【技术实现步骤摘要】
氧化镓在压电材料上的应用及压电薄膜、压电器件
本专利技术涉及基于氧化镓的压电材料、压电薄膜及压电器件。
技术介绍
压电材料被广泛应用于构建射频滤波器和振荡器，是射频通信领域的重要器件之一；此外，基于压电材料的压电谐振器还可被用于实现温度、化学传感器。随着压电材料技术的发展，压电器件的发展趋势是高频率、低功耗、微型化、集成化和低成本等；其中，基于压电薄膜材料的压电器件具有传统陶瓷体材料压电器件无可比拟的频率、功率容量、体积和成本优势。压电器件的工作原理是由射频电信号通过电极在压电薄膜内激励起声波振荡从而实现特定频率的谐振。因此，薄膜的机电耦合系数是决定谐振器性能的关键。本领域技术人员为了提升谐振器的机电耦合系数，一般采用的材料需要具有较强的压电系数，例如AlN材料的压电系数e33＝1.55C/m2。现有压电材料的研究和发掘向着探寻压电系数更高的材料发展。
技术实现思路
本专利技术目的在于实现氧化镓在压电材料上的应用及压电薄膜、压电器件，以提供压电材料更多的选择性。氧化镓在压电材料上的应用，所...
【技术保护点】
1.氧化镓在压电材料上的应用，其特征在于，所述氧化镓为ε相氧化镓。/n
【技术特征摘要】
1.氧化镓在压电材料上的应用，其特征在于，所述氧化镓为ε相氧化镓。
2.压电薄膜，其特征在于，由ε相氧化镓制成。
3.根据权利要求2所述压电薄膜，其特征在于，ε相氧化镓制备温度不高于850℃。
4.根据权利要求2所述压电薄膜，其特征在于，厚度为0.1～100微米。
5.根据权利要求2所述压电薄膜，其特征在于，表面的晶面取向为(001)取向。
6.根据权利要求2所述压电薄膜，其特征在于，ε相氧化镓结晶于异质衬底上，且衬底表面的实际晶向相对于衬底晶向存在0～6°的倾斜角。
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