【技术实现步骤摘要】
单晶炉石英坩埚的升降装置
本技术涉及单晶炉内的坩埚
,尤其涉及单晶炉石英坩埚的升降装置。
技术介绍
现有的单晶炉中,石英坩埚固定安装在单晶炉内,石英坩埚在竖直方向上的高度无法进行调节,因此当石英坩埚内液体较少时,析出的单晶硅位于单晶炉内较低的位置,造成单晶硅的取出困难。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的单晶炉石英坩埚的升降装置,其通过驱动电机转动带动螺纹杆转动,螺纹杆转动带动套筒上移,进而使抵板将坩埚炉体内推出,从而便于单晶炉内单晶硅的取出,便于对设备的安装调试。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:单晶炉石英坩埚的升降装置,包括炉体以及设置在炉体内的保温层,所述炉体内设置有一坩埚,所述炉体的内壁固定连接有一U形架,所述U形架上螺旋设置有电热管,所述炉体的下端固定连接有两个支撑腿,两个所述支撑腿之间通过连接杆固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆,所述炉体的内底部位于中心处贯穿设置有通孔,所述螺纹杆上螺纹连接有套筒,所述套筒位于炉 ...
【技术保护点】
1.单晶炉石英坩埚的升降装置,包括炉体(1)以及设置在炉体(1)内的保温层(2),所述炉体(1)内设置有一坩埚(3),其特征在于,所述炉体(1)的内壁固定连接有一U形架(5),所述U形架(5)上螺旋设置有电热管(6),所述炉体(1)的下端固定连接有两个支撑腿(13),两个所述支撑腿(13)之间通过连接杆(12)固定连接有驱动电机(11),所述驱动电机(11)的输出轴固定连接有螺纹杆(10),所述炉体(1)的内底部位于中心处贯穿设置有通孔(14),所述螺纹杆(10)上螺纹连接有套筒(9),所述套筒(9)位于炉体(1)内的一端安装有抵板(7),所述套筒(9)上安装有导向机构。/n
【技术特征摘要】
1.单晶炉石英坩埚的升降装置,包括炉体(1)以及设置在炉体(1)内的保温层(2),所述炉体(1)内设置有一坩埚(3),其特征在于,所述炉体(1)的内壁固定连接有一U形架(5),所述U形架(5)上螺旋设置有电热管(6),所述炉体(1)的下端固定连接有两个支撑腿(13),两个所述支撑腿(13)之间通过连接杆(12)固定连接有驱动电机(11),所述驱动电机(11)的输出轴固定连接有螺纹杆(10),所述炉体(1)的内底部位于中心处贯穿设置有通孔(14),所述螺纹杆(10)上螺纹连接有套筒(9),所述套筒(9)位于炉体(1)内的一端安装有抵板(7),所述套筒(9)上安装有导向机构。
2.根据权利要求1所述的单...
【专利技术属性】
技术研发人员:高生全,韩永龙,高玉顺,何旭,杨延生,
申请(专利权)人:阳光能源青海有限公司,
类型:新型
国别省市:青海;63
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