驻波加速器电子枪检漏与预测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了驻波加速器电子枪检漏与预测试装置，包括主体框架，所述主体框架的顶部表面罩有真空保护罩，所述真空保护罩的内腔在主体框架的顶部表面中部设有电子枪工作台，所述电子枪工作台的顶部设有待检电子枪，所述主体框架正面中部嵌合有氦检漏仪，所述主体框架的底部一侧设有离子泵组件，所述主体框架的底部另一侧和离子泵组件平行的位置安装有分子泵组件。本实用新型专利技术中，将电子枪放置在真空罩之中，实现了整个设备有较好的真空测试基础，可以测试电子枪的真空密封性，采用离子泵、分子泵和氦检漏仪，可以准确地测试出电子枪在分子、离子状态下的发射情况，可以判断电子枪的质量好坏，避免残次品入库，导致企业受损。

【技术实现步骤摘要】
驻波加速器电子枪检漏与预测试装置
本技术涉及电子枪检测装置领域，尤其涉及驻波加速器电子枪检漏与预测试装置。
技术介绍
电子枪是加速器的电子注入器，它发射出具有一定能量、一定流强、一定束流直径和发射角的电子束流引,电子束的方向和强度可以控制，通常由热阴极、控制电极和若干加速阳极等组成,注入到加速管，用来为电子加速器提供电子束的电子枪一般分为热发射和场致发射两种，电子枪的功能在于给出满足要求的电子束，而电子枪的材料和工艺结构又必须考虑到加工和维修使用的方便。现在大多数公司的电子枪为对外采购的零部件，如果到货后在安装前没有有效的检测手段，安装后一旦出现问题，将给公司带来巨大的经济损失。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的驻波加速器电子枪检漏与预测试装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：驻波加速器电子枪检漏与预测试装置，包括主体框架，所述主体框架的顶部表面罩有真空保护罩，所述真空保护罩的内腔在主体框架的顶部表面中部设有电子枪工作台，所述电子枪工作台的顶部设有待检电子枪，所述主体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.驻波加速器电子枪检漏与预测试装置，包括主体框架（1），其特征在于，所述主体框架（1）的顶部表面罩有真空保护罩（4），所述真空保护罩（4）的内腔在主体框架（1）的顶部表面中部设有电子枪工作台（2），所述电子枪工作台（2）的顶部设有待检电子枪（3），所述主体框架（1）正面中部嵌合有氦检漏仪（5），所述主体框架（1）的底部一侧设有离子泵组件（6），所述主体框架（1）的底部另一侧和离子泵组件（6）平行的位置安装有分子泵组件（7）。/n

【技术特征摘要】
1.驻波加速器电子枪检漏与预测试装置，包括主体框架（1），其特征在于，所述主体框架（1）的顶部表面罩有真空保护罩（4），所述真空保护罩（4）的内腔在主体框架（1）的顶部表面中部设有电子枪工作台（2），所述电子枪工作台（2）的顶部设有待检电子枪（3），所述主体框架（1）正面中部嵌合有氦检漏仪（5），所述主体框架（1）的底部一侧设有离子泵组件（6），所述主体框架（1）的底部另一侧和离子泵组件（6）平行的位置安装有分子泵组件（7）。


2.根据权利要求1所述的驻波加速器电子枪检漏与预测试装置，其特征在于，所述离子泵组件（6）包括离子泵体（61），所述离子泵体（61）的顶部开设有进料泵口（64），所述离子泵体（61）的侧面固定安装有外接电源（63），所述外接电源（63）的侧面中部设有信号接口（62），所述离子泵体（61）的正面中部设有出料泵口（65）。


3.根据权利要求1所述的驻波加速器电子枪检漏与预测试装置，其特征在于，所述分子泵组件（7）包括分子泵体（71），所述分子泵体（71）的顶部设有分子泵膜（72），所述分子泵体（71）...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵延军，李太兴，李龙江，宋伟，孙芳超，
申请(专利权)人：蓝孚医疗科技山东有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37