基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种液压系统功率测量装置，尤其是基于ＭＥＭＳ的Ｖ锥流量传感器的液压系统功率测量装置。该装置主要由流量传感器，压力传感器，信号处理单元三大部分组成。流量测量装置将ＭＥＭＳ敏感芯体置于Ｖ型锥体内部，取消了传统Ｖ锥流量计需要引压到管外的结构。压力传感器测量所在管路的压力信号。根据流量－压力－功率数学关系模型，实现对液压系统功率的测量。本发明专利技术实现了液压系统流量，压力以及功率的在线测量，为液压系统状态监测以及故障诊断提供了合适的解决方案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液压系统功率测量装置，尤其涉及基于MEMS的V锥流量传感器的液压系 统功率测量装置。
技术介绍
目前在管路中对流体进行测量的方法中，只能进行压力测量、温度测量和流量测量，流 量测量也只是应用容积式、孔板式、电磁式、涡轮式以及超声式原理的测量装置。现有的各 种测量仪器无法直接在线应用于功率测量，在线功率测量存在着无法克服的技术困难。针对 现有技术所存在的问题，研制一种液压系统在线功率测量的装置，以克服现存的问题是十分 必要的。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装置，即通 过液压系统管道内工作介质的流量测量、压力场测量进而实现液压系统管道内液压功率的测 量装置。本专利技术的技术方案是基于MEMS的V锥流量传感器的液压系统功率测量装寬，该装置由 法兰l、测量管2、支撑架3、 V型锥体组件6、负取压口7、正取压口 9压力传感器10、信 号采集处理设备11及流量传感器部分的MEMS敏感芯体4、封装结构5、信号线8、流量计 二次仪表12构成;、测量宵2两端设法兰1; V型锥体组件6通过支撑架3同轴固定在测量 管2内部；正取压本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于ＭＥＭＳ的Ｖ锥流量传感器的液压系统功率测量装置，其特征在于，该装置由法兰（１）、测量管（２）、支撑架（３）、Ｖ型锥体组件（６）、负取压口（７）、正取压口（９）压力传感器（１０）、信号采集处理设备（１１）及流量传感器部分的ＭＥＭＳ敏感芯体（４）、封装结构（５）、信号线（８）、流量计二次仪表（１２）构成；测量管（２）两端设法兰（１）；Ｖ型锥体组件（６）通过支撑架（３）同轴固定在测量管（２）内部；正取压口（９）与负取压口（７）均设在Ｖ型锥体组件（６）上，位于测量管（２）内部ＭＥＭＳ敏感芯体（４）被封装在封装结构（５）中，置于Ｖ型锥体组件（６）内部或嵌在Ｖ型锥体直管壁中或锥面壁中，并保持密封；ＭＥ...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海泉，张洪朋，顾长智，梅涛，曹淑华，孙玉清，
申请(专利权)人：大连海事大学，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]