【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学波前传感器，特别是一种大动态范围的哈特曼 波前传感器。
技术介绍
哈特曼波前传感器通常由波面分割阵列(通常选用微透镜阵列)、光电探测器阵列(通常选用CCD探测器)、计算机和数据处理软件等部 分组成。微透镜阵列中的子透镜将入射波面分割成相应的子孔径区域， 并且将子孔径范围内的光束聚焦到CCD探测器的光敏面上。通过图像采 集信号控制CCD探测器采集光斑阵列的图像信息，再把采集到的图像信 息传输给计算机，由计算机的数据处理软件计算出畸变波面光斑质心坐 标与参考波前质心坐标之差，从而获得每个子区域上的波前斜率信息， 最后通过波前重构算法计算出入射波前的波面形状。然而传统哈特曼波前传感器的动态范围由微透镜阵列子透镜的焦 距和孔径大小所决定，因为微透镜阵列的子孔径将CCD探测器的光敏面 分割成相应假设的子区域(如图2所示)，超出该子区域限制的光斑将 无法被正确识别。当微透镜阵列的子透镜的焦距和孔径大小固定后，哈 特曼波前传感器的动态范围也就随之确定了，因此为了满足不同动态范 围和精度的光学波前检测要求，就得设计不同参数的哈特曼波前传感 器。当入射波前畸变量超...
【技术保护点】
一种大动态范围的哈特曼波前传感器，包括由平面波参考源（３）、分光镜（２）、光学匹配系统（４）、波面分割阵列（５）、光电探测器阵列（６）和具有数据处理软件的计算机组成的哈特曼波前传感器，其特征是还有一平移台（７），所述的光电探测器阵列（６）固定在该平移台（７）上，驱动该平移台（７）运动，带动所述的光强探测器阵列（６）沿其光敏面的法线方向移动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：姜有恩，李学春，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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