【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可键合的玻璃和低自发荧光制品及其制造方法
本专利技术涉及玻璃制品、制造该玻璃制品的方法以及所述玻璃制品的用途。
技术介绍
US5,277,946A公开了与半导体一起使用的厚度≤0.7mm的玻璃制品。WO01/29890A2涉及阳极键合的方法，和相应产品用于制造生物线路(微流体)的使用。WO02/34684A1涉及在低温下玻璃与硅、或金属的阳极键合。该技术基于将磷酸盐玻璃用于玻璃晶片。玻璃还包含含量很高的碱金属氧化物，这削弱了玻璃的耐水解性。US2007/0111471A1公开了在降低的温度下避免翘曲的阳极键合技术。该技术包括对待键合的晶片的能量波表面活化，诸如原子束、离子束或等离子体。一般来讲，键合温度、电压、以及持续时间应尽可能低，而键合强度应是高的。同时，用于键合诸如晶片的制品的工艺步骤应尽可能简单。此外，对于生物应用而言，不显示自发荧光、或显示出非常低的自发荧光的玻璃制品是有用的。最后，用于制造制品的材料不应包含过分昂贵的成分，如氧化钽或氧化铌。另外，希望材料在酸性和碱性条件下具有良好的耐水解性。该材料应该是使用经济的标准工艺便可获得的。
技术实现思路
本专利技术提供了对上文提及的问题中的一个或多个的解决方案。在一个实施例中，本专利技术提供了一种玻璃制品，其具有在350nm和500nm的波长下超过90％的UV透射率，特别是当以厚度为0.5mm的该玻璃制品测量时，SiO2、B2O3和Al2O3的总量为至少75mol％，其中Si4+的摩尔比例xSi4+、B3+的摩尔比例x...
【技术保护点】
1.一种具有Li
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
【国外来华专利技术】1.一种具有Li+可活化键合特性的玻璃制品，所述玻璃制品具有
-在350nm和500nm的波长下超过90％的UV透射率，
-至少75mol％的SiO2、B2O3和Al2O3总量，其中Si4+的摩尔比例xSi4+、B3+的摩尔比例xB3+和Al3+的摩尔比例xAl3+的比例如下：
i.并且
ii.
-其中Li2O的比例小于0.01mol％，并且所述玻璃制品具有至少1.1MPa的与硅的锂可活化键合强度(LABS)。
2.根据权利要求1所述的玻璃制品，所述玻璃制品具有至少90mol％的SiO2、B2O3和Al2O3总量，其中Si4+的摩尔比例xSi4+、B3+的摩尔比例xB3+和Al3+的摩尔比例xAl3+的比例如下：
i.并且
ii.
3.根据权利要求1或2所述的玻璃制品，所述玻璃制品具有至少1.5MPa、至少2MPa、至少5MPa、至少10MPa、或至少20MPa的LABS。
4.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，所述玻璃制品具有最多至1.5mm、最多至1mm、最多至0.9mm、最多至0.8mm、最多至0.7mm、最多至0.6mm、最多至0.5mm、最多至0.4mm、最多至0.3mm、最多至0.2mm、最多至0.1mm、最多至90μm、最多至80μm、最多至70μm、最多至60μm、最多至50μm、最多至40μm、最多至30μm、或最多至20μm的厚度。
5.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，所述玻璃制品具有小于2nm、或小于1nm的Ra表面粗糙度。
6.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，所述玻璃制品具有至少一个、或至少两个火抛光的表面。
7.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，所述玻璃制品具有不超过10μm的TTV。
8.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，所述玻璃制品具有不超过50μm的翘曲。
9.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，所述玻璃制品具有1至10ppm/K、小于6.5ppm/K、小于6.0ppm/K、小于5.5ppm/K、小于5.0ppm/K、小于4.5ppm/K、小于4.0ppm/K、或2.5至3.5ppm/K的热膨胀系数(CTE，20℃至300℃)。
10.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的玻璃具有工作温度T4和上限结晶温度TOEG，其中差值T4-TOEG超过50K、超过100K、超过150K、超过200K、或超过250K。
11.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃的工作温度T4为1000℃至1500℃、或1100℃至1400℃、或1200℃至1375℃、或1225℃至1350℃。
12.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃的上限结晶温度TOEG为900℃至1300℃、950℃至1250℃、1000℃至1200℃、或1050℃至1150℃。
13.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃具有高于470℃、或高于490℃的转变温度Tg。
14.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃具有在厚度为0.5mm时超过91％和/或小于91.7％、或小于91.5％的光透射率TD65。
15.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃具有在厚度为1mm时低于300nm、低于270nm、或低于250nm的UV截止边缘。
16.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃具有小于1.55、小于1.50、小于1.49、或小于1.48的折射率nd。
17.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中，所述玻璃制品的所述玻璃具有在488nm的波长下小于1％的自发荧光发射/激发强度比率。
18.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃具有小于0.6、或小于0.55、或小于0.53、或小于0.52、或小于0.51的光学碱度Λ。
19.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃包含以下比例的氧化物：
SiO2
>60至90mol％
Al2O3
>0至15mol％
B2O3
>4至25mol％
R2O
>0至<20mol％
RO
0至<20mol％
其中R2O为碱金属氧化物Li2O、Na2O和K2O的量之和，并且RO为ZnO和碱土金属氧化物MgO、CaO、SrO和BaO的量之和。
20.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃包含以下比例的氧化物：
SiO2
>60至90mol％
Al2O3
>0至15mol％
B2O3
>5至25mol％
R2O
>0至<20mol％
RO
0至<20mol％
其中R2O为碱金属氧化物Li2O、Na2O和K2O的量之和，并且RO为ZnO和碱土金属氧化物MgO、CaO、SrO和BaO的量之和。
21.根据前述权利要求中任一项所述的玻璃制品，其中所述玻璃制品的所述玻璃包含以下比例的氧化物：
SiO2
>80至<85mol％
Al2O3
>0.5至<3mol％
B2O3
>8至15mol％
R2O
>0至<5mol％
RO
0至<5mol％
其中R2O为碱金属氧化物Li2O、Na2O和K2O的量之和，并且RO为ZnO和碱土金属氧化物MgO、CaO、SrO和BaO的量之和。
技术研发人员：范慧艳，薛军明，钱鹏翔，M·瑶茨，F·普仁斯，
申请(专利权)人：肖特玻璃科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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