多孔基质过滤器及其制作方法技术

本申请描述了一种多孔基质过滤器及其制作方法。在各种应用中，衬底包含金属表面，所述金属表面易于在其上形成此金属的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金属表面经配置以在使用中与气体、固体或液体接触，所述气体、固体或液体与所述金属表面进行反应以形成对所述衬底制品、结构、材料或设备有害的反应产物。所述金属表面涂覆有保护涂层，所述保护涂层防止所述经涂覆表面与所述反应性气体进行反应及/或以其它方式改进所述衬底制品或设备的电性质、化学性质、热性质或结构性质。描述涂覆所述金属表面及用于选择所利用的涂层材料的各种方法。

【技术实现步骤摘要】
多孔基质过滤器及其制作方法分案申请的相关信息本申请是申请日为2016年2月13日、申请号为“201680018518.5”、专利技术名称为“用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层”的专利技术专利申请的分案申请。相关申请案交叉参考此申请案根据35U.S.C.§119的条款主张以下美国临时专利申请案的权益：2015年2月13日以卡洛·沃德弗列德(CarloWaldfried)等人的名义且以“薄膜原子层沉积涂层(THINFILMATOMICLAYERDEPOSITIONCOATINGS)”提出申请的美国临时专利申请案第62/116,181号；2015年5月28日以布莱恩C.亨德里克斯(BryanC.Hendrix)等人的名义且以“用以防止由AL2CL6蒸汽输送痕量金属的涂层(COATINGSTOPREVENTTRANSPORTOFTRACEMETALSBYAL2CL6VAPOR)”提出申请的美国临时专利申请案第62/167,890号；2015年7月2日以布莱恩C.亨德里克斯等人的名义且以“用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层(COATINGSFORENH本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多孔基质过滤器，其包括金属薄膜，其中所述金属薄膜使用具有从20μm到2000μm的范围的渗透深度的金属氧化物涂层来囊封。/n

【技术特征摘要】
20150213 US 62/116,181;20150528 US 62/167,890;20151.一种多孔基质过滤器，其包括金属薄膜，其中所述金属薄膜使用具有从20μm到2000μm的范围的渗透深度的金属氧化物涂层来囊封。


2.根据权利要求1所述的多孔基质过滤器，其中所述金属薄膜由不锈钢、镍或钛形成。


3.根据权利要求1所述多孔基质过滤器，其中所述金属薄膜为不锈钢纤维、粒子、或二者组合的烧结基质。


4.根据权利要求1所述多孔基质过滤器，其中所述金属氧化物涂层包括选自由以下各项组成的群组的金属氧化物：二氧化钛；氧化铝；氧化锆；式MO的氧化物，其中M为Ca、Mg或Be；式M'O2的氧化物，其中M'为化学计量上可接受的金属；及式Ln2O3的氧化物，其中Ln为镧系元素La、Sc或Y。


5.根据权利要求1所述多孔基质过滤器，其中所述金属氧化物涂层为氧化铝涂层。

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【专利技术属性】
技术研发人员：B·C·亨德里克斯，D·W·彼得斯，李卫民，C·瓦尔德弗里德，R·A·库克，N·困达，林奕宽，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US