具有带凸起金属膜片的压力传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种压力传感器，包括用于密封液体的膜片（１６）。膜片（１６）包括多个凸起（１６ａ），凸起（１６ａ）同心地布置在膜片（１６）上。每个凸起（１６ａ）的径向截面为圆弧形，并具有环形形状。传感器具有由α表示的结构参数，其中结构参数（α）处于２．５－３．５之间的范围内。传感器的膜片（１６）具有最优的变形能力，因此该传感器的检测误差降低。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有带凸起金属膜片的压力传感器。
技术介绍
近年来，限制汽车排放尾气的排放标准越来越严格。具体地说，尾气，也就是由柴油动力机车排放的柴油颗粒必须减少。为了减少柴油颗粒，在柴油动力机车中使用了柴油颗粒过滤器(即DPF)系统。DPF系统包括用于收集柴油颗粒的过滤器。过滤器安装在车辆的排气管中。当过滤器中积累的柴油颗粒超过预定量时，柴油颗粒就燃烧。这样，限制了排放到大气中的柴油颗粒。DPF系统还包括用于检测尾气压力损失的压力传感器。压力损失是尾气通过过滤器前和通过过滤器后的压力差。压力传感器应用在恶劣的环境下，比如在尾气中。需要保护IC芯片，即用于检测压力的压力传感器芯片。因此采用密封胶保护芯片是不够的。因此，芯片被一金属膜片密封在液体中，从而提供一种液封式传感器。该液封式传感器包括引入压力腔，压力传感器芯片和金属膜片。金属膜片将芯片从压力腔的出入口一侧分开，以便将液体(即油)密封在芯片一侧的空间内。因此，由压力传感器检测的被检测物(即尾气)不直接接触芯片。因此，传感器可用于恶劣的环境中，即侵蚀环境中。但是，密封在该空间中的油会受热膨胀或随环境温度变化而收缩，从而可能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力传感器，包括：　　　　用于密封液体的膜片（１６）；　　　　其中，所述膜片（１６）包括多个凸起（１６ａ），所述凸起（１６ａ）同心地布置在所述膜片（１６）上；　　　　其中，每个凸起（１６ａ）的径向截面为圆弧形，并具有环形形状；　　　　其中，每个所述凸起（１６ａ）的圆弧长度用Ｌ表示，高度用Ｈ表示，在径向的宽度用Ｗ表示，两相邻所述凸起（１６ａ）之间沿径向的间隔用Ｐ表示；　　　　其中，所述膜片（１６）的有效半径用Ｒ表示，所述膜片（１６）的中心与布置在所述膜片（１６）最外侧的所述凸起（１６ａ）的中心之间的距离用ｒ０表示，所述膜片（１６）的有效半径被定义为所述膜片（１６）受压部分的半径；　　　　其中...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：马场广伸，德永正寿，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：JP[日本]