一种防震晶圆研磨机机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防震晶圆研磨机机构，包括支撑台、转动盘、固定块、操作板、支撑架、电动推杆、圆盘、弹性支撑脚、矩形槽、导杆、L型杆、弹簧一、磁块、方杆、方孔、卡块、矩形槽一、保护壳一、保护壳二、T型杆、弹簧二、凹槽、斜块一以及斜块二。本实用新型专利技术拉块移动带动L型杆移动，使得两个磁块相互分离，在弹簧一弹力的作用下，L型杆移动与限位槽一内壁贴合，同时向内推动保护壳一以及保护壳二，使得斜块一进入凹槽内部，斜块一对斜块二进行挤压，斜块一受到挤压移动，斜块一移动带动T型杆移动，T型杆移动对弹簧二进行拉伸，当斜块二与斜块一上的限位槽二对齐时，在弹簧二弹力的作用下，T型杆移动带动斜块一进入限位槽二内部。

【技术实现步骤摘要】
一种防震晶圆研磨机机构
本技术涉及一种晶圆研磨机，具体是一种防震晶圆研磨机机构，属于研磨机

技术介绍
研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床，主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面，研磨机的主要类型有圆盘式研磨机、转轴式研磨机和各种专用研磨机。目前使用的晶圆研磨机存在一定缺陷，缺少支撑架便捷连接机构，造成不方便对支撑架进行拆装，进而不方便对转动盘以及圆盘进行维护，同时缺少保护机构，造成操作板暴露在空气中，容易造成操作板的损坏。因此，针对上述问题提出一种防震晶圆研磨机机构。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种防震晶圆研磨机机构。本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种防震晶圆研磨机机构，包括支撑台、转动盘、固定块、操作板、支撑架、电动推杆、圆盘、弹性支撑脚、连接装置以及保护装置，所述支撑台顶端中间位置安装转动盘，所述支撑台底端均匀安装四个弹性支撑脚，所述支撑台顶端安装支撑架，所述支撑架顶端中间位置安装电动推杆，且电动推杆一端穿过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防震晶圆研磨机机构，其特征在于：包括支撑台(1)、转动盘(2)、固定块(3)、操作板(4)、支撑架(5)、电动推杆(6)、圆盘(7)、弹性支撑脚(8)、连接装置以及保护装置，所述支撑台(1)顶端中间位置安装转动盘(2)，所述支撑台(1)底端均匀安装四个弹性支撑脚(8)，所述支撑台(1)顶端安装支撑架(5)，所述支撑架(5)顶端中间位置安装电动推杆(6)，且电动推杆(6)一端穿过支撑架(5)，所述电动推杆(6)底端固定安装圆盘(7)，所述圆盘(7)安装在转动盘(2)上侧，所述支撑台(1)前端固定安装固定块(3)，且固定块(3)顶端固定安装操作板(4)；/n所述连接装置包括矩形槽(9)、导...

【技术特征摘要】
1.一种防震晶圆研磨机机构，其特征在于：包括支撑台(1)、转动盘(2)、固定块(3)、操作板(4)、支撑架(5)、电动推杆(6)、圆盘(7)、弹性支撑脚(8)、连接装置以及保护装置，所述支撑台(1)顶端中间位置安装转动盘(2)，所述支撑台(1)底端均匀安装四个弹性支撑脚(8)，所述支撑台(1)顶端安装支撑架(5)，所述支撑架(5)顶端中间位置安装电动推杆(6)，且电动推杆(6)一端穿过支撑架(5)，所述电动推杆(6)底端固定安装圆盘(7)，所述圆盘(7)安装在转动盘(2)上侧，所述支撑台(1)前端固定安装固定块(3)，且固定块(3)顶端固定安装操作板(4)；
所述连接装置包括矩形槽(9)、导杆(10)、L型杆(11)、弹簧一(12)以及磁块(13)，所述支撑台(1)顶端对称开设两个矩形槽(9)，所述矩形槽(9)内部固定安装导杆(10)，所述导杆(10)环形侧面上对称安装两个L型杆(11)，所述导杆(10)环形侧面上对称安装两个导杆(10)，且导杆(10)两端分别固定安装在L型杆(11)上以及矩形槽(9)内部，所述L型杆(11)一端固定安装磁块(13)；
所述保护装置包括保护壳一(18)、保护壳二(19)、T型杆(20)、弹簧二(21)、凹槽(22)、斜块一(23)以及斜块二(24)，所述固定块(3)顶端对称安装保护壳一(18)以及保护壳二(19)，所述保护壳二(19)左端中间位置固定安装斜块一(23)，所述保护壳一(18)右端中间位置开设凹槽(22)，所述保护壳一(18)顶端安装T型杆(20)，且T型杆(20)底端延伸至凹槽(22)内部，所述T型杆(20)底端固定安装斜块二(24)，所述T型杆(20)环形侧面上安装弹簧二(21)，且弹簧二(21)两端分别固定安装在T型杆(20)上以及保护壳一(18)上。...

【专利技术属性】
技术研发人员：马研，
申请(专利权)人：长杰斯苏州自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32