一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用技术

本发明专利技术公开了一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用。所述用于控制液滴形状的薄膜的制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底上沉积钛金属层；采用激光直写技术在所述钛金属层上刻写图案，得到图案化的钛金属层；对所述图案化的钛金属层进行湿法刻蚀，得到具有悬切结构的薄膜。本发明专利技术所制备的用于控制液滴形状的薄膜上形成有带有尖锐边缘的悬切结构，对液体具有强钉扎效应，从而提高微液滴形状稳健性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用
本专利技术涉及微纳加工
，尤其涉及一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用。
技术介绍
通常所见的液滴的形状一般是肉眼可见的毫米级，接近球形，并且液滴越小，形状就越接近球形。因为液体表面层具有表面张力，在表面张力的作用下，液面有收缩的趋势，在体积相同的各种形状的物体中，球形物体的表面积最小，所以液滴呈球形。因而要控制液滴的形状，尤其是微型液滴的形状，得到其他形状如三角形、正方形等的液滴，就比较困难。随着微流控技术的发展，微液滴形状操控技术在基于液滴的印刷技术、蛋白质或DNA检测、制造LED显示器等方面有非常广泛的应用前景。目前，大多采用加工制备亲疏水复合图案，从而实现控制液滴的形状。然而，现有技术中二维的亲疏水复合图案在针对液滴的形状控制方面，存在边界处液体容易溢出、边界溢出性控制不好等关键技术瓶颈。在液滴微流控制、生物医学中的液滴形状控制等应用中，边界处的液体崩塌和溢出将是最具破坏性的，因此抑制液体在非目标方向扩散，防止边界溢出是目前液滴形状控制领域的关键问题。因此，现有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于控制液滴形状的薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/n提供衬底；/n在所述衬底上沉积钛金属层；/n采用激光直写技术在所述钛金属层上刻写图案，得到图案化的钛金属层；对所述图案化的钛金属层进行湿法刻蚀，得到具有悬切结构的薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于控制液滴形状的薄膜的制备方法，其特征在于，包括：
提供衬底；
在所述衬底上沉积钛金属层；
采用激光直写技术在所述钛金属层上刻写图案，得到图案化的钛金属层；对所述图案化的钛金属层进行湿法刻蚀，得到具有悬切结构的薄膜。


2.根据权利要求1所述的用于控制液滴形状的薄膜的制备方法，其特征在于，所述衬底为玻璃片。


3.根据权利要求1所述的用于控制液滴形状的薄膜的制备方法，其特征在于，所述沉积钛金属层的沉积工艺包括磁控溅射法，离子溅射法、电子束蒸发法、热蒸镀法、激光脉冲法中的一种。


4.根据权利要求1所述的用于控制液滴形状的薄膜的制备方法，其特征在于，所述钛金属层的厚度为20-200nm。


5.根据权利要求1所述的用于控制液滴形状的薄膜的制备方法，其特征在于，所述图案包括圆形、椭圆形、梯形、五边...

【专利技术属性】
技术研发人员：王萌，王宁，仇明侠，杨焕，何铁锋，张良静，项炳锡，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：发明
国别省市：广东;44