【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板清洗装置
本技术属于玻璃机器
,尤其是一种玻璃基板清洗装置。
技术介绍
我国作为世界生产玻璃最大的国家,玻璃机器需求与日俱增。玻璃清洗机是玻璃加工行业必不可少的设备,这是因为玻璃在加工过程中,由于工艺处理、环境因素或人为因素等情况会对玻璃造成污染,玻璃的表面会有油渍或者污垢,严重影响到玻璃的质量。目前行业中大多使用玻璃清洗机,玻璃清洗的工艺方法可以根据清晰的原理分为:毛刷清洗、高压水冲刷和超声波清洗等方式。玻璃基板是是平板显示(FlatPaneldisplay,FPD)产业的关键基础材料,玻璃基板的表面蒸镀有一层In2O3或SnO2透明导电层即ITO膜层;再生产过程中,制程步骤之前都必须将玻璃基板表面清洗干净,以去除污染物,避免原生氧化物薄膜之生成,随着玻璃基板的尺寸越来越大,对基板表面的洁净度要求也不断提高。玻璃基板洗净的目的在于清除基板表面的污垢的同时,必须确保基板在洗净完成后其电性参数及特性,确保元件的品质与可靠度。
技术实现思路
为了解决现有技术中的不足,本技术提出了一种玻璃 ...
【技术保护点】
1.一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统;所述传输系统包括传输滚轮组,用于传输清洗过程中的玻璃基板,所述传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统;所述喷淋清洗系统包括喷淋管路,所述喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头;所述烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理;所述废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部,用于收集清洗和烘干过程中的清洗液。/n
【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统;所述传输系统包括传输滚轮组,用于传输清洗过程中的玻璃基板,所述传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统;所述喷淋清洗系统包括喷淋管路,所述喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头;所述烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理;所述废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部,用于收集清洗和烘干过程中的清洗液。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,所述烘干系统内设有一组风刀(2),每组风刀(2)分为上风刀和下风刀,上风刀朝向玻璃基板的上表面设置,下风刀朝向玻璃基板的下表面设置。
3.根据权利要求1或2所述的一种玻璃基板清洗装置,其特征在于,所述传输滚轮组包括传输滚轮组和压紧滚轮组,所述传输滚轮组包括多组设置于玻璃基板底部的传输滚轮(9);所述压紧滚轮组包括多组设置于玻璃基板上部的压紧滚轮(1)。
4...
【专利技术属性】
技术研发人员:孟繁宇,
申请(专利权)人:镇江蓓蕾电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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