【技术实现步骤摘要】
机械手控制方法
本专利技术涉及机械手
,更具体地,涉及一种机械手控制方法。
技术介绍
随着工业自动化的发展,机械手在工业中得到了广泛的应用。机械手具有安全性高、能够提高效率和质量以及降低产品不良率的优点。例如半导体清洗设备分为单片与槽式清洗设备,每种设备都具有机械手实现晶圆传输,由于晶圆尺寸、形状以及工艺腔室、槽结构不同,使不同种类设备采用的机械手类型各不相同。不同种类的机械手所采用的通信接口、通信方式以及通信协议也各不相同,导致每种机械手控制方式改变,使机械手控制方法改变,从而无法保证设备机械手正确控制。在设备硬件安装完成之前,机械手无法在设备完成实际动作测试,从而导致测试可靠性降低,并在客户现场频繁出现机械手传输故障。因此需要提出一种机械手控制方法,能够满足多种不同类型机械手的测试,并提高机械手的控制正确性和可靠性。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种机械手控制方法,实现满足多种不同类型机械手的测试,并提高机械手的控制正确性和可靠性。为实现上述目的,本专利技术提出了一种机械手控制方法,所述机械手包括实体机械手和/或虚拟机械手,所述方法包括:接收用户输入的针对所述实体机械手的实际操作指令;识别所述实际操作指令中的指令类别、机械手的品牌和型号并形成所述实际操作指令的唯一指令标识,其中所述唯一指令标识至少包括所述机械手的品牌名称、型号以及所述指令类别所对应的指令名称;将所述唯一指令标识与预设的规则匹配并形成虚拟指令,所述虚拟指令可被所述实体机械手或 ...
【技术保护点】
1.一种机械手控制方法,所述机械手包括实体机械手和/或虚拟机械手,其特征在于,所述方法包括:/n接收用户输入的针对所述实体机械手的实际操作指令;/n识别所述实际操作指令中的指令类别、机械手的品牌和型号并形成所述实际操作指令的唯一指令标识,其中所述唯一指令标识至少包括所述机械手的品牌名称、型号以及所述指令类别所对应的指令名称;/n将所述唯一指令标识与预设的规则匹配并形成虚拟指令,所述虚拟指令可被所述实体机械手或者所述虚拟机械手识别并执行;/n执行所述虚拟指令;/n判断所述虚拟指令是否被所述实体机械手正确执行;/n若判断结果为是,则直接输出所述实体机械手的当前状态与位置信息;/n若判断结果为否,则将所述虚拟指令按照预设的格式形成统一指令命令,发送至所述虚拟机械手并执行;/n基于所述统一指令命令形成反馈标志,并根据所述反馈标志形成所述虚拟机械手的执行状态与位置信息,发送至人机界面。/n
【技术特征摘要】
1.一种机械手控制方法,所述机械手包括实体机械手和/或虚拟机械手,其特征在于,所述方法包括:
接收用户输入的针对所述实体机械手的实际操作指令;
识别所述实际操作指令中的指令类别、机械手的品牌和型号并形成所述实际操作指令的唯一指令标识,其中所述唯一指令标识至少包括所述机械手的品牌名称、型号以及所述指令类别所对应的指令名称;
将所述唯一指令标识与预设的规则匹配并形成虚拟指令,所述虚拟指令可被所述实体机械手或者所述虚拟机械手识别并执行;
执行所述虚拟指令;
判断所述虚拟指令是否被所述实体机械手正确执行;
若判断结果为是,则直接输出所述实体机械手的当前状态与位置信息;
若判断结果为否,则将所述虚拟指令按照预设的格式形成统一指令命令,发送至所述虚拟机械手并执行;
基于所述统一指令命令形成反馈标志,并根据所述反馈标志形成所述虚拟机械手的执行状态与位置信息,发送至人机界面。
2.根据权利要求1所述的机械手控制方法,其特征在于,所述指令类别包括原子指令和复合指令,其中,
所述原子指令包括初始化指令、搜索原点指令、水平移动指令、垂直移动指令、抓取指令、放置指令、回原点指令、翻转指令、以及图形化指令;
所述复合指令类包括机械手从初始位置移动到目位置指令和机械手从初始位置抓取元件并放到目的位置指令。
3.根据权利要求2所述的机械手控制方法,其特征在于,形成所述实际操作指令的唯一指令标识包括:
将所述机械手的品牌、型号、原子指令或复合指令与相应预设的命名空间对应,形成所述唯一的指令标识。
4.根据权利要求3所述的机械手控制方法,其特征在于,将所述唯一指令标识与预设的规则匹配并形成虚拟指令包括:
将所述唯一指令标识与预先设置的配置文件匹配并形成虚拟指令,其中,所述配置文件包含多个品牌、型号机械手的硬件通信方式和通信协议;所述虚拟指令的格式与通信方式与通信协议中的命令格式相对应。
5.根据权利要求4所述的机械手控制方法,...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭训容,王晓燕,
申请(专利权)人:北京北方华创微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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