一种玻璃基板清洗装置制造方法及图纸

技术编号:25559916 阅读:38 留言:0更新日期:2020-09-08 19:42
本实用新型专利技术公开了一种玻璃基板清洗装置,包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统;传输系统包括传输滚轮组,用于传输清洗过程中的玻璃基板,传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统;喷淋清洗系统可以朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头;烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理;废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部,用于收集清洗和烘干过程中的清洗液,本实用新型专利技术所设计玻璃基板清洗装置的清洗和烘干功能集成化。

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板清洗装置
本技术属于玻璃机器
,尤其是一种玻璃基板清洗装置。
技术介绍
我国作为世界生产玻璃最大的国家,玻璃机器需求与日俱增。玻璃清洗机是玻璃加工行业必不可少的设备,这是因为玻璃在加工过程中,由于工艺处理、环境因素或人为因素等情况会对玻璃造成污染,玻璃的表面会有油渍或者污垢,严重影响到玻璃的质量。目前行业中大多使用玻璃清洗机,玻璃清洗的工艺方法可以根据清晰的原理分为:毛刷清洗、高压水冲刷和超声波清洗等方式。玻璃基板是是平板显示(FlatPaneldisplay,FPD)产业的关键基础材料,玻璃基板的表面蒸镀有一层In2O3或SnO2透明导电层即ITO膜层;再生产过程中,制程步骤之前都必须将玻璃基板表面清洗干净,以去除污染物,避免原生氧化物薄膜之生成,随着玻璃基板的尺寸越来越大,对基板表面的洁净度要求也不断提高。玻璃基板洗净的目的在于清除基板表面的污垢的同时,必须确保基板在洗净完成后其电性参数及特性,确保元件的品质与可靠度。
技术实现思路
为了解决现有技术中的不足,本技术提出了一种玻璃基板清洗装置,集清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统;所述传输系统包括传输滚轮组,用于传输清洗过程中的玻璃基板,所述传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统;所述喷淋清洗系统包括喷淋管路,所述喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头;所述烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理;所述废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部,用于收集清洗和烘干过程中的清洗液。/n

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统;所述传输系统包括传输滚轮组,用于传输清洗过程中的玻璃基板,所述传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统;所述喷淋清洗系统包括喷淋管路,所述喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头;所述烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理;所述废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部,用于收集清洗和烘干过程中的清洗液。


2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,所述烘干系统内设有一组风刀(2),每组风刀(2)分为上风刀和下风刀,上风刀朝向玻璃基板的上表面设置,下风刀朝向玻璃基板的下表面设置。


3.根据权利要求1或2所述的一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,所述传输滚轮组包括传输滚轮组和压紧滚轮组,所述传输滚轮组包括多组设置于玻璃基板底部的传输滚轮(9);所述压紧滚轮组包括多组设置于玻璃基板上部的压紧滚轮(1)。


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【专利技术属性】
技术研发人员:孟繁宇
申请(专利权)人:镇江蓓蕾电子有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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