一种柔性可拉伸电极及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及柔性可拉伸电极技术领域，尤其涉及了一种柔性可拉伸电极及其制备方法和应用。本发明专利技术提供的柔性可拉伸电极，包括依次层叠设置的第一图案化的银膜层、柔性基底和第二图案化的银膜层；其中，所述第二图案化的银膜层包括多个工作电极；每个工作电极并联设置。所述柔性可拉伸电极能够很好的跟皮肤表面进行接触，能够避免刚性电极引起的不适和易于移动的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性可拉伸电极及其制备方法和应用
本专利技术涉及柔性可拉伸电极
，尤其涉及了一种柔性可拉伸电极及其制备方法和应用。
技术介绍
面神经炎是一种最常见的病因不明的周围神经系统疾病，其中，中耳炎、受惊和失眠等均可引发该病，任何年龄、任何季节均可发病。面神经炎主要表现为面部表情肌瘫痪、口角歪斜、外耳道感觉衰退和耳鼓疱疹等。采用中频脉冲电刺激治疗对面神经炎可取得满意的效果，但是用于面神经刺激的商品化电极多为刚性电极，不能很好的贴敷于患者的嘴角、眼旁、耳根后和身体的任何部位。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种柔性可拉伸电极及其制备方法和应用，所述柔性可拉伸电极能够很好的跟皮肤表面进行接触，能够避免刚性电极引起的不适和易于移动的问题。为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供以下技术方案：本专利技术提供了一种柔性可拉伸电极，包括依次层叠设置的第一图案化的银膜层、柔性基底和第二图案化的银膜层；其中，所述第二图案化的银膜层包括多个工作电极；每个工作电极并联设置。优选的，所述的柔性基底为PI膜。优选的，所述第二图案化的银膜层的厚度为10～100μm。优选的，所述工作电极包括电刺激线路和所述电刺激线路末端的电极位点；所述电刺激线路的宽度为150～500μm。本专利技术还提供了上述技术方案所述的柔性可拉伸电极的制备方法，包括以下步骤：第一图案化的银膜层的制备：将柔性基底的一侧印刷导电银浆，并固化干燥后，得到第一图案化的银膜层后，水平铺于玻璃板表面，且所述第一图案化的银膜层与所述玻璃板接触；第二图案化的银膜层的制备：将所述柔性基底的另一侧涂覆感光负胶，并加热固化后，得到第一图案化的光刻胶层；所述第一图案化的光刻胶层与所述第一图案化的银膜层在所述柔性基底的两侧对称分布；将所述光刻胶层的上表面设置第二图案化的掩膜版，进行曝光处理得到进一步图案化的光刻胶层后，依次进行溅射银膜层和去胶液处理，得到第二图案化的银膜层；柔性可拉伸电极的制备：从第一图案化的银膜层所在侧，将两侧分别带有第一图案化的银膜层和第二图案化的银膜层的柔性基底进行反应离子刻蚀，得到所述柔性可拉伸电极。优选的，所述涂覆感光负胶的过程包括第一旋涂和第二旋涂；所述第一旋涂的速度为450～550r/s，所述第二旋涂的速度为2500～3500r/s。优选的，所述加热固化的温度为90～110℃，所述固化的时间为60～100s。本专利技术还提供了上述技术方案所述的柔性可拉伸电极或上述技术方案所述的制备方法制备得到的柔性可拉伸电极在制备面神经电刺激器件中的应用。本专利技术提供一种柔性可拉伸电极，包括依次层叠设置的第一图案化的银膜层、柔性基底和第二图案化的银膜层；其中，所述第二图案化的银膜层包括多个工作电极；每个工作电极并联设置。所述柔性可拉伸电极能够很好的跟皮肤表面进行接触，能够避免刚性电极引起的不适和易于移动的问题。本专利技术还提供了所述柔性可拉伸电极的制备方法，包括以下步骤：第一图案化的银膜层的制备：将柔性基底的一侧印刷导电银浆，并固化干燥后，得到第一图案化的银膜层后，水平铺于玻璃板表面，且所述第一图案化的银膜层与所述玻璃板接触；第二图案化的银膜层的制备：将所述柔性基底的另一侧涂覆感光负胶，并加热固化后，得到光刻胶层；所述光刻胶层与所述第一图案化的银膜层在所述柔性基底的两侧对称分布；将所述光刻胶层的上表面设置第二图案化的掩膜版，进行曝光处理得到进一步图案化的光刻胶层后，依次进行溅射银膜层和去胶液处理，得到第二图案化的银膜层；柔性可拉伸电极的制备：从第一图案化的银膜层所在侧，将两侧分别带有第一图案化的银膜层和第二图案化的银膜层的柔性基底进行反应离子刻蚀，得到所述柔性可拉伸电极。所述制备方法的成本低、工艺简单和适于批量化生产；同时，利用所述制备方法制备得到的柔性可拉伸电极对皮肤无腐蚀且抗菌。附图说明图1为本专利技术所述柔性可拉伸电极的平面结构示意图；其中，1-第一图案化的银膜层，2-柔性基底，3-电极引脚，4-电极位点，5-电刺激线路。具体实施方式本专利技术提供了一种柔性可拉伸电极，包括依次层叠设置的第一图案化的银膜层、柔性基底和第二图案化的银膜层；其中，所述第二图案化的银膜层包括多个工作电极；每个工作电极并联设置。在本专利技术中，所述第一图案化的银膜层的厚度优选为7～12μm，更优选为8μm。在本专利技术中，所述柔性基底优选为PI膜；所述PI膜的厚度优选为5～250μm，更优选为8μm。在本专利技术中，所述第二图案化的银膜层的厚度优选为7～12μm，更优选为7～10μm，最优选为8μm。在本专利技术中，所述工作电极优选包括电刺激线路和所述电刺激线路末端的电极位点；所述电刺激线路的宽度优选为150～500μm，更优选为200～400μm，最优选为200μm。本专利技术对所述工作电极的个数没有任何特殊的限定，可根据实际需求，对所述工作电极的个数进行调整。在本专利技术中，所述柔性可拉伸电极还优选包括电极引脚；所述电极引脚与所述电极连接。本专利技术还提供了上述技术方案所述的柔性可拉伸电极的制备方法，包括以下步骤：第一图案化的银膜层的制备：将柔性基底的一侧印刷导电银浆，并固化干燥后，得到第一图案化的银膜层后，水平铺于玻璃板表面，且所述第一图案化的银膜层与所述玻璃板接触(所述第一图案化的银膜层所在面记为A面)；第二图案化的银膜层的制备：将所述柔性基底的另一侧涂覆感光负胶，并加热固化后，得到光刻胶层；所述光刻胶层与所述第一图案化的银膜层在所述柔性基底的两侧对称分布(所述第一图案化的银膜层所在面记为B面)；将所述光刻胶层的上表面设置第二图案化的掩膜版，进行曝光处理得到进一步图案化的光刻胶层后，依次进行溅射银膜层和去胶液处理，得到第二图案化的银膜层；柔性可拉伸电极的制备：从第一图案化的银膜层所在侧，将两侧分别带有第一图案化的银膜层和第二图案化的银膜层的柔性基底进行反应离子刻蚀，得到所述柔性可拉伸电极。在本专利技术中，若无特殊说明，所有原料均为本领域技术人员熟知的市售产品。本专利技术所述的柔性可拉伸电极的制备方法包括：第一图案化的银膜层的制备：将柔性基底的一侧印刷导电银浆，并固化干燥后，得到第一图案化的银膜层后，水平铺于玻璃板表面，且所述第一图案化的银膜层与所述玻璃板接触。在本专利技术中，所述印刷的方式优选为丝网印刷；本专利技术对所述丝网印刷的过程没有任何特殊的限定，采用本领域技术人员熟知的过程进行即可。本专利技术对所述导电银浆没有任何特殊的限定，采用本领域技术人员熟知的方式即可。本专利技术对所述固化干燥的方式没有任何特殊的限定，采用本领域技术人员熟知的方式即可。在本专利技术中，所述玻璃板优选进行预处理，所述预处理优选包括清洗；所述清洗优选包括：采用清洗剂进行清洗后，采用氮气吹干，然后再采用氧等离子体进行清洗。在本专利技术中，所述采用清洗剂进行清洗优选在超声的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性可拉伸电极，其特征在于，包括依次层叠设置的第一图案化的银膜层、柔性基底和第二图案化的银膜层；/n其中，所述第二图案化的银膜层包括多个工作电极；/n每个工作电极并联设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性可拉伸电极，其特征在于，包括依次层叠设置的第一图案化的银膜层、柔性基底和第二图案化的银膜层；
其中，所述第二图案化的银膜层包括多个工作电极；
每个工作电极并联设置。


2.如权利要求1所述的柔性可拉伸电极，其特征在于，所述的柔性基底为PI膜。


3.如权利要求1所述的柔性可拉伸电极，其特征在于，所述第二图案化的银膜层的厚度为10～100μm。


4.如权利要求1所述的柔性可拉伸电极，其特征在于，所述工作电极包括电刺激线路和所述电刺激线路末端的电极位点；
所述电刺激线路的宽度为150～500μm。


5.权利要求1～4任一项所述的柔性可拉伸电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
第一图案化的银膜层的制备：将柔性基底的一侧印刷导电银浆，并固化干燥后，得到第一图案化的银膜层后，水平铺于玻璃板表面，且所述第一图案化的银膜层与所述玻璃板接触；
第二图案化的银膜层的制备：将所述柔性基底的另一侧涂覆...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宇渊，
申请(专利权)人：西南大学，
类型：发明
国别省市：重庆;50