【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种溅射薄膜高温压力传感器，它采用分体式结构，传感器电路部分与高温压力探头分离通过电缆（６）连接，探头部分包括：底座（１）、弹性膜片（２）、薄膜应变片（３）、后盖（４）、接插件（５）等部件，其特征在于：所述薄膜应变片（３）至少包括应变敏感薄膜（７），所述应变敏感薄膜（７）的敏感材料采用ＦｅＣｒ↓［１３－１５］Ａｌ↓［７－９］或ＰｔＷ↓［８］或ＰｄＣｒ↓［１３］，底座（１）和弹性膜片（２）的材料采用能耐８５０℃高温的铁基或镍基或钴基高温合金，底座（１）和弹性膜片（２）间采用焊接密封。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋亚东，杜晓松，李伟，谢光忠，于军胜，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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