基于实验室X光源的单色共聚焦X射线荧光光谱分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术主要涉及光谱分析技术领域，提供了一种基于实验室X光源的单色共聚焦X射线荧光光谱分析装置，采用实验室X光管产生发散的多色X射线，毛细管X光半透镜将发散的多色X射线转化成发散度较小且高强度增益的准平行X射线，再通过单色器将来自毛细管X光半透镜出射的多色的准平行X射线转化成单色的准平行X射线，再通过聚焦器与信号接收器形成共聚焦微元，使样品与共聚焦微元做相对运动产生样品荧光信号，控制分析终端对样品荧光信号进行分析处理，实现对位于共聚焦微元的样品部分进行高精度的空间元素分析，本发明专利技术提供的光谱分析装置体积小，设备的造价便宜，同时，产生的样品荧光信号杂散光更少，提高信噪比，进一步降低对样品的检测限。

【技术实现步骤摘要】
基于实验室X光源的单色共聚焦X射线荧光光谱分析装置
本专利技术涉及光谱分析
，尤其涉及一种基于实验室X光源的单色共聚焦X射线荧光光谱分析装置。
技术介绍
共聚焦X射线荧光光谱分析技术是一种直接的具有空间分辨的微区谱学分析技术，可以对微小不规则的样品任意空间位置的元素成分进行分析，是研究物质微区结构的有效工具，在生物，考古、地质，生物，材料及化学分析等科学领域具有广泛的应用前景。现有技术中的共聚焦X射线荧光光谱分析设备通常使用同步辐射共聚焦X射线荧光光谱分析仪，同步辐射共聚焦X射线荧光光谱分析仪激发的射线为单色X射线束，几乎不存在连续谱，因此从样品出射的X射线除了样品中的元素被激发产生的荧光X射线和单色入射线的瑞利散射和康普顿散射以外，几乎不存在连续散射背景。因此待测元素特征线具有极低的背景，对于样品的检测限更低，有利于进行样品元素的定量分析。但是，由于同步辐射光源设备体积庞大，造价昂贵，因此基于同步辐射光源的单色共聚焦X射线荧光光谱分析仪难以在实际应用中推广应用。
技术实现思路
r>为解决上述现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于实验室X光源的单色共聚焦X射线荧光光谱分析装置，其特征在于，所述装置包括：/nX射线发生器(1)、毛细管X光半透镜(2)、单色器(3)、聚焦器(4)、荧光信号接收器(8)、三维调节平台(6)、X射线探测器(9)和控制分析终端(10)；/n所述X射线发生器(1)设置于所述毛细管X光半透镜(2)的入口焦点处，用于产生发散的多色X射线；/n所述毛细管X光半透镜(2)用于接收所述X射线发生器(1)出射的所述发散的多色X射线，并将接收的所述发散的多色X射线转化成多色的准平行X射线；/n所述单色器(3)设置于所述毛细管X光半透镜(2)的出射口之后，用于接收所述毛细管X光半透镜(2)出射的所述多...

【技术特征摘要】
1.一种基于实验室X光源的单色共聚焦X射线荧光光谱分析装置，其特征在于，所述装置包括：
X射线发生器(1)、毛细管X光半透镜(2)、单色器(3)、聚焦器(4)、荧光信号接收器(8)、三维调节平台(6)、X射线探测器(9)和控制分析终端(10)；
所述X射线发生器(1)设置于所述毛细管X光半透镜(2)的入口焦点处，用于产生发散的多色X射线；
所述毛细管X光半透镜(2)用于接收所述X射线发生器(1)出射的所述发散的多色X射线，并将接收的所述发散的多色X射线转化成多色的准平行X射线；
所述单色器(3)设置于所述毛细管X光半透镜(2)的出射口之后，用于接收所述毛细管X光半透镜(2)出射的所述多色的准平行X射线，并将接收的所述多色的准平行X射线转化成单色的准平行X射线；
所述聚焦器(4)设置于所述单色器(3)的出射光路中，用于接收所述单色器(3)出射的所述单色的准平行X射线，并将接收的所述单色的准平行X射线会聚成微焦斑，所述微焦斑位于所述荧光信号接收器(8)的入口焦点处，形成共聚焦微元(7)；
在所述荧光信号接收器(8)的入口焦点处设置有所述三维调节平台(6)，所述三维调节平台(6)上放置有样品(5)，所述三维调节平台(6)用于调节所述样品(5)与所述共聚焦微元(7)做相对运动，所述荧光信号接收器(8)用于接收所述样品(5)与所述共聚焦微元(7)做相对运动而产生的样品荧光信号；
所述X射线探测器(9)用于接收所述荧光信号接收器(8)发送的样品荧光信号；
所述控制分析终端(10)与所述X射线探测器(9)连接，用于接收所述X射线探测器(9)发送的样品荧光信号，并对接收的所述样品荧光信号进行分析和存储，所述控制分析终端(10)与所述三维调节平台(6)连接，用...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙学鹏，孙天希，张晓芸，刘志国，
申请(专利权)人：北京市辐射中心，
类型：发明
国别省市：北京;11