碳纳米管集合体制造技术

本发明专利技术的目的在于提供在室温及高温环境下发挥出优异的夹持力的碳纳米管集合体。本发明专利技术涉及碳纳米管集合体，其是多个碳纳米管集合成片状而得的碳纳米管集合体，其中，中间部的取向度低于84％，至少一个表面部的取向度为15％以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】碳纳米管集合体
本专利技术涉及碳纳米管集合体。
技术介绍
在半导体元件等的制造工序中，在对材料、半成品、制品等被加工物进行搬送时，使用移动臂或移动台等搬送基材对该被加工物进行搬送(例如，参见专利文献1、2)。在进行这样的搬送时，要求载置被加工物的部件(搬送固定夹具)具有使得被加工物在搬送中不偏移这样的强夹持力。另外，这样的要求伴随着制造工序高速化的要求而逐年提高。然而，就以往的搬送固定夹具而言，通过树脂等弹性材料来保持被加工物，从而存在该弹性材料容易附着并残留于被加工物的问题。另外，树脂等弹性材料的耐热性较低，从而存在高温环境下其夹持力下降这样的问题。若将陶瓷等材料用于搬送固定夹具，则可防止被加工物的污染，另外，夹持力的温度相关性降低。然而，由这样的材料构成的搬送固定夹具本质上夹持力较低，存在即便在常温下也无法充分保持被加工物的问题。另外，作为在高温环境下保持被加工物的方法，可列举进行减压吸附的方法、利用搬送固定夹具的形状来固定被加工物的方法(例如，卡盘固定(chucking)、镗孔固定等)等。然而，进行减压吸附的方法仅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.碳纳米管集合体，其是多个碳纳米管集合成片状而得的碳纳米管集合体，其中，中间部的取向度低于84％，至少一个表面部的取向度为15％以上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180206 JP 2018-0189101.碳纳米管集合体，其是多个碳纳米管集合成片状而得的碳纳米管集合体，其中，中间部的取向度低于84％，至少一个表面部的取向度为15％以上。


2.如权利要求1所述的碳纳米管集合体，其中，至少一个表面部的取向度低于50％。


3.如权利要求1或2所述的碳纳米管集合体，其厚度为300～2000μm。

【专利技术属性】
技术研发人员：增田将太郎，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP