一种横式微型红外气体传感器制造技术

本申请提供一种横式微型红外气体传感器，包括：微型光学气室、红外光源、红外探测器、电源芯片和ASIC芯片和第一电路板；微型光学气室的光路为横式折叠反射结构，光路与第一电路板平行设置；微型光学气室包括光输入端和光输出端；红外光源与光输入端连接，红外探测器与光输出端连接；红外探测器及红外光源均与光路垂直设置；红外探测器及红外光源设于微型光学气室的同一侧；微型光学气室、红外光源和红外探测器集成于第一电路板的一面，电源芯片和ASIC芯片集成于第一电路板的另一面；红外探测器采用MEMS封装技术进行集成化封装。本申请提供的红外气体传感器采用系统级混合集成封装能够有效减小红外气体传感器的体积。

【技术实现步骤摘要】
一种横式微型红外气体传感器
本申请涉及气体传感器
，特别涉及一种横式微型红外气体传感器。
技术介绍
随着科技的进步和经济的发展，目前社会正逐步跨入物联网时代，感知节点布设越来越多，进而传感器的需求越来越大，红外气体传感器以其精度高、寿命长、选择性好、不中毒等优点受到了人们广泛的关注和研究，开发出了一系列的红外气体传感器。红外气体传感器是一种微型光谱分析器件，通过检测气体分子的特征光谱吸收强弱，实现对气体的浓度进行检测。它与其它类别气体传感器如电化学式、催化燃烧式、半导体式等相比具有应用广泛、使用寿命长、灵敏度高、稳定性好、受环境干扰因素较小、不中毒、不依赖于氧气、适合气体多、性价比高、维护成本低、可在线分析等一系列优点。其广泛应用于石油化工、冶金工业、工矿开采、大气污染检测、农业、医疗卫生等领域。随着万物互联技术的发展，对传感器的需求趋于微型化和集成化，目前市场上的红外气体传感器体积相对较大，难以满足某些特定场合微型化气体传感器的需求。
技术实现思路
本申请要解决是红外气体传感器体积较大的技术问题。...

【技术保护点】
1.一种横式微型红外气体传感器，其特征在于，包括：微型光学气室(1)、红外光源(2)、红外探测器(3)、电源芯片(4)和ASIC芯片(5)和第一电路板(6)；/n所述微型光学气室(1)的光路为横式折叠反射结构，所述光路与所述第一电路板(6)平行设置；/n所述微型光学气室(1)包括光输入端和光输出端；所述红外光源(2)与所述光输入端连接，所述红外探测器(3)与所述光输出端连接；所述红外探测器(3)及所述红外光源(2)均与所述光路垂直设置；所述红外探测器(3)及所述红外光源(2)设于所述微型光学气室(1)的同一侧；/n所述微型光学气室(1)、所述红外光源(2)和所述红外探测器(3)集成于所述第一电...

【技术特征摘要】
1.一种横式微型红外气体传感器，其特征在于，包括：微型光学气室(1)、红外光源(2)、红外探测器(3)、电源芯片(4)和ASIC芯片(5)和第一电路板(6)；
所述微型光学气室(1)的光路为横式折叠反射结构，所述光路与所述第一电路板(6)平行设置；
所述微型光学气室(1)包括光输入端和光输出端；所述红外光源(2)与所述光输入端连接，所述红外探测器(3)与所述光输出端连接；所述红外探测器(3)及所述红外光源(2)均与所述光路垂直设置；所述红外探测器(3)及所述红外光源(2)设于所述微型光学气室(1)的同一侧；
所述微型光学气室(1)、所述红外光源(2)和所述红外探测器(3)集成于所述第一电路板(6)的一面，所述电源芯片(4)和所述ASIC芯片(5)集成于所述第一电路板(6)的另一面；
所述红外探测器(3)采用MEMS封装技术进行集成化封装。


2.根据权利要求1所述的横式微型红外气体传感器，其特征在于，
所述微型光学气室(1)包括第一光通道(11)、第二光通道(12)和第三光通道(13)，所述第二光通道(12)的一端与所述第一光通道(11)连通，所述第二光通道(12)的另一端与所述第三光通道(13)连通；
所述第一光通道(11)与所述第二光通道(12)的连接处设有第一光反射部(14)，所述第二光通道(12)与所述第三光通道(13)的连接处设有第二光反射部(15)；
光从所述光输入端进入后通过所述第一光通道(11)到达所述第一光反射部(14)，经所述第一光反射部(14)反射后通过所述第二光通道(12)到达所述第二光反射部(15)，经所述第二光反射部(15)反射后通过所述第三光通道(13)到达所述光输出端。


3.根据权利要求1所述的横式微型红外气体传感器，其特征在于，还包括第二电路板(7)和第三电路板(8)，所述第二电路...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铁，刘延祥，王翊，周宏，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31