显示设备、显示设备的制造方法、显示设备的制造装置制造方法及图纸

提供一种显示设备(2)，其以提高在背板中的间隔物的高度精度作为目的，该显示设备(2)包括包含第一电极(22)露出的多个开口(23c)的所述边缘罩(23)、包含第一平坦部、第二平坦部(21b)以及接触孔(21c)的平坦化膜(21)，所述显示设备的特征在于，所述多个开口(23c)的每一个，在俯视下与所述第一平坦部(21a)重叠，在俯视下所述多个开口(23c)之间具有所述第二平坦部(21b)，从所述平坦化膜(21)的基板侧的底面(21d)到在俯视下与所述第一平坦部(21a)重叠的所述边缘罩(23)的第二电极(25)侧的表面(21m)为止的高度(H1)低于从所述底面(21d)到所述第二平坦部(21b)的第二电极(25)侧的表面(21u)为止的高度(H2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示设备、显示设备的制造方法、显示设备的制造装置
本专利技术涉及一种包括发光元件的显示设备。
技术介绍
专利文献1公开了在背板中形成有间隔物的显示面板。间隔物被使用于控制下部基板和相对基板的高度，或作为感光间隔物使用，该感光间隔物使为了形成显示设备的各层而被使用的蒸镀用的掩膜与其抵接。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开公报“WO2014-24455号(2014年2月13日公开)”
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题为了通过一次的光刻法与在同一层中的其他结构一起形成显示设备的背板中的间隔物，有时采用使用包含半色调掩模或灰色调掩模等的多级灰度掩模的光刻法。然而，若为了形成间隔物而用使用了多级灰度掩模的成膜方法，则在光刻法中清洗之后的烘焙工序中，发生感光性材料的热流挂。此时，在发生热流挂的对象的感光性材料的体积大的情况下，或在感光性材料的开口与间隔物之间的距离近的情况下，有时间隔物的热流挂会相对较大地发生，并且间隔物的上表面的高度发生大的变化。由此，在使用多级灰度掩模的光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示设备，从基板侧起依次包括平坦化膜、第一电极、边缘罩、发光层以及第二电极，并且包括显示区域、形成该显示区域的多个像素、所述第一电极露出的所述边缘罩的多个开口，所述显示设备的特征在于，/n所述平坦化膜包括第一平坦部、第二平坦部以及接触孔，/n所述多个开口的每一个与所述第一平坦部重叠，/n在所述多个开口之间具有所述第二平坦部，/n从所述平坦化膜的基板侧的底面到与所述第一平坦部重叠的所述边缘罩的第二电极侧的表面为止的高度低于从所述底面到所述第二平坦部的第二电极侧的表面为止的高度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种显示设备，从基板侧起依次包括平坦化膜、第一电极、边缘罩、发光层以及第二电极，并且包括显示区域、形成该显示区域的多个像素、所述第一电极露出的所述边缘罩的多个开口，所述显示设备的特征在于，
所述平坦化膜包括第一平坦部、第二平坦部以及接触孔，
所述多个开口的每一个与所述第一平坦部重叠，
在所述多个开口之间具有所述第二平坦部，
从所述平坦化膜的基板侧的底面到与所述第一平坦部重叠的所述边缘罩的第二电极侧的表面为止的高度低于从所述底面到所述第二平坦部的第二电极侧的表面为止的高度。


2.根据权利要求1所述的显示设备，其特征在于，
在所述显示区域中，仅在包围所述第一电极的周端以及所述接触孔的框状的位置处包括所述边缘罩。


3.根据权利要求1或2所述的显示设备，其特征在于，
所述第二平坦部与所述边缘罩重叠，且从所述底面到与所述第一平坦部重叠的所述边缘罩的第二电极侧的表面为止的高度高于从所述底面到与所述第二平坦部重叠的所述边缘罩的第二电极侧的表面为止的高度。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的显示设备，其特征在于，
在所述平坦化膜的靠基板侧上包括金属配线层，
在所述接触孔中，所述第一电极与所述金属配线层相接。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的显示设备，其特征在于，
在所述第二电极的上层包括密封层，
所述密封层从所述第二电极侧起，包含第一无机密封膜、有机密封膜以及第二无机密封膜，
在边框区域中包括框状的第一堤，所述第一堤包含所述第一平坦部，且包围所述显示区域，
所述第一堤与所述有机密封膜的端部抵接。


6.根据权利要求5所述的显示设备，其特征在于，
在所述第一堤中的所述第一平坦部的上层的、跨越该第一平坦部的位置处包括框状的第一金属层。


7.根据权利要求6所述的显示设备，其特征在于，
在所述第一金属层的上层还包括框状的堤，所述堤包含与所述边缘罩相同的材料。


8.根据权利要求5至7中任一项所述的显示设备，其特征在于，
还包括框状的第二堤，所述第二堤包含所述第二平坦部且包围所述第一堤。


9.根据权利要求8所述的显示设备，其特征在于，
在所述第二堤中的所述第二平坦部的上层的、跨越该第二平坦部的位置处包括框状的第二金属层。


10.根据权利要求9所述的显示设备，其特征在于，
在所述第二金属层的上层还包括框状的堤，所述堤包含与所述边缘罩相同的材料。


11.根据权利要求1至10中任一项所述的显示设备，其特征在于，
相对于所述第二平坦部中的该第二平坦部的中心的外侧面与相对于所述接触孔中的该接触孔的中心的内侧面之间的距离比所述外侧面与相对于所述多个开口中最接近所述外侧面的开口中的该开口的中心的内侧面的距离长。


12.一种显示设备的制造方法，所述显示设备从基板侧起依次包括平坦化膜、第一电极、边缘罩、发光层以及第二电极，并且包括显示区域、形成该显示区域的多个像素、所述第一电极露出的所述边缘罩的多个开口，所述显示设备的制造方法的特征在于，包括：
平坦化膜形成工序，使用光刻法形成所述平坦化膜，所述光刻法由使用了多级灰度掩模的一次曝光来进行，
在所述平坦化膜形成工序中，形成与所述多个开...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈部达，斋田信介，谷山博己，市川伸治，郡司辽佑，仲田芳浩，井上彬，神村浩治，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP