【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于镜像表面的结构式光投射
技术介绍
对于许多工业和过程来说，获得关于表面或物体的精确尺寸信息是至关重要的。例如，在电子装配工业中，关于电路板上的电气部件的精确尺寸信息可以用于确定部件是否被正确地放置。此外，在部件安装之前检查电路板上的焊膏沉积以便确保在电路板上的适当位置沉积适当量的焊膏时，尺寸信息也是有用的。此外，尺寸信息在半导体晶片和平板显示器的检查中也是有用的。光学相位轮廓测量系统已经被用于精确地测量和获得关于表面或物体的精确尺寸信息。然而，一些新的电子组件包括具有反射镜像表面的部件。通常被配置成测量漫射、非反射表面的传统系统难以获得这些部件的精确尺寸信息。随着这些部件的尺寸信息的精度对各种工业和加工变得越来越重要，准确地测量和获得这些信息以及针对系统干扰的与包含镜像表面的组件的观察相关的各种原因进行校正变得越来越重要。
技术实现思路
一种用于生成反射性测试目标的三维高度图像的系统，包括：照射源，照射源被配置成在测试目标上生成图案化照射；成像系统，成像系统被配置成采集测试目标上的图案化照射的图像；以及可变焦光学系统，可变...
【技术保护点】
1.一种用于生成反射性测试目标的三维高度图像的系统，所述系统包括：/n照射源，所述照射源被配置成在所述测试目标上生成图案化照射；/n相机，所述相机被配置成采集所述测试目标上的所述图案化照射的图像；/n可变焦光学系统，所述可变焦光学系统被配置成使所述相机利用至少两个不同的聚焦位置对所述测试目标进行成像；/n所述照射源和相机相对于所述测试目标对准，使得所述相机采集所述图案化照射的镜像图像；以及/n控制器，所述联接到所述照射源、所述相机和所述可变焦光学系统，所述控制器被配置成基于使用至少两个不同聚焦位置采集的所述图案化照射的图像来生成所述测试目标的高度图像。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180124 US 62/621,3171.一种用于生成反射性测试目标的三维高度图像的系统，所述系统包括：
照射源，所述照射源被配置成在所述测试目标上生成图案化照射；
相机，所述相机被配置成采集所述测试目标上的所述图案化照射的图像；
可变焦光学系统，所述可变焦光学系统被配置成使所述相机利用至少两个不同的聚焦位置对所述测试目标进行成像；
所述照射源和相机相对于所述测试目标对准，使得所述相机采集所述图案化照射的镜像图像；以及
控制器，所述联接到所述照射源、所述相机和所述可变焦光学系统，所述控制器被配置成基于使用至少两个不同聚焦位置采集的所述图案化照射的图像来生成所述测试目标的高度图像。
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述可变焦光学系统包括可变焦透镜。
3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述可变焦透镜是电光透镜。
4.根据权利要求2所述的系统，其中，所述可变焦光学系统包括可变倍率透镜。
5.根据权利要求2所述的系统，其中，所述可变焦光学系统包括液体透镜组件。
6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述可变焦光学系统包括玻璃板，所述玻璃板能够选择性地插入到所述相机的光学路径中。
7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述可变焦光学系统包括能够调节的相机定位系统，所述能够调节的相机定位系统被配置成相对于所述测试目标移动所述相机。
8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述可变焦光学系统包括能够调节的平台，所述能够调节的平台被配置成相对于所述照射源和所述相机移动所述测试目标。
9.一种用于生成反射性测试目标的三维高度图像的系统，所述系统包括：
照射源，所述照射源被配置成在所述测试目标上生成图案化照射；
第一相机，所述第一相机被配置成采集所述测试目标上的所述图案化照射的图像；
第二相机，所述第二相机被配置成采集所述测试目标上的所述图案化照射的图像，所述第二相机沿着共享光学轴线与所述第一相机同轴地对准；
其中，所述第一相机和所述第二相机被配置成沿着所述共享光学轴线在不同位置处聚焦；
所述照射源以及所述第一相机和所述第二相机的所述共享光学轴线相对于所述测试目标对准，使得所述第一相机和所述第二相机采集所述测试目标上的所述图案化照射的镜像图像；以及
控制器，所述控制器联接到所述照射源且联接到所述第一相机及所...
【专利技术属性】
技术研发人员：埃里克·P·路德，卡尔·E·豪根，保罗·R·豪根，
申请(专利权)人：赛博光学公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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