热光移相器、热光移相器网络及光电装置制造方法及图纸

本公开涉及热光移相器、热光移相器网络及光电装置。提供了一种热光移相器，包括：多个第一波导，每个第一波导具有第一宽度并且沿第一方向延伸；以及多个第二波导，每个第二波导具有不同于第一宽度的第二宽度并且沿第一方向延伸，其中，多个第一波导和多个第二波导交替地在不同于第一方向的第二方向上间隔布置，其中，多个第一波导和多个第二波导中的至少一个波导被掺杂以用作热光移相器的发热单元，以及其中，多个第一波导和多个第二波导中的未被掺杂的波导光学地串联耦接，以在两端分别提供热光移相器的光输入端口和光输出端口。

【技术实现步骤摘要】
热光移相器、热光移相器网络及光电装置
本公开总体上涉及光电子器件领域，并且更具体而言，本公开涉及热光移相器、热光移相器网络及光电装置。
技术介绍
在光电子器件及其相关应用中，通常可以通过光电效应、电光效应、声光效应、磁光效应、热光效应等多种物理效应来实现各种功能性器件。其中，利用热光效应来实现光的相位调制的热光移相器是光电子器件当中的一种重要的功能性器件，其具有制作简单、成品率高、成本低、易于集成等优点。现有的热光移相器一般在波导外部设置加热器，从而通过加热器提供的热量来调制在波导中传播的光的相位。但是，这种热光移相器的尺寸较大，功耗较高，调制速度慢，并且移相效率低。这些问题尤其在热光移相器作为单元器件而被应用于大规模网络性结构时更为严重。
技术实现思路
根据本公开的第一方面，提供了一种热光移相器，包括：多个第一波导，每个第一波导具有第一宽度并且沿第一方向延伸；以及多个第二波导，每个第二波导具有不同于所述第一宽度的第二宽度并且沿所述第一方向延伸，其中，所述多个第一波导和所述多个第二波导交替地在不同于所述第一方向的第二方向上间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热光移相器，包括：/n多个第一波导，每个第一波导具有第一宽度并且沿第一方向延伸；以及/n多个第二波导，每个第二波导具有不同于所述第一宽度的第二宽度并且沿所述第一方向延伸，/n其中，所述多个第一波导和所述多个第二波导交替地在不同于所述第一方向的第二方向上间隔布置，/n其中，所述多个第一波导和所述多个第二波导中的至少一个波导被掺杂以用作所述热光移相器的发热单元，/n以及其中，所述多个第一波导和所述多个第二波导中的未被掺杂的波导光学地串联耦接，以在两端分别提供所述热光移相器的光输入端口和光输出端口。/n

【技术特征摘要】
1.一种热光移相器，包括：
多个第一波导，每个第一波导具有第一宽度并且沿第一方向延伸；以及
多个第二波导，每个第二波导具有不同于所述第一宽度的第二宽度并且沿所述第一方向延伸，
其中，所述多个第一波导和所述多个第二波导交替地在不同于所述第一方向的第二方向上间隔布置，
其中，所述多个第一波导和所述多个第二波导中的至少一个波导被掺杂以用作所述热光移相器的发热单元，
以及其中，所述多个第一波导和所述多个第二波导中的未被掺杂的波导光学地串联耦接，以在两端分别提供所述热光移相器的光输入端口和光输出端口。


2.根据权利要求1所述的热光移相器，其中，每个被掺杂的波导包括至少一个第一掺杂区域和至少一个第二掺杂区域，所述至少一个第一掺杂区域和所述至少一个第二掺杂区域沿所述第一方向交替地布置在该被掺杂的波导中。


3.根据权利要求2所述的热光移相器，其中，第一掺杂区域为P型掺杂区域，以及第二掺杂区域为N型掺杂区域。


4.根据权利要求3所述的热光移相器，其中，每个被掺杂的波导中的相邻掺杂区域彼此接触以形成至少一个PN结。


5.根据权利要求4所述的热光移相器，还包括第一电学端口和不同于所述第一电学端口的第二电学端口，其中所述热光移相器被配置为在所述第一电学端口处的电压高于所述第二电学端口处的电压时，每个被掺杂的波导中的PN结导通。


6.根据权利要求5所述的热光移相器，其中，每个被掺杂的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜平，田野，赵洋，王玮，李强，蒋平，冯俊波，郭进，
申请(专利权)人：联合微电子中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50