一种光学设备、遮光装置及其遮光机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种光学设备、遮光装置及其遮光机构，其中，遮光机构用于遮挡进入探测镜头中的杂散光，该遮光机构包括连接部和主体部，连接部的两端分别连接探测镜头和主体部；连接部和主体部均呈筒状结构，且主体部的顶端与连接部可旋转连接；连接部可带动主体部相对于探测镜头沿光轴移动。可在提高光学检测仪器的灵敏度的同时，降低光学检测仪器的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种光学设备、遮光装置及其遮光机构
本技术涉及光学检测
，具体涉及一种光学设备、遮光装置及其遮光机构。
技术介绍
集成电路制造工艺一般都包含复杂的工序，任何工艺环节出错都可能导致芯片的失效，故在生产制造的过程中需要对中间产品及成品进行精密的检测。目前主流的检测方法为通过光学检测仪器对待检测部件进行光学检测。半导体产品存在的缺陷一般都是微米或者亚微米级大小的，因此对光学检测仪器的灵敏度要求较高，所以光学检测仪器一般会选用检测灵敏度高的探测器，但此类探测器价格较高，将会提高光学检测仪器的价格。因此，如何在提高光学检测仪器的灵敏度的同时，降低光学检测仪器的成本，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种光学设备、遮光装置及其遮光机构，可在提高光学检测仪器的灵敏度的同时，降低光学检测仪器的成本。为解决上述技术问题，本技术提供一种遮光机构，用于遮挡进入探测镜头中的杂散光，所述遮光机构包括连接部和主体部，所述连接部的两端分别连接所述探测镜头和所述主体部；所述连接部和所述主体部均本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种遮光机构，用于遮挡进入探测镜头(6)中的杂散光，其特征在于，所述遮光机构包括连接部(1)和主体部(2)，所述连接部(1)的两端分别连接所述探测镜头(6)和所述主体部(2)；/n所述连接部(1)和所述主体部(2)均呈筒状结构，且所述主体部(2)的顶端与所述连接部(1)可旋转连接；/n所述连接部(1)可带动所述主体部(2)相对于所述探测镜头(6)沿光轴移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种遮光机构，用于遮挡进入探测镜头(6)中的杂散光，其特征在于，所述遮光机构包括连接部(1)和主体部(2)，所述连接部(1)的两端分别连接所述探测镜头(6)和所述主体部(2)；
所述连接部(1)和所述主体部(2)均呈筒状结构，且所述主体部(2)的顶端与所述连接部(1)可旋转连接；
所述连接部(1)可带动所述主体部(2)相对于所述探测镜头(6)沿光轴移动。


2.根据权利要求1所述的遮光机构，其特征在于，所述主体部(2)的顶端和所述连接部(1)的底端中，一者为外壁沿周向设有凹槽(31)的第一连接端(3)，另一者为设有滑块的第二连接端(4)，所述滑块位于所述凹槽(31)内并可沿所述凹槽(31)滑动。


3.根据权利要求2所述的遮光机构，其特征在于，所述第二连接端(4)的侧壁设有螺孔，所述滑块为与所述螺孔相适配的螺栓(41)。


4.根据权利要求3所述的遮光机构，其特征在于，所述第二连接端(4)设有台阶面(42)，所述凹槽(31)的一侧壁为倾斜面(311)且所述凹槽(31)的槽口宽度大于槽底的宽度，所述螺栓(41)沿所述螺孔的轴向向所述凹槽(31)内移动时能够抵接所述倾斜面(311)使得所述第一连接端(3)的端面贴紧所述台阶面(42)。


5.根据权利要求4所述的遮光机构，其特征在于，所述第一连接端(3)的外壁还设有限位件(32)，所述螺栓(41)沿所述螺孔的轴向向所述凹槽(31)内移动至所述第二连接端(4)的端面抵接所述限位件(32)时，所述第一连接端(3)的端面贴紧所述台阶面(42)。


6.根据权利要求2-5任一项所述的遮光机构，其特征在于，所述凹槽(31)的截面呈梯形结构或呈V型结构。


7.根据权利要求2-5任一项所述的遮光机构，其特征在于，所述滑块的数量为至少两个，并沿所述连接部(1)的周向均匀间隔设置。


8.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44