一种直写式曝光机用轴向传动结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种直写式曝光机用轴向传动结构，包括第一支撑板、伺服电机和螺母，所述第一支撑板的内部设置有收纳槽，且收纳槽的内部安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的中心固定安装有转轴，且转轴穿过第一支撑板与伺服电机固定连接，并且伺服电机固定安装在第一支撑板的外表面，所述驱动齿轮与连接齿轮啮合连接，且连接齿轮位于收纳槽的内部，并且连接齿轮的中心固定安装有丝杆，所述丝杆穿过第一支撑板和连接板与第二支撑板轴承连接。该直写式曝光机用轴向传动结构，需要将平台或是设备固定安装到顶板上时，可根据平台或是设备的尺寸对顶板之间的间距进行合适的调节工作，从而便于后续将平台或是设备固定安装到顶板上。

【技术实现步骤摘要】
一种直写式曝光机用轴向传动结构
本技术涉及直写式曝光机
，具体为一种直写式曝光机用轴向传动结构。
技术介绍
直写式曝光机主要是光刻机中的一种，用于生产大规模集成电路的核心设备，在对直写式曝光机进行组装的过程中需要各种结构，其中包括轴向传动结构。目前市场上常见的轴向传动结构，在与直写式曝光机进行组装固定后，后续需要在该轴向传动结构上安装合适的平台或是设备时，无法根据平台或是设备的尺寸进行合适的调节工作，从而影响到对直写式曝光机整体的组装工作，针对上述问题，在原有的轴向传动结构的基础上进行创新设计。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种直写式曝光机用轴向传动结构，以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上常见的轴向传动结构，在与直写式曝光机进行组装固定后，后续需要在该轴向传动结构上安装合适的平台或是设备时，无法根据平台或是设备的尺寸进行合适的调节工作，从而影响到对直写式曝光机整体的组装工作的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种直写式曝光机用轴向传动结构，包括第一支撑板、伺服电机和螺母，所述第一支撑板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直写式曝光机用轴向传动结构，包括第一支撑板（1）、伺服电机（5）和螺母（14），其特征在于：所述第一支撑板（1）的内部设置有收纳槽（2），且收纳槽（2）的内部安装有驱动齿轮（3），所述驱动齿轮（3）的中心固定安装有转轴（4），且转轴（4）穿过第一支撑板（1）与伺服电机（5）固定连接，并且伺服电机（5）固定安装在第一支撑板（1）的外表面，所述驱动齿轮（3）与连接齿轮（6）啮合连接，且连接齿轮（6）位于收纳槽（2）的内部，并且连接齿轮（6）的中心固定安装有丝杆（7），所述丝杆（7）穿过第一支撑板（1）和连接板（8）与第二支撑板（9）轴承连接，且连接板（8）的顶面有顶板（10），并且顶板（1...

【技术特征摘要】
1.一种直写式曝光机用轴向传动结构，包括第一支撑板（1）、伺服电机（5）和螺母（14），其特征在于：所述第一支撑板（1）的内部设置有收纳槽（2），且收纳槽（2）的内部安装有驱动齿轮（3），所述驱动齿轮（3）的中心固定安装有转轴（4），且转轴（4）穿过第一支撑板（1）与伺服电机（5）固定连接，并且伺服电机（5）固定安装在第一支撑板（1）的外表面，所述驱动齿轮（3）与连接齿轮（6）啮合连接，且连接齿轮（6）位于收纳槽（2）的内部，并且连接齿轮（6）的中心固定安装有丝杆（7），所述丝杆（7）穿过第一支撑板（1）和连接板（8）与第二支撑板（9）轴承连接，且连接板（8）的顶面有顶板（10），并且顶板（10）上开设有通孔（11），所述连接板（8）的底端开设有连接槽（12），且连接槽（12）与螺柱（13）相互连接，并且螺柱（13）的外侧螺纹安装有螺母（14），所述螺柱（13）的外表面安装有限位板（15），且限位板（15）与连接板（8）相互连接。


2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用轴向传动结构，其特征在于：所述驱动齿轮（3）的结构与连接齿轮（6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟，
申请(专利权)人：王伟，
类型：新型
国别省市：江苏;32