具有集成载荷单元的化学药品存储设备制造技术

一种化学药品存储设备（１００）和监测化学药品使用的方法。该设备和所公开的方法采用化学药品存储罐（１０２）和集成至一个可运输单元的载荷单元（１０４）。该载荷单元（１０４）能够补偿在半导体产业中所使用的附加的分配设备增加的重量。另外，当将化学药品从化学药品存储设备（１００）抽出时，载荷单元（１０４）连续显示化学药品的重量（２２０）。被组合入载荷单元（１０４）本身的载荷单元（１０４）的控制逻辑包括这些功能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有集成栽荷单元的化学药品存储设备
技术介绍
多种化学药品可用作半导体工业中化学气相沉积的前体。 一般地，用 于在晶片上形成膜或层的前体为在室温下具有较低蒸汽压的液体(在室温下<500托)。当前，前体材料被存储在密封和密闭的钢(根据前体特征为 不锈钢、碳钢或者其它专用合金)罐中。可在化学气相沉积腔附近，这里 随着每个罐用完，所述罐被周期性替换，或者所述罐用于大体积再装系统 中，所述系统在使用罐的位置提供自动填充罐的源。至少有两个原因可以解释为什么监测存储罐中的化学药品水平是重要 的。第一个原因是保证在罐中有足够的前体以执行期望的化学气相沉积步 骤。第二个原因是能够在替代罐之前的过程中采用最大量的前体化学药品。 该第二点影响整体系统成本效率。 一旦断开罐，则废弃任何剩余的材料。 因此，如果在最大耗尽之前替换罐，则不仅废弃了材料，而且在处理附加 废品时产生附加成本。尝试了各种减少浪费的技术，包括采用浮控开关和液位传感器。但是 到目前为止在实际运行中还没有证明为完全满意的方法。当前所应用技术的主要缺点在于其不是普遍适用于所有的化学药品。 例如，如果前体化学药品的比重改变，则浮控开关不能如所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种与分配设备结合使用的化学药品存储设备，包括：　　　　罐；　　　　载荷单元，其与所述罐集成，所述载荷单元包括处理器和显示器；　　　　控制逻辑，其可在所述处理器上运行，其中所述控制逻辑使所述载荷单元：　　　　ａ）响应于用户输入测定所述罐的空皮重；　　　　ｂ）在所述显示器上显示添加至所述罐的至少一种化学药品的重量；　　　　ｃ）在所述分配设备连至所述罐后校准所述载荷单元，从而在所述显示器上仅仅示出所述至少一种化学药品的所述重量；以及　　　　ｄ）在消耗所述至少一种化学药品时，连续显示所述至少一种化学药品的重量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：A米斯拉，BJ朱尔奇克，R拉克斯曼，
申请(专利权)人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]