X光光栅制造技术

本申请提供一种X光光栅，包括第一X光光栅组件和与之上下扣合的第二X光光栅组件，该第一X光光栅组件包括多个依次交替排列的第一透光基底切片和第一沉积结构切片，该第二X光光栅组件包括多个依次交替排列的第二透光基底切片和第二沉积结构切片；在该第一沉积结构切片与该第二沉积结构切片的相接处，该第一沉积结构切片的透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的不透光薄膜切片相接，和/或该第一沉积结构切片的不透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的透光薄膜切片相接。通过控制该透光薄膜与不透光薄膜的厚度，以及该透光基底与该沉积结构的厚度，可以形成大尺寸、高精度的X光光栅。

【技术实现步骤摘要】
X光光栅
本技术涉及一种光学元件
，尤其涉及一种能根据需要调整X光光栅周期和狭缝宽度的X光光栅。
技术介绍
X光光栅作为优良的色散元件，主要用于X光平板透视的图像增强。现有技术中，X光光栅的制作方法主要包括全息光刻法和机械刻划法。采用全息光刻法制作光栅的大致流程是：涂胶-曝光-显影-刻蚀。该方法制作工艺复杂，智能制作出低密度的光栅。然而，X光光栅对光栅周期和狭缝宽度的精度要求较高，光刻法难以满足X射线成像的高密度、大尺寸等要求。对于机械刻划法，现有技术中一般采用钨板或金板等贵金属制作，需要复杂的精密机械控制系统，制作难度大、成本高。即使如此，当光栅狭缝要求精细到微米级，光栅厚度到毫米级时，就需要在毫米级的钨板或金板上制作微米级的狭缝，并且光栅面积要求达到几十厘米乘以几十厘米的尺寸。对于如此的大尺寸、高精度要求，现有的机械刻划法无法实现，现有技术中尚未出现满足上述要求的加工手段。综上所述，现有技术中的X光光栅制作方法存在成本高、效率低、制作周期长的问题，并且难以满足高精度、大尺寸X光光栅的制作要求。
技术实现思路
有鉴于此，提供一种能够满足大尺寸、高精度的要求的X光光栅，是目前亟待解决的技术问题。针对上述问题，本技术提供了一种X光光栅，包括第一X光光栅组件和与之上下扣合的第二X光光栅组件；该第一X光光栅组件包括多个依次交替排列的第一透光基底切片和第一沉积结构切片，该第二X光光栅组件包括多个依次交替排列的第二透光基底切片和第二沉积结构切片；该第一沉积结构切片与该第二透光基底切片上下相对并且宽度相等；该第二沉积结构切片与该第一透光基底切片上下相对并且宽度相等；该第一沉积结构切片由依次交替的透光薄膜切片和不透光薄膜切片构成，该第二沉积结构切片由依次交替的透光薄膜切片和不透光薄膜切片构成；各个该透光薄膜切片的宽度相同，各个该不透光薄膜切片的宽度相同；在该第一沉积结构切片与该第二沉积结构切片的相接处，该第一沉积结构切片的透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的不透光薄膜切片相接，和/或该第一沉积结构切片的不透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的透光薄膜切片相接。根据本技术的一个实施方式，该第一沉积结构切片的宽度为该第二沉积结构切片的宽度的整数倍或小数倍。进一步地，根据本技术的一个实施方式，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的宽度相同；该第一沉积结构切片内，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的层数相同；该第二沉积结构切片内，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的层数相同。根据本技术的另一个实施方式，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的宽度相同，该第一沉积结构切片内，该透光薄膜切片的层数比该不透光薄膜切片的层数多一层；该第二沉积结构切片内，该不透光薄膜切片的层数比该透光薄膜切片的层数多一层。根据本技术的另一个实施方式，该透光薄膜切片的宽度为该不透光薄膜切片的宽度的整数倍或小数倍，该第一沉积结构切片内，该透光薄膜切片的层数比该不透光薄膜切片的层数多一层；该第二沉积结构切片内，该不透光薄膜切片的层数比该透光薄膜切片的层数多一层。根据本技术的再一个实施方式，该透光薄膜切片的宽度为该不透光薄膜切片的宽度的整数倍或小数倍，在该第一沉积结构切片内，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的层数相同；该第二沉积结构切片内，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的层数相同。根据本技术的再一个实施方式，该透光薄膜切片的宽度为该不透光薄膜切片的宽度的整数倍或小数倍，该第一沉积结构切片内，该透光薄膜切片的层数比该不透光薄膜切片的层数多一层；该第二沉积结构切片内，该不透光薄膜切片的层数比该透光薄膜切片的层数多一层。进一步地，该第一X光光栅组件包括第一底座及第一弹片，该第一底座包括第一置物槽，该第一弹片设置在该第一置物槽的一端，位于该X光光栅的一侧；该第一置物槽内设置第一狭缝，该第一狭缝从该第一弹片附近延伸至该第一置物槽的另一端；该多个第一透光基底切片与该多个第一沉积结构切片依次交替排列在该第一置物槽内，其中一个该第一透光基底切片与该第一弹片抵靠；该第二X光光栅组件包括第二底座及第二弹片，该第二底座包括第二置物槽，该第二弹片设置在该第二置物槽的一端，位于该X光光栅的另一侧，与该第一弹片相对；该第二置物槽内设置第二狭缝，该第二狭缝从该第二弹片附近延伸至该第二置物槽的另一端；该多个第二透光基底切片与该多个第二沉积结构切片依次交替排列在该第二置物槽内，其中一个第二透光基底切片与该第二弹片抵靠。进一步地，根据本技术的一个实施方式，该第一置物槽的深度与该第一透光基底切片及该第一沉积结构切片的宽度相同；和/或该第二置物槽的深度与该第二透光基底切片及该第二沉积结构切片的宽度相同。根据本技术的一个实施方式，该第一底座的宽度与该第二底座的宽度相同，该第一底座还包括分列于该第一置物槽两侧的凸棱，该第二底座还包括分列于该第二置物槽两侧的凹槽，该凸棱的宽度与该凹槽的宽度相同、深度相同。在本申请中，该第一透光基底切片和该第二透光基底切片的材质为类金刚石或石墨，该透光薄膜切片的材质为类金刚石，该不透光薄膜切片的材质为钨。在本技术中，由于第一坯料及第二坯料中的透光薄膜与不透光薄膜的层数可以根据需要进行调节，并且该第一坯料所形成的第一细料、第二坯料形成的第二细料，在平铺排列时，排列的片数也可以根据需要调节，而该透光薄膜和不透光薄膜的层数、第一细料和第二细料的片数可以决定需要形成的X光光栅的长度。另外，根据需要调节该透光薄膜和不透光薄膜的厚度，又可以调整光栅周期及光栅常数。由此，通过本申请，可以通过切割、排列、粘结的方式，制得大尺寸、高精度的X光光栅。本方法简单易操作，成本低，效率高。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1为本申请所用的第一底座的结构示意图。图2为本申请所用的第二底座的结构示意图。图3为本申请所用的夹具的结构示意图。图4为图1所示的夹具的使用状态示意图。图5为本申请的组合治具的结构示意图。图6为本申请第一实施例的第一坯料的结构示意图。图7为图6中A区域的结构放大示意图。图8为将图6的第一坯料进行切割的示意图。图9为第一细料排列在第一置物槽内的示意图。图10为在螺丝过孔上方设置弹片的示意图。图11为对本申请第一实施例的第一狭缝灌胶的示意图。图12为本申请第一实施例的第一X光光栅组件的结构示意图。图13为第二坯料的结构示意图。图14为图13中B区域的结构放大示意图。图15为将图13的第二坯料进行切割的示意图。图16为第二细料排列在第二置物槽内的示意图。图17为在该螺丝过孔上方设置弹片的示意图。图18为本申请第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X光光栅，其特征在于，包括第一X光光栅组件和与之上下扣合的第二X光光栅组件，/n该第一X光光栅组件包括多个依次交替排列的第一透光基底切片和第一沉积结构切片，该第二X光光栅组件包括多个依次交替排列的第二透光基底切片和第二沉积结构切片；该第一沉积结构切片与该第二透光基底切片上下相对并且宽度相等；该第二沉积结构切片与该第一透光基底切片上下相对并且宽度相等；/n该第一沉积结构切片由依次交替的透光薄膜切片和不透光薄膜切片构成，该第二沉积结构切片由依次交替的透光薄膜切片和不透光薄膜切片构成；各个该透光薄膜切片的宽度相同，各个该不透光薄膜切片的宽度相同；/n在该第一沉积结构切片与该第二沉积结构切片的相接处，该第一沉积结构切片的透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的不透光薄膜切片相接，和/或该第一沉积结构切片的不透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的透光薄膜切片相接。/n

【技术特征摘要】
1.一种X光光栅，其特征在于，包括第一X光光栅组件和与之上下扣合的第二X光光栅组件，
该第一X光光栅组件包括多个依次交替排列的第一透光基底切片和第一沉积结构切片，该第二X光光栅组件包括多个依次交替排列的第二透光基底切片和第二沉积结构切片；该第一沉积结构切片与该第二透光基底切片上下相对并且宽度相等；该第二沉积结构切片与该第一透光基底切片上下相对并且宽度相等；
该第一沉积结构切片由依次交替的透光薄膜切片和不透光薄膜切片构成，该第二沉积结构切片由依次交替的透光薄膜切片和不透光薄膜切片构成；各个该透光薄膜切片的宽度相同，各个该不透光薄膜切片的宽度相同；
在该第一沉积结构切片与该第二沉积结构切片的相接处，该第一沉积结构切片的透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的不透光薄膜切片相接，和/或该第一沉积结构切片的不透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的透光薄膜切片相接。


2.根据权利要求1所述的X光光栅，其特征在于：该第一沉积结构切片的宽度为该第二沉积结构切片的宽度的整数倍或小数倍。


3.根据权利要求2所述的X光光栅，其特征在于：该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的宽度相同；该第一沉积结构切片内，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的层数相同；该第二沉积结构切片内，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的层数相同。


4.根据权利要求2所述的X光光栅，其特征在于：该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的宽度相同，该第一沉积结构切片内，该透光薄膜切片的层数比该不透光薄膜切片的层数多一层；该第二沉积结构切片内，该不透光薄膜切片的层数比该透光薄膜切片的层数多一层。


5.根据权利要求2所述的X光光栅，其特征在于：该透光薄膜切片的宽度为该不透光薄膜切片的宽度的整数倍或小数倍，在该第一沉积结构切片内，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的层数相同；该第二沉积结构切片内，该透光薄膜切片与该不透光薄膜切片的层数相同。...

【专利技术属性】
技术研发人员：段晓东，张少邦，
申请(专利权)人：段晓东，张少邦，
类型：新型
国别省市：上海;31