【技术实现步骤摘要】
涂装机真空压力计保护装置
本技术涉及表面涂装
,特别是涉及一种涂装机真空压力计保护装置。
技术介绍
涂装是现代的产品制造工艺中的一个重要环节。防锈、防蚀涂装质量是产品全面质量的重要方面之一。现有的涂装技术大多采用真空涂装,主要分为蒸发和溅射两种,蒸发镀膜一般是真空的情况下加热靶材,使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,溅射镀膜是在真空状况下利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。然而,真空涂装需要采用真空压力计来检测成膜过程中的真空度,一般是将真空压力计直接与真空管道口相连,由于成膜过程中靶材均被处理为分子材料渗透于机器内部,真空管道口因分子材料长时间的进入并堆积成膜,使得真空压力计读数异常。
技术实现思路
基于此,有必要针对因真空管道口成膜导致真空压力计读数异常的技术问题,提供一种涂装机真空压力计保护装置。一种涂装机真空压力计保护装置,该涂装机真空压力计保护装置 ...
【技术保护点】
1.一种涂装机真空压力计保护装置,其特征在于,包括:涂装缸体、真空压力计、第一真空管道、第二真空管道及加热机构,所述加热机构设置于所述涂装缸体与所述真空压力计之间,所述加热机构设置有温度传感器,所述温度传感器用于检测所述加热机构内部的温度,所述第一真空管道的一端与所述涂装缸体连通,所述第一真空管道的另一端与所述加热机构的一端连通,所述第二真空管道的一端与所述加热机构的另一端连通,所述第二真空管道的另一端与所述真空压力计连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种涂装机真空压力计保护装置,其特征在于,包括:涂装缸体、真空压力计、第一真空管道、第二真空管道及加热机构,所述加热机构设置于所述涂装缸体与所述真空压力计之间,所述加热机构设置有温度传感器,所述温度传感器用于检测所述加热机构内部的温度,所述第一真空管道的一端与所述涂装缸体连通,所述第一真空管道的另一端与所述加热机构的一端连通,所述第二真空管道的一端与所述加热机构的另一端连通,所述第二真空管道的另一端与所述真空压力计连通。
2.根据权利要求1所述的涂装机真空压力计保护装置,其特征在于,所述加热机构包括筒体及加热器,所述筒体的一端与所述第一真空管道连通,所述筒体的另一端与所述第二真空管道连通,所述加热器与所...
【专利技术属性】
技术研发人员:方萍义,
申请(专利权)人:惠州韧达纳米科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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