流量测定装置制造方法及图纸

一种流量测定装置，设置有流路，所述流路包括：具有弯曲的壁面的一对第一、第二离心分离室（２５、２６）；第一导入流路（２７），其将第一副流路（２１ａ）与第一离心分离室（２５）的壁面的一端连通；中间流路（２９），其使所述第一离心分离室（２５）的壁面的另一端与所述第二离心分离室（２６）的壁面的一端连通；第二导入流路（２８），其使第二离心分离室（２６）的另一端与第二副流路（２２ａ）连通；第一分流流路（３５），其与所述第一离心分离室（２５）的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第一离心分离室（２５）连通；第二分流流路（３６），其与所述第二离心分离室（２６）的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第二离心分离室（２６）连通；检测空间部（２３ｂ），其将第一分流流路（３５）和第二分流流路（３６）相互连通，并且配置有检测元件，本流量测定装置能够可靠地将灰尘从流体中分离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及流量测定装置，涉及例如监视工厂的空气流量的产业设备、 睡眠时无呼吸症候群用治疗设备等的医疗设备等所使用的小型的流量测定装 置。
技术介绍
以往，流量测定装置是在流路中配置检测元件来测定空气流量的结构， 但如果长期使用，则空气中的灰尘会附着、堆积于检测元件上，而使测定精 度降低，成为故障的原因。为了消除所述那样的不良情况，有下述的灰尘收集装置(例如，参照专 利文献l)，其形成如下结构，通过在流路中设置收集壁，利用直线前进的灰 尘的惯性力，通过所述收集壁捕获并分离空气流中的灰尘，而仅将清洁的空气流导向^:测元件。专利文献1:(日本国)特开平11-166720号公报然而，由于所述灰尘收集装置仅仅利用灰尘的直线前进的惯性力将其分 离，所以如果空气的流速慢，则可分离灰尘的性能降低，难以可靠地捕获灰 尘。此外，即使在能够通过所述收集壁捕获灰尘的情况下，因长期的使用也 会使堆积的灰尘落到并混入检测元件侧的流路。特别是，在所述灰尘收集装 置中，存在如下问题，即，只能捕获从一个方向流入的空气流的灰尘，不能 应对从相反方向流入的空气流，从而无法4全测双向流入的流体的流量。
技术实现思路
本专利技术就是针对所述问题而提出的，本专利技术的目的在于提供一种流量测 定装置，其能够可靠地从流体中分离灰尘，并且即使长期使用，也能够防止 灰尘混入而造成的不良情况，尤其是能够应对从双向流入的流体。本专利技术提供一种流量测定装置，其结构如下，形成有流路，所述流路包 括具有弯曲的壁面的离心分离室；导入流路，其在所述壁面的一端从切线5方向将外部流路与所述离心分离室连通；排出流路，其在所述壁面的另一端 从切线方向与所述离心分离室连通；以及分流流路，其与所述壁面的弯曲方 向大致垂直地与所述离心分离室连通，在所述分流流路的下游侧配置检测元 件，由所述排出流路和所述分流流路将从所述外部流路经由导入流路而导入 到所述离心分离室中的流体分流，由所述^r测元件测定^v所述分流流^各取出 的流体流量。按照本专利技术，离心力作用于从导入流路流入离心分离室的灰尘，使灰尘 沿离心分离室的壁面流动，仅使清洁的流体从分流流路流向检测元件。由此, 灰尘不附着、堆积于所述检测元件，可防止检测元件的测定精度的降低及造 成故障的情况。此外，由于分离的灰尘与流体一起从离心分离室排出，故能 够获得即使长期使用灰尘的堆积少且维护容易、寿命长的流量测定装置。本专利技术提供另一种流量测定装置，其结构如下，由第一层基板和第二层 基板夹持流路形成板，在第一层基板和所述流路形成板之间形成有具有弯 曲的壁面的离心分离室；导入流路，其在所述壁面的一端从切线方向将外部 流路与所述离心分离室连通；以及排出流路，其在所述壁面的另一端从切线 方向与所述离心分离室连通，在所述流路形成板和第二层基板之间形成分流 流路，所述分流流路经由设于所述流路形成板的分流孔与所述离心分离室连 通，并且在下游侧配置检测元件，由所述排出流路和所述分流流路将从所述 外部流路经由导入流路导入到所述离心分离室的流体分流，由所述检测元件 测定从所述分流流路取出的流体流量。按照本专利技术，不但具有所述效果，通过第一层基板、流路形成板和第二 层基板的组合，可简单地形成复杂的三维流路，制造容易。作为本专利技术的实施方式，也可使导入流路相对于外部流路向逆流方向侧 倾斜地形成。按照本实施方式，由于导入流路向逆流方向侧倾斜，故能够利用流体的 喷射效果，使流体的流速增加，可提高灰尘的离心分离效果。本专利技术提供另一种流量测定装置，其结构如下，形成有流路，所述流路 包括分别具有弯曲的壁面的一对第一、第二离心分离室；第一导入流路， 其从切线方向将第一外部流路与所述第一离心分离室的壁面的一端连通；中 间流路，其在所述第 一离心分离室的壁面的另 一端从切线方向与所述第二离 心分离室的壁面的一端连通；第二导入流路，其在所述第二分离室的另一端从切线方向与第二外部流路连通；第一分流流路，其与所述第一离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第 一 离心分离室连通；第二分流流路， 其与所述第二离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第二离心分离 室连通；以及一企测空间部，其将所述第 一分流流路和所述第二分流流路相互 连通，并且配置有检测元件，由所述中间流路和所述第一分流流路将从所述 第 一外部流路经由所述第 一导入流路导入到所述第 一 离心分离室的流体分 流，由所述检测元件测定从所述第一分流流路取出的流体流量，由所述中间 流路和所述第二分流流路将从所述第二外部流路经由所述第二导入流路导入 到所述第二离心分离室的流体分流，由所述^^测元件测定从所述第二分流流 路取出的流体流量。按照本专利技术，离心力作用于从第一、第二导入流路分别流入第一、第二 离心分离室的灰尘，灰尘沿第一、第二离心分离室的壁面流动，仅使清洁的 流体从第一、第二分流流路流向一企测元件。由此，灰尘不附着、堆积于所述 检测元件，可防止检测元件的测定精度的降低及造成故障的情况。此外，由 于分离的灰尘与流体一起被排出到第一、第二外部流路，故获得即使在长期 使用的情况下，灰尘的堆积少、维护容易、寿命长的流量测定装置。特别是， 按照本专利技术，获得能够利用 一对离心分离室应对从双向流动的流体的用途广 泛的流量测定装置。本专利技术还提供一种流量测定装置，其结构如下，由第一层基板和第二层 基板夹持流路形成板，在第一层基板和流路形成板之间形成 一对的第一、 第二离心分离室，其分别具有弯曲的壁面；第一导入流路，其将第一外部流 路从切线方向与所述第一离心分离室的壁面的一端连通；中间流路，其与所 述第一离心分离室的壁面的另一端从切线方向连通并且与所述第二离心分离室的壁面的一端从切线方向连通；以及第二导入流路，其在所述第二离心分 离室的另 一端从切线方向与第二外部流路连通，在所述流路形成板和第二层 基板之间形成第一分流流路，其经由设置于所述流路形成板的第一、第二 分流孔与所述第一离心分离室的壁面的弯曲方向大致垂直地与所述第一离心 分离室连通；以及第二分流流路，其与所述第二离心分离室的壁面的弯曲方 向大致垂直地与所述第二离心分离室连通，并且形成有检测空间部，其将所 述第一分流流路和所述第二分流流路相互连通，并且配置有4全测元件，由所 述中间流路和所述第 一分流流路将从所述第 一外部流路经由所述第 一导入流路导入到所述第 一 离心分离室的流体分流，由所述检测元件测定从所述第一 分流流路取出的流体流量，由所述中间流路和所述第二分流流路将从所述第 二外部流路经由所述第二导入流路导入到所述第二离心分离室的流体分流， 由所述检测元件测定从所述第二分流流路取出的流体流量。按照本专利技术，不但具有所述效果，而且可利用第一层基板、流路形成板 和第二层基板的组合，简单地形成复杂的三维流路，制造容易。作为本专利技术的实施方式，也可这样形成，其中，使第一、第二导入流路 相对于第 一 、第二外部流路分别向逆流方向侧倾斜地形成。按照本实施方式，由于导入流路向逆流方向侧倾斜，故利用流体的喷射 效果，使流体的流速增加，可提高灰尘的离心分离效果。作为本专利技术的另一实施方式，也可这样形成，即，使中间流路弯曲成大致v形。按照本实施方式，由于一对第一、第二离心分离室中的排出侧的离心分 离室的流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量测定装置，其特征在于，形成有流路，所述流路包括：具有弯曲的壁面的离心分离室；导入流路，其在所述壁面的一端从切线方向将外部流路与所述离心分离室连通；排出流路，其在所述壁面的另一端从切线方向与所述离心分离室连通；以及分流流路，其与所述壁面的弯曲方向大致垂直地与所述离心分离室连通，在所述分流流路的下游侧配置检测元件，由所述排出流路和所述分流流路将从所述外部流路经由导入流路而导入到所述离心分离室中的流体分流，由所述检测元件测定从所述分流流路取出的流体流量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：上田直亚，野添悟史，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]