【技术实现步骤摘要】
一种镂空式陶瓷复合加热器
本技术涉及一种镂空式陶瓷复合加热器,属于加热器制备
技术介绍
目前现有的热解氮化硼-热解石墨(PBN-PG)立体复合加热器采用多个加热区域分别加热的方式进行加热,每个加热区域的PG电路是不连通的,但每个区域之间的PBN基体是连续的,现有加热器由于每个加热区域之间的PBN基体是连续的,整体的加热均匀性好,但是有些物料上下层蒸发所需温度不同,需要加热器产生温度梯度,这时每个加热区域会互相影响,导致加热器不同加热区域的温度梯度过小,无法满足物料对温度梯度的需求。中国专利文件CN110592557A一种内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器,属于加热器
,装置包含PBN基体、PG涂层电路以及PBN涂层保护层;PBN基体内部中空,PBN基体内壁上设有PG涂层电路,PG涂层电路与PBN基体的内表面贴合,PBN涂层保护层附于PG涂层电路上,通过化学气相沉积制备PBN基体,通过雕刻沉积PG涂层制备电路,最终得到内表面加热的加热器。该加热器提高了加热器加热的均匀性,但并不能解决需要加热器加热产生温度差的问题。有鉴于此,解决加热器无法产生温度差的问题,更好的满足市场的需求,是十分重要的。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供一种镂空式陶瓷复合加热器,该加热器解决了普通加热器无法产生温度差的问题,满足了物料上下层蒸发需要不同温度的需求。本技术的技术方案如下:一种镂空式陶瓷复合加热器,包括PBN基体,PBN基体设有镂空段,镂空段上侧的PBN基体外 ...
【技术保护点】
1.一种镂空式陶瓷复合加热器,其特征在于,包括PBN基体,PBN基体设有镂空段,镂空段上侧的PBN基体外壁和镂空段下侧的PBN基体外壁上分别设有PG涂层电路,两部分的PG涂层电路为相互独立的电路,PG涂层电路上涂覆一层PBN涂层。/n
【技术特征摘要】
1.一种镂空式陶瓷复合加热器,其特征在于,包括PBN基体,PBN基体设有镂空段,镂空段上侧的PBN基体外壁和镂空段下侧的PBN基体外壁上分别设有PG涂层电路,两部分的PG涂层电路为相互独立的电路,PG涂层电路上涂覆一层PBN涂层。
2.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器,其特征在于,PBN基体为内部中空的圆柱体。
3.如权利要求1所述的镂空式陶瓷复合加热器,其特征在于,镂空段上侧的PG涂层电路为条形折线,折线穿过镂空段所在高度的PBN基体后垂直连接至PBN基体下端的电极A,镂空段下侧的PG涂层电路为条形折线,折...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘汝强,王殿春,孙蕾,吴思华,
申请(专利权)人:山东国晶新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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