一种水平电化学沉积金属装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种水平电化学沉积金属装置，包括排液槽(20)，排液槽(20)内设置有用于盛放电解液(60)的电解质槽(10)，电解质槽(10)的下端连通有输液管道(11)，排液槽(20)的下端连通有排液管道(21)，电解质槽(10)的侧面设有用于调节电解液(60)液面高度的高度闸(12)，电解质槽(10)内设置有下电极(70)，电解质槽(10)的上方设置有用于输送半导体器件(50)的下传送滚轮(30)，半导体器件(50)上表面整面或多点接触式上电极，半导体器件(50)上表面整面或多点接触式的上电极与下电极(70)相连。本实用新型专利技术的一种水平电化学沉积金属装置，能够在电池的透明导电膜表面或者钝化膜表面上实行可靠的、可量产化的金属化制程。

【技术实现步骤摘要】
一种水平电化学沉积金属装置
本技术涉及一种水平电化学沉积金属装置，用于太阳能电池的透明导电膜或者钝化膜的电化学沉积金属，属于太阳能电池制造领域。
技术介绍
半导体器件通常使用金属作为器件电极用以提取或注入电荷载流子。因此金属化在半导体制造中往往都是一个重要的工艺步骤，在太阳能电池的制造中亦是如此。尤其是太阳能电池正面入光面的金属化通常需要考虑到遮光损失、金属导电性和与半导体的接触电阻等等因素。丝网印刷银浆料再经过高温烧结形成金属栅线是目前应用最广泛的晶硅太阳能电池正面金属化方法。该方法工艺简单，早已实现大规模量产。随着硅片和电池工艺不断发展，电池制作成本不断下跌，采用昂贵银浆料的金属化过程所产生的成本在整个电池成本中占有的比例不断上升，尤其是对于正背两面都采用银栅线的双面HJT电池来讲更为甚之。在多项电池和组件技术趋于成熟的今天，为实现光伏技术发电侧平价这一目标，降低电池金属化成本势在必行。使用电化学方法可在太阳能电池表面上电镀金属形成电极。此方法可使用更为便宜的镍，铜等金属部分或者全部替代银来实现成本降低。在这种方法中，电解质溶液中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水平电化学沉积金属的装置，其特征在于：包括排液槽（20），所述排液槽（20）内设置有用于盛放电解液（60）的电解质槽（10），所述电解质槽（10）的下端连通有输液管道（11），所述排液槽（20）的下端连通有排液管道（21），所述电解质槽（10）的侧面设有用于调节所述电解液（60）液面高度的高度闸（12），所述电解质槽（10）内设置有下电极（70），所述电解质槽（10）的上方设置有用于输送半导体器件（50）的下传送滚轮（30），所述半导体器件（50）上表面整面或多点接触式上电极，所述半导体器件（50）上表面整面或多点接触式的上电极与所述下电极（70）相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种水平电化学沉积金属的装置，其特征在于：包括排液槽（20），所述排液槽（20）内设置有用于盛放电解液（60）的电解质槽（10），所述电解质槽（10）的下端连通有输液管道（11），所述排液槽（20）的下端连通有排液管道（21），所述电解质槽（10）的侧面设有用于调节所述电解液（60）液面高度的高度闸（12），所述电解质槽（10）内设置有下电极（70），所述电解质槽（10）的上方设置有用于输送半导体器件（50）的下传送滚轮（30），所述半导体器件（50）上表面整面或多点接触式上电极，所述半导体器件（50）上表面整面或多点接触式的上电极与所述下电极（70）相连。


2.根据权利要求1所述的一种水平电化学沉积金属的装置，所述上电极与所述下电极（70）连接包括以下三种方式，一种是所述上电极与偏压电源（90）的负极相连，所述下电极（70）与所述偏压电源（90）的正极相连；第二种是所述上电极与所述下电极（70）直接相连，所述半导体器件（50）的上方或者下方设置有发光器件（80）；第三种是所述上电极与偏压电源（90）的负极相连，所述半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：李中天，姚宇，邓晓帆，
申请(专利权)人：苏州太阳井新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32