【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于使刻度尺保持在载体上的方法以及具有载体和刻度尺的装置本专利技术涉及一种用于使刻度尺保持在载体上的方法。为了测量两个设备部件的相对位置在 一 个设备部件上固定刻度 尺并且在另一相互运动的设备部件上固定扫描单元。在测量位置时由 扫描单元扫描刻度尺的测量分度。为了高精度位置测量必需使刻度稳定且无偏移地固定在载体上。 在纳米和毫微米范围中的稳定性和偏移性要求特别短的力行程，它要 尽可能保持局限于接触面并且不包括刻度的整个厚度。例如通过压紧力(原子的范德瓦尔斯力)实现短的、尽可能局限于 接触面的力行程。在此最好使用由玻璃或玻璃陶瓷制成的刻度尺，它 具有可忽略的膨胀系数。这些刻度尺能够良好工作，因此在这里通常粘附在光学抛光的对应面上，如同在DE 101 53 147 Al中所描述的那 样。粘附是特别防漂移的刻度尺固定方法。在粘附时存在隐患，即刻 度尺会断开或者局部地松开。如果在边缘上产生交变负荷(例如由于加 速度或温度变化)并由此反复断开和激励这个边缘区，因此粘附的刻度 尺的外边缘可能是不稳定的。此外经粘附的刻度尺难以再与载体松开 并由此难以更换损坏的刻度尺。另 一 已知的...
【技术保护点】
一种用于使具有测量分度（１５）的刻度尺（１）保持在载体（２）上的方法，其特征在于，所述刻度尺（１）通过静电夹紧保持在载体（２）上。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：W霍尔扎佩尔，P斯帕克哈彻，
申请(专利权)人：约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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