可变分辨率光谱仪制造技术

本发明专利技术提供用于复原数字化光谱的系统、方法、设备及制品，且所述系统、方法、设备及制品可包括：光学系统，其经配置以变换射线，所述光学系统包含衍射光栅、转向镜、载台及经配置以根据移动机制移动所述载台、衍射光栅或转向镜中的一者以改变所述载台上的所述射线的入射的致动器；传感器阵列，其安置于所述载台上，所述传感器阵列经配置以在多个测量位置处接收从所述光学系统入射的所述射线以获得多个射线光谱；及处理器，其电连接到所述传感器阵列，所述处理器经配置以接收所述射线光谱、使所述射线光谱交错以产生交错光谱，且从所述交错光谱去卷积对应于所述光学系统的点散布函数以产生经复原数字化光谱。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可变分辨率光谱仪相关申请案的交叉参考本申请案主张在2018年1月6日申请的第62/614,397号美国临时申请案的优先权，所述申请案的全部揭示内容特此以引用的方式并入。
本专利技术大体上涉及半导体计量的改进。更特定来说，本专利技术大体上涉及薄膜、光栅结构及临界尺寸结构的测量的改进。
技术介绍
半导体制造业的演变对良率管理且特定来说对计量及检验系统寄予更高要求。临界尺寸继续缩小，然而产业需要减少实现高良率、高价值生产的时间。最小化从检测良率问题到将其修复的总时间决定半导体制造商的投资回报。制造半导体装置(例如逻辑及存储器装置)通常包含使用大量制造工艺处理半导体晶片以形成所述半导体装置的各种特征及多个层级。例如，光刻是涉及将图案从光罩转印到布置于半导体晶片上的光致抗蚀剂的半导体制造工艺。半导体制造工艺的额外实例包含(但不限于)化学机械抛光(CMP)、蚀刻、沉积及离子植入。多个半导体装置可以一布置制造于单个半导体晶片上且接着分成个别半导体装置。可在半导体制造期间使用计量以进行(例如)半导体晶片或光罩的各种测量。计量工具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可变分辨率光谱仪，其包括：/n光学系统，其经配置以变换射线，所述光学系统包含：/n衍射光栅，/n转向镜，/n载台，及/n致动器，其经配置以根据移动机制移动所述载台、衍射光栅或转向镜中的一者以改变所述载台上的所述射线的入射，所述移动机制具有起始位置及结束位置；传感器阵列，其安置于所述载台上，所述传感器阵列包含多个像素列，每一像素列具有至少一个像素，其中所述传感器阵列经配置以在多个测量位置处接收从所述光学系统入射的所述射线以获得多个射线光谱；及/n处理器，其电连接到所述传感器阵列，其中所述处理器经配置以：/n接收所述射线光谱，/n使所述射线光谱交错以产生交错光谱，及/n从所述交错光谱去卷积...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180106 US 62/614,397;20181219 US 16/226,5971.一种可变分辨率光谱仪，其包括：
光学系统，其经配置以变换射线，所述光学系统包含：
衍射光栅，
转向镜，
载台，及
致动器，其经配置以根据移动机制移动所述载台、衍射光栅或转向镜中的一者以改变所述载台上的所述射线的入射，所述移动机制具有起始位置及结束位置；传感器阵列，其安置于所述载台上，所述传感器阵列包含多个像素列，每一像素列具有至少一个像素，其中所述传感器阵列经配置以在多个测量位置处接收从所述光学系统入射的所述射线以获得多个射线光谱；及
处理器，其电连接到所述传感器阵列，其中所述处理器经配置以：
接收所述射线光谱，
使所述射线光谱交错以产生交错光谱，及
从所述交错光谱去卷积对应于所述光学系统的点散布函数以产生经复原数字化光谱。


2.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中所述致动器是压电致动器、伺服电动机或步进电动机。


3.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：
所述载台是通过所述致动器移动；且
所述移动机制是递增平移，其中：
所述载台是沿着从所述起始位置到所述结束位置的线性路径以一或多个增量可平移地移动，且
所述增量中的每一者具有分离达小于所述起始位置与所述结束位置之间的总线性距离的递增线性距离的起始点及结束点。


4.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：
所述载台是通过所述致动器移动；且
所述移动机制是连续平移，其中所述载台是沿着从所述起始位置到所述结束位置的线性路径基本上连续地可平移地移动。


5.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：
所述载台通过所述致动器移动；且
所述移动机制是递增旋转，其中：
所述载台沿着从所述起始位置到所述结束位置的弧形路径以一或多个增量可旋转地移动，且
所述增量中的每一者具有分离达小于所述起始位置与所述结束位置之间的总弧长的递增弧长的起始点及结束点。


6.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：
所述载台通过所述致动器移动；且
所述移动机制是连续旋转，其中所述载台是沿着从所述起始位置到所述结束位置的弧形路径基本上连续地可旋转地移动。


7.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中所述多个测量位置中的两个测量位置分离达小于像素宽度的距离。


8.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中所述传感器阵列是电荷耦合装置。


9.根据权利要求1所述的可变分辨率光谱仪，其中：
所述衍射光栅通过所述致动器移动；且
所述移动机制是递增平移，其中：
所述衍射光栅沿着从所述起始位置到所述结束位置的线性路径以一或多个增量可平移地移动，且
所述增量中的每一者具有分离达小于所述起始位置与所述结束位置之间的总线性距离的递增线性距离的起始点及结束点。


10.一种用于复原数字化光谱的方法，其包括：
提供经配置以变换射线的光学系统，所述光学系统包含：
衍射光栅，
转向镜，
致动器，及
载台；及
执行扫描操作，所述扫描操作包括：
使用所述致动器根据移动机制移动所述载台、衍射光栅或...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·尼尔，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US