一种玻璃基板清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种玻璃基板清洗装置，包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统；传输系统包括传输滚轮组，用于传输清洗过程中的玻璃基板，传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统；喷淋清洗系统可以朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头；烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理；废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部，用于收集清洗和烘干过程中的清洗液，本实用新型专利技术所设计玻璃基板清洗装置的清洗和烘干功能集成化。

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃基板清洗装置
本技术属于玻璃机器
，尤其是一种玻璃基板清洗装置。
技术介绍
我国作为世界生产玻璃最大的国家，玻璃机器需求与日俱增。玻璃清洗机是玻璃加工行业必不可少的设备，这是因为玻璃在加工过程中，由于工艺处理、环境因素或人为因素等情况会对玻璃造成污染，玻璃的表面会有油渍或者污垢，严重影响到玻璃的质量。目前行业中大多使用玻璃清洗机，玻璃清洗的工艺方法可以根据清晰的原理分为：毛刷清洗、高压水冲刷和超声波清洗等方式。玻璃基板是是平板显示(FlatPaneldisplay,FPD)产业的关键基础材料，玻璃基板的表面蒸镀有一层In2O3或SnO2透明导电层即ITO膜层；再生产过程中，制程步骤之前都必须将玻璃基板表面清洗干净，以去除污染物，避免原生氧化物薄膜之生成，随着玻璃基板的尺寸越来越大，对基板表面的洁净度要求也不断提高。玻璃基板洗净的目的在于清除基板表面的污垢的同时，必须确保基板在洗净完成后其电性参数及特性，确保元件的品质与可靠度。
技术实现思路
为了解决现有技术中的不足，本技术提出了一种玻璃基板清洗装置，集清洗、烘干于一体的清洗装置。本技术所采用的技术方案如下：一种玻璃基板清洗装置，包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统；所述传输系统包括传输滚轮组，用于传输清洗过程中的玻璃基板，所述传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统；所述喷淋清洗系统包括喷淋管路，所述喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头；所述烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理；所述废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部，用于收集清洗和烘干过程中的清洗液。进一步，所述烘干系统内设有一组风刀，每组风刀分为上风刀和下风刀，上风刀朝向玻璃基板的上表面设置，下风刀朝向玻璃基板的下表面设置；进一步，所述传输滚轮组包括传输滚轮组和压紧滚轮组，所述传输滚轮组包括多组设置于玻璃基板底部的传输滚轮；所述压紧滚轮组包括多组设置于玻璃基板上部的压紧滚轮；进一步，所述压紧滚轮仅在烘干系统内设置，通过所述传输滚轮和压紧滚轮对玻璃基板进行压紧，避免在烘干系统内，在风刀的作用下玻璃基板抖动造成破碎；进一步，所述传输滚轮为主动滚轮，所述压紧滚轮为从动滚轮；进一步，所述喷头通过清洗液连接管连接清洗液储存箱，且在清洗液连接管上设有清洗液输送泵5；进一步，所述废液收集系统包括废液收集槽，所述废液收集槽设置在喷淋清洗系统、烘干系统的底部，所述废液收集槽通过管路连接过滤器的入口，所述过滤器对所收集的废液进行过滤；进一步，所述过滤器的出口连接清洗液储存箱，实现清洗液的循环利用。本技术的有益效果：1、本技术所设计的一种玻璃基板清洗装置集清洗、烘干等多个环节于一体的清洗装置，功能齐全。2、本技术所设计的装置结构紧凑，且各个处理环节之间平缓过渡，相互协作，整个清洗过程更加流场，运行更加稳定。3、为了避免在烘干环节中，由于风刀的气流造成玻璃基板的损坏，本技术烘干环节内通过设置压紧滚轮，通过传输滚轮和压紧滚轮对玻璃基板进行压紧，避免在风刀的作用下玻璃基板抖动造成破碎。4、本发技术所设计的装置结构紧凑还设计有废液处理环节，能够对清洗过程所产生的废弃液体进行收集，经过循环处理后的废液可以再次利用或者达到环保要求后定向排放。附图说明图1是本技术玻璃基板清洗装置内部结构主视图；图2是本技术玻璃基板清洗装置中传输滚轮组局部示意图；图中，1、压紧滚轮，2、风刀，3、废液收集槽，4、废液输送泵，5、清洗液输送泵，6、过滤器，7、清洗液储存箱，8、喷淋系统，9、传输滚轮，10、安装轨道，11、转动轴，12、滚轮。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术，并不用于限定本技术。如图1所示，本申请所设计的一种玻璃基板清洗装置包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统；其中，喷淋清洗系统和烘干系统之间可以设置在一个密闭的空间内，但是喷淋清洗系统和烘干系统之间需要相互隔离，分成喷淋清洗室和烘干室；喷淋清洗系统包括喷淋管路，喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面和下表面设置的喷头；喷头通过清洗液连接管连接清洗液储存箱7，且在清洗液连接管上设有清洗液输送泵5，在清洗液输送泵5的作用下，将清洗液储存箱7内的清洗液源源不断的输入喷淋清洗室，对传输进喷淋清洗室的玻璃基板进行清洗，清洗完毕后的玻璃基板将被运输至烘干室。烘干系统内设有一组风刀2，每组风刀分为上风刀和下风刀，上风刀朝向玻璃基板的上表面设置，下风刀朝向玻璃基板的下表面设置，通过上风刀和下风刀能够对进入烘干室的玻璃基板充分烘干。本技术中的传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统，可以将待清洗的玻璃基板依次运输经过喷淋清洗系统和烘干系统。在本技术中，传输滚轮组包括传输滚轮组和压紧滚轮组，传输滚轮组和压紧滚轮组都是由转动轴11固定在两根平行的安装轨道10之间，所有的转动轴11上固定套装有滚轮12。如图2，传输滚轮组包括多组设置于玻璃基板底部的传输滚轮9，传输滚轮9为主动滚轮，在电机的带动下能够主动转动，进而能将传输滚轮9上的玻璃基板往一定方向运输。由于本技术是通过玻璃基板上下表面的风刀2对玻璃基板进行烘干，因此考虑到在烘干室内在风刀产生的气流的作用下可能会出现玻璃基板的抖动情况，而抖动会导致玻璃基板的损伤，因为为了防止出现抖动，在烘干室设有压紧滚轮1，压紧滚轮1设置于玻璃基板上部，压紧滚轮1为从动轮，不需要施加动力，在玻璃基板的带动下转动；通过玻璃基板上、下两个表面的压紧滚轮1和传输滚轮9对玻璃基板进行压紧，能有效地避免在烘干系统内玻璃基板抖动造成破碎。同时，本技术还考虑到在喷淋清洗系统和烘干系统内的底部都设有废液收集系统，通过废液收集系统将清洗阶段和烘干阶段低落的废液进行收集。废液收集系统包括废液收集槽3，述废液收集槽3分别设置在喷淋清洗系统、烘干系统的底部，废液收集槽3的底部设有收集斗，收集斗的出口通过管路依次连接废液输送泵4、过滤器6的入口，通过过滤器6对所收集的废液进行过滤，过滤器6可以根据清洗废液中的杂质成分进行选择，如对对颗粒状的杂质进行过滤，进而保证经过过滤后的清洗液符合环保的要求，可以直接排放；或者将过滤器6的出口连接清洗液储存箱7，实现清洗液的循环利用。以上实施例仅用于说明本技术的设计思想和特点，其目的在于使本领域内的技术人员能够了解本技术的内容并据以实施，本技术的保护范围不限于上述实施例。所以，凡依据本技术所揭示的原理、设计思路所作的等同变化或修饰，均在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统；所述传输系统包括传输滚轮组，用于传输清洗过程中的玻璃基板，所述传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统；所述喷淋清洗系统包括喷淋管路，所述喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头；所述烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理；所述废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部，用于收集清洗和烘干过程中的清洗液。/n

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统；所述传输系统包括传输滚轮组，用于传输清洗过程中的玻璃基板，所述传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统；所述喷淋清洗系统包括喷淋管路，所述喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头；所述烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理；所述废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部，用于收集清洗和烘干过程中的清洗液。


2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述烘干系统内设有一组风刀（2），每组风刀（2）分为上风刀和下风刀，上风刀朝向玻璃基板的上表面设置，下风刀朝向玻璃基板的下表面设置。


3.根据权利要求1或2所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述传输滚轮组包括传输滚轮组和压紧滚轮组，所述传输滚轮组包括多组设置于玻璃基板底部的传输滚轮（9）；所述压紧滚轮组包括多组设置于玻璃基板上部的压紧滚轮（1）。


4...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟繁宇，
申请(专利权)人：镇江蓓蕾电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32