基板承载台及基板处理方法技术

本发明专利技术公开了一种基板承载台及基板处理方法，包括基板台和至少三个吸附装置，所述基板台设置有至少三个通孔，所述吸附装置包括：框架，所述框架的顶部设置有开口；支撑顶针，所述支撑顶针的内部设置有中空管路，所述支撑顶针至少一部分穿过所述开口和所述通孔；吸附盘，所述吸附盘设置于所述支撑柱顶针的顶部；缓冲构件，所述缓冲构件设置在所述框架内，并与所述支撑顶针相连接；以及夹持构件，所述夹持构件设置在所述框架内，用于使得所述支撑顶针与所述框架固紧或松开。本发明专利技术提供的基板承载台及基板处理方法用于改善基板不能紧密贴合于基板台的问题。

【技术实现步骤摘要】
基板承载台及基板处理方法
本专利技术涉及显示器生产
，尤其涉及一种基板承载台及基板处理方法。
技术介绍
不论是制作液晶显示器面板，还是制作有机电致发光显示器面板，均需要在平整的基板上多次进行光制程及成膜制程。在显示面板、特别是柔性显示面板的生产过程中，受前制程中高温等因素的影响，基板上贴附的塑料膜与衬底玻璃的收缩率差异导致基板不可避免的出现不规则翘曲而变得不平整，如四周翘起或中间拱起等情况，并且随着基板尺寸的增大，翘曲的程度也不断加大。如图1所示，现有的基板承载台主要有基板台1a和升降顶针(Pin)1b构成。现有的基板承载台遇到不平整的基板时，由于基板上的翘起部分远离载台上的真空吸附孔位，无法建立真空吸附，导致基板不能紧密贴合于基板台。故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种基板承载台及基板处理方法，用于改善基板不能紧密贴合于基板台的问题。本专利技术提供一种基板承载台，包括基板台和至少三个吸附装置，所述基板台设置有至少三个通孔，所述吸附装置包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板承载台，其特征在于，包括基板台和至少三个吸附装置，所述基板台设置有至少三个通孔，所述吸附装置包括:/n框架，所述框架的顶部设置有开口；/n支撑顶针，所述支撑顶针的内部设置有中空管路，所述支撑顶针至少一部分穿过所述开口和所述通孔；/n吸附盘，所述吸附盘设置于所述支撑柱顶针的顶部；/n缓冲构件，所述缓冲构件设置在所述框架内，并与所述支撑顶针相连接；以及/n夹持构件，所述夹持构件设置在所述框架内，用于使得所述支撑顶针与所述框架固紧或松开。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板承载台，其特征在于，包括基板台和至少三个吸附装置，所述基板台设置有至少三个通孔，所述吸附装置包括:
框架，所述框架的顶部设置有开口；
支撑顶针，所述支撑顶针的内部设置有中空管路，所述支撑顶针至少一部分穿过所述开口和所述通孔；
吸附盘，所述吸附盘设置于所述支撑柱顶针的顶部；
缓冲构件，所述缓冲构件设置在所述框架内，并与所述支撑顶针相连接；以及
夹持构件，所述夹持构件设置在所述框架内，用于使得所述支撑顶针与所述框架固紧或松开。


2.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述基板承载台还包括：
真空抽吸装置，所述真空抽吸装置的抽吸管与所述支撑顶针的所述中空管路连通。


3.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述缓冲构件包括缠绕所述支撑顶针一部分的弹簧。


4.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述缓冲构件包括气缸，所述气缸设置于所述框架的底部，并与所述支撑顶针的一部分相连。


5.根据权利要求1所述的基板承载台，其特征在于，所述吸附盘内设有多个连通部，所述连通部与所述中空管路连通。


6.根据权利要求1至5任一项所述的基板承载台，其特征在于，所述基板承载台还包括控制装置，所述控制装置与所述夹持构件连接，所述控制装置用于控制所述夹持构件将所述支撑顶针与所述框架固紧或松开。


7.一种基板处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤A：提供一基板承载台，其中，所述基板承载台包括基板台和至少三个吸附装置，所述基板台设置有至少三个通孔，所述吸附装置包括框架、支撑顶针、吸附盘、缓冲构件和夹持构件，其中，所述框架的顶部设置有开口，所述支撑顶针的内部设置有中空管路，所述支撑顶针至少一部分穿过所述开口和所述通孔，所述吸附盘设置于所述支撑柱顶针的顶部，所述缓冲构件设置在所述框架内，并与所述支撑顶针相连接，所述夹持构件设置在所述框架内，用于使得所述支撑顶针与所述框架固紧或松开；
步骤B：在第一吸附装置、第二吸附装置和第三吸附装置的所述支撑顶针与所述框架均处于松开状态时，将基板的第一边缘部、中部、第二边缘部分别与所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟小龙，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44