一种化学品供应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种化学品供应装置，涉及半导体化学工艺技术领域。该化学品供应装置包括原料桶、泵和移动箱体。原料桶和泵均设置在移动箱体内，可方便快速地将原料送至生产现场。泵的进口和出口分别和原料桶的出口、用料设备的进料口连通，以形成供液管路。泵的进口和出口也分别和用料设备中的废液桶、外部废液贮存装置连通，以形成废液转移管路。供液管路和废液转移管路上均设置有开关阀，以控制供液管路和废液转移管路的导通和闭合，实现两个管路之间的切换。通过供液管路能够将化学品原料快速供给用料设备使用，通过废液转移管路能够将废液桶内的废液快速转移至外部废液贮存装置中，保证生产持续进行。

【技术实现步骤摘要】
一种化学品供应装置
本技术涉及半导体化学工艺
，尤其涉及一种化学品供应装置。
技术介绍
随着半导体行业的快速发展，工艺系统对化学品供应的要求越来越高。目前，在工艺系统中，为保证化学品的供应，会在生产现场预先贮存化学品原料，并将其供给用料设备。然而，由于现场的原料贮存量有限，随着用料设备的使用，可能出现原料供应不足的情况，导致生产停滞。与原料供应问题类似，在生产过程中，用料设备产生的废液会积存在废液桶内，然而随着生产的进行，废液会越来越多，可能出现无法满足废液回收需求，需停工转移废液的情况，影响生产进程。基于此，亟需一种化学品供应装置，用以解决如上提到的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种化学品供应装置，能够方便快捷地为用料设备提供化学品原料，且能够及时转走废液桶内的废液。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种化学品供应装置，包括：原料桶；泵，所述泵的进口和所述原料桶的出口连通，所述泵的出口和用料设备的进料口连通，以形成供液管路；所述泵的进口和所述用料设备中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学品供应装置，其特征在于，包括：/n原料桶(1)；/n泵(2)，所述泵(2)的进口和所述原料桶(1)的出口连通，所述泵(2)的出口和用料设备(100)的进料口连通，以形成供液管路；/n所述泵(2)的进口和所述用料设备(100)中的废液桶(101)连通，所述泵(2)的出口和外部废液贮存装置(300)连通，以形成废液转移管路；/n所述供液管路和所述废液转移管路上均设置有开关阀；/n移动箱体(3)，所述原料桶(1)和所述泵(2)均设置在所述移动箱体(3)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学品供应装置，其特征在于，包括：
原料桶(1)；
泵(2)，所述泵(2)的进口和所述原料桶(1)的出口连通，所述泵(2)的出口和用料设备(100)的进料口连通，以形成供液管路；
所述泵(2)的进口和所述用料设备(100)中的废液桶(101)连通，所述泵(2)的出口和外部废液贮存装置(300)连通，以形成废液转移管路；
所述供液管路和所述废液转移管路上均设置有开关阀；
移动箱体(3)，所述原料桶(1)和所述泵(2)均设置在所述移动箱体(3)内。


2.根据权利要求1所述的化学品供应装置，其特征在于，所述泵(2)的进口和所述原料桶(1)的出口之间设置有第一开关阀(5)，所述泵(2)的出口和所述用料设备(100)的进料口之间设置有第二开关阀(6)，所述泵(2)的进口和所述废液桶(101)之间设置有第三开关阀(7)，所述泵(2)的出口和所述外部废液贮存装置(300)之间设置有第四开关阀(8)。


3.根据权利要求1所述的化学品供应装置，其特征在于，所述开关阀为电动开关阀。


4.根据权利要求1所述的化学品供应装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张倩，时楠，
申请(专利权)人：上海正帆科技股份有限公司，江苏正帆半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31