硅片清洗机制造技术

本申请公开了一种硅片清洗机。该硅片清洗机包括：机架，其包括相对间隔设置的两个悬臂，清洗篮，其两端分别设置在所述两个悬臂上，以及驱动机构，所述驱动机构包括两个凸轮和分别与相应的所述凸轮配合的两个随动器，所述两个悬臂与相应的随动器相连，以驱动所述两个悬臂运动同步上下往复运动，并带动所述清洗篮上下往复运动。根据本申请的硅片清洗机，在清洗硅片时，承载篮的振动稳定好，可实现对硅片的良好清洗。

【技术实现步骤摘要】
硅片清洗机
本申请涉及半导体器件制造领域，特别涉及一种硅片清洗机。
技术介绍
在半导体器件的制造过程中，硅片表面的清洁非常重要，这是由于硅片表面的任何污染物都可能会不良地影响所制备的器件的品质。在现有技术中，通常将承载有硅片的承载篮挂在悬臂式清洗机上清洗。然而，悬臂式清洗机会导致承载篮的振幅不稳定，而难以实现对硅片的良好清洗。
技术实现思路
根据本专利技术，提出了一种硅片清洗机，包括：机架，所述机架包括相对间隔设置的两个悬臂，清洗篮，所述清洗篮两端分别设置在所述两个悬臂上，以及驱动机构，所述驱动机构包括两个凸轮和分别与相应的所述凸轮配合的两个随动器，所述两个悬臂与相应的随动器相连，以驱动所述两个悬臂运动同步上下往复运动，并带动所述清洗篮上下往复运动。在一个实施例中，所述驱动机构还包括两个竖直设置的轨道，所述两个随动器分别与相应的所述轨道相配合。在一个实施例中，所述两个随动器上均设置有卡槽状滑块，所述滑块滑动式卡接在所述轨道上。在一个实施例中，所述两个凸轮的轴线沿水平方向延伸。在一个实施例中，所述两个凸轮间隔地安装在同一个水平驱动轴上。在一个实施例中，所述驱动机构还包括将所述凸轮与所述驱动轴固定相连的抱紧机构，其中，所述抱紧机构包括第一抱紧环和第二抱紧环，所述第一抱紧环固定在所述凸轮上，所述第二抱紧环与所述第一抱紧环可拆装式连接，所述抱紧机构包括延伸穿过所述第一抱紧环、凸轮和驱动轴的传动键。在一个实施例中，所述两个凸轮中的任一个的基圆半径为30mm，近休止角和远休止角均为50度，凸轮轮廓线的升程、回程均为正弦加速度运动规律。在一个实施例中，所述两个悬臂中的任一个具有横向延伸部和纵向延伸部，所述清洗篮设置在所述横向延伸部上，所述纵向延伸部与所述随动器相连。在一个实施例中，所述两个悬臂中的第一悬臂具有与相应的所述凸轮相连的一个第一纵向延伸部，和与所述一个纵向延伸部相连的一个第一横向延伸部，所述两个悬臂中的第二悬臂具有与相应的所述凸轮相连的一个第二纵向延伸部，与所述第二纵向延伸部相连的第二横向延伸部，与所述第二横向延伸部相连的第三纵向延伸部，以及与所述第三纵向延伸部相连的第四横向延伸部，所述第一横向延伸部朝向所述第二悬臂，并且所述第二横向延伸部和第四横向延伸部朝向所述第一悬臂，所述清洗篮设置在所述第一横向延伸部和第四横向延伸部上，所述第二横向延伸部和第三纵向延伸部构成所述硅片清洗机的通风口避让区。在一个实施例中，所述机架还包括两个间隔设置的竖直隔板，所述清洗篮处于在两个所述竖直隔板之间，所述凸轮和相应的随动器设置在相应竖直隔板的外侧，所述两个悬臂从相应的所述竖直隔板的外侧延伸到两个所述竖直隔板之间，以承载所述清洗篮，所述机架还包括连接在两个所述竖直隔板之间的水平隔板，所述清洗篮处于所述水平隔板的上方，所述驱动机构处于所述水平隔板的下方。在一个实施例中，在所述纵向延伸部上设置有多个卡位结构，所述横向延伸部能更换地安装在任一个所述卡位结构上。在一个实施例中，所述卡位结构为腰型孔。在一个实施例中，所述硅片清洗机还包括清洗槽，所述清洗篮能进入到所述清洗槽内。与现有技术相比，本申请的优点在于：在使用本申请的硅片清洗机时，清洗篮可以在清洗槽上下运动，从而实现使用清洗槽内的清洗剂来洗涤清洗篮承载的硅片。与现有技术中的清洗篮由单悬臂承载相比，在本申请中，使用两个悬臂承载清洗篮，这使得清洗篮以及其承载的硅片上下往复运动更稳定，从而不但清洗效果较好，而且极大地降低了硅片相互碰撞而刮伤的风险。此外，由两个悬臂承载清洗篮，也使得悬臂不易变形，使用寿命更长。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1示意性地显示了根据本申请一个实施例的硅片清洗机。图2示意性地显示了驱动机构。图3是图2的A向视图。图4示意性地显示了凸轮的轮廓。图5是图4的侧视图。图6示意性地显示了清洗篮。图7示意性地显示了现有技术中的硅片清洗机。图8示意性地显示了现有技术中的硅片清洗机的空间凸轮。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。图1示意性地显示了根据本申请的一个实施例的硅片清洗机1。如图1所示，硅片清洗机1包括机架100和清洗篮200。清洗篮200用于承载硅片230。硅片清洗机1还可以包括清洗槽300，用于容纳清洗剂。机架100还包括相对间隔设置的两个悬臂102(例如处于图1中右侧的悬臂102a和处于左侧的悬臂102b)，清洗篮200的两端分别设置在两个悬臂102上。两个悬臂102被驱动为同步上下往复运动，以带动清洗篮200上下往复运动。在使用本申请的硅片清洗机1时，清洗槽300(如图1中的虚线框所示)内具有清洗剂(例如，酸液)，清洗篮200可以相对于清洗槽300上下运动。例如，在需要清洗硅片时，将清洗篮200向下运动，清洗篮200的(或承载硅片的部分)进入到清洗槽300(如图1所示的状态)，以使得硅片没入清洗剂中；在硅片清洗完成后，将清洗篮200向上运动到清洗槽300之外，从而可以将清洗篮200承载的硅片取下来。这样，就实现了使用清洗槽300内的清洗剂洗涤清洗篮200承载的硅片。与现有技术中的清洗篮由单悬臂承载相比，在本申请中，使用两个悬臂102承载清洗篮200，这使得清洗篮200以及其承载的硅片上下往复运动更稳定，从而不但清洗效果较好，而且极大地降低了硅片相互碰撞而刮伤的风险。此外，由两个悬臂102承载清洗篮200，也使得悬臂102不易变形，使用寿命更长。如图所示，图1中的清洗篮200承载多个花篮，每个花篮内承载多片硅片，实现了多篮硅片清洗、增加产能的技术效果。在一个实施例中，清洗篮200的两端分别以悬挂的方式设置在两个悬臂102上，以便于清洗篮200的拆装。硅片清洗机1还包括驱动两个悬臂102运动的驱动机构400。在一个具体的实施例中，如图1和2所示，驱动机构400包括两个凸轮401和分别与相应的凸轮401配合的两个随动器402，两个悬臂102与相应的随动器402相连。在一个具体的实施例中，驱动机构400还可以包括电机403，以驱动两个凸轮401。这样，随动器402可将凸轮401的转动转化为上下往复运动，并因此带动两个悬臂102和清洗篮200上下往复运动，进而实现对硅片的清洗。在一个具体的实施例中，随动器402可以包括板体409，以及在板体409的一端构造有与凸轮401配合的顶凸408。悬臂102连接在板体409上。在一个实施例中，两个凸轮4本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗机，其特征在于，包括：/n机架，所述机架包括相对间隔设置的两个悬臂，/n清洗篮，所述清洗篮两端分别设置在所述两个悬臂上，以及/n驱动机构，所述驱动机构包括两个凸轮和分别与相应的所述凸轮配合的两个随动器，所述两个悬臂与相应的随动器相连，以驱动所述两个悬臂运动同步上下往复运动，并带动所述清洗篮上下往复运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗机，其特征在于，包括：
机架，所述机架包括相对间隔设置的两个悬臂，
清洗篮，所述清洗篮两端分别设置在所述两个悬臂上，以及
驱动机构，所述驱动机构包括两个凸轮和分别与相应的所述凸轮配合的两个随动器，所述两个悬臂与相应的随动器相连，以驱动所述两个悬臂运动同步上下往复运动，并带动所述清洗篮上下往复运动。


2.根据权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，所述驱动机构还包括两个竖直设置的轨道，所述两个随动器分别与相应的所述轨道相配合。


3.根据权利要求2所述的硅片清洗机，其特征在于，所述两个随动器上均设置有卡槽状滑块，所述滑块滑动式卡接在所述轨道上。


4.根据权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，所述两个凸轮的轴线沿水平方向延伸。


5.根据权利要求4所述的硅片清洗机，其特征在于，所述两个凸轮间隔地安装在同一个水平的驱动轴上。


6.根据权利要求5所述的硅片清洗机，其特征在于，所述驱动机构还包括将所述凸轮与所述驱动轴固定相连的抱紧机构，
其中，所述抱紧机构包括第一抱紧环和第二抱紧环，所述第一抱紧环固定在所述凸轮上，所述第二抱紧环与所述第一抱紧环可拆装式连接，
在所述第二抱紧环与所述第一抱紧环相连时，所述第一抱紧环和第二抱紧抱紧所述驱动轴，以将所述凸轮与所述驱动轴固定连接，
所述抱紧机构包括延伸穿过所述第一抱紧环、凸轮和驱动轴的传动键。


7.根据权利要求1到6中任一项所述的硅片清洗机，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡睿凡，王笑非，王锐廷，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11