具有线性特性的超小型谐振式石英体波温度传感器制造技术

具有线性特性的超小型谐振式石英体波温度传感器，它涉及一种谐振式精密高稳定柱状石英晶体传感器。本发明专利技术包括管壳（１）、石英晶片（２），石英晶片（２）在长度方向上的两个面（２－１）为平面，在宽度方向上的两个面（２－２）为平面，长度边长与宽度边长的比值为１．５～２０，其在厚度方向上的两个面包含有曲面（２－３），曲面（２－３）在长度方向的厚度分布规律符合指数函数的倒数关系，在石英晶片（２）的厚度方向上的两个面上还分别设有一个电极（３），电极（３）的外形设置为蝙蝠状，并且其边缘呈波纹状，波纹的周期相同，所述两个面上的两个电极（３）相对设置。本发明专利技术作为温度传感器具有测温范围宽、响应速度快、线性度好、一致性佳的优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种温度传感器，特别是一种测温范围宽、线性度好、响应速度快、一致性佳的谐振式精密高稳定柱状石英晶体传感器。
技术介绍
石英晶体是一种各向异性的压电单晶，对于晶体方位的改变，其物理特性有很大的不同。国内、外已经申报了很多关于揩振式石英晶体温度传感器的专利，与传统铂电阻等模拟传感器相比它们的最大优点是高稳定，抗干扰能力强，此外，输出信号是频率，分辨率高，测温准确度高，电源电压的变化对准确度影响甚微，例如，美国专利US4039969、US4398115、US4924132、US4547691、US4437773、US4592663、US5531091和US5607236，中国专利CN2223841Y(ZL94243623.7)、ZL95236820.X和ZL98219201.0，上述的石英晶体温度传感器主要有三大类，一类是采用厚度切变模式透镜型石英晶体温度传感器，其分辨率高，可达0.001℃，测温准确度可达0.02℃；第二类是声表面波类，它采用瑞利波模式工作，它的主要优点是响应速度快，但是其长期稳定性不高，由于工作频率大都100MHz左右，匹配外电路价格高；第三类是采用弯曲本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有线性特性的超小型谐振式石英体波温度传感器，它包括管壳（１）、石英晶片（２），其特征在于所述石英晶片（２）在长度方向上的两个端面（２－１）为平面，在宽度方向上的两个端面（２－２）为平面，长度边长与宽度边长的比值为１．５～２０，其在厚度方向上的两个面包含有曲面（２－３），曲面（２－３）在长度方向的厚度分布规律符合指数函数的倒数关系，在石英晶片（２）的厚度方向上的两个面上还分别设有一个电极（３），电极（３）的外形设置为蝙蝠状，并且其边缘呈波纹状，波纹的周期相同，所述两个面上的两个电极（３）相对设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林江，叶东升，陈松，毛松滨，
申请(专利权)人：林江，叶东升，陈松，毛松滨，哈尔滨市大地测量仪器工程技术研究开发中心，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]