静止状态，还是所述运动状态，若是所述静止状态，则进行步骤S12；若是所述运动状态，则判断所述基座的转速是在第一转速范围内，还是在第二转速范围内；
若在所述第一转速范围内，则进行步骤S13；若在所述第二转速范围内，则进行步骤S14；所述第一转速范围的最大值小于所述第二转速范围的最小值；
S12，将所述风机的转速控制在第一预设范围内；
S13，将所述风机的转速控制在第二预设范围内，所述第一预设范...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11