一种石墨切片的高精度抛光设备制造技术

本发明专利技术属于石墨产品加工设备技术领域，具体公开了一种石墨切片的高精度抛光设备，包括机架、工作台和打磨组件。通过在工作台表面开设小孔进行抽真空吸附固定石墨切片，在机架上设置双滑轨及打磨组件调节抛光位置，初步获得较高的抛光精度；通过在小孔周围设置与小孔连通的环形沟道加强真空吸附效果，结合工作台凹陷区的设置，确保石墨切片在抛光过程不会发生位置偏移，提高抛光精度；通过抛光盘金属层、橡胶层及抛光层的三层结构设计，提高打磨组件的平稳性，进一步提高抛光精度。此外，本发明专利技术还具有操作简单、安全性高、抛光层易替换、抛光效率高的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨切片的高精度抛光设备
本专利技术涉及石墨产品加工设备
，具体涉及一种石墨切片的高精度抛光设备。
技术介绍
石墨舟作为硅片的载体，是PECVD镀膜工艺中的重要工具，由若干石墨舟片组装而成。石墨舟片的加工首先需要将石墨块进行切割得到石墨切片，由于切割出的石墨切片表面粗糙，必须对其进行抛光处理，以降低其对后续硅片镀膜过程的影响。对于石墨切片的抛光，传统方式是采用人工操作，不仅费时费力，而且力度、位置都难以掌控，无法达到抛光要求。目前针对石墨材料也有一些自动抛光设备，但大多仅仅将抛光部件的运作进行自动化，仍旧需要人为不断地去调整石墨材料的位置，抛光精度和效率都很低。公告号为CN204976288U的中国技术专利，公开了一种石墨板抛光机，由机座、工作台、抛光装置、驱动电机装置和传动装置五部分组成，通过在工作台四周设置小孔进行抽真空实现石墨板的吸附固定，通过传动装置使抛光装置能在工作台上方左右移动，实现对石墨板的往复抛光。该专利技术虽然有效减少了人工，大大提高了生产效率，但是该抛光装置始终在同一水平面进行抛光操作，无法适应石墨材料的个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨切片的高精度抛光设备，其特征在于：包括/n-机架（1），所述机架（1）上设有两平行滑轨（4）；/n-工作台（2），通过所述滑轨（4）安装于所述机架（1）；所述工作台（2）上表面开设有若干与真空管道（6）连通的小孔（21），所述真空管道（6）与真空发生器相连；/n-打磨组件（3），包括升降座（31）；所述升降座（31）一侧表面与一竖直设置的电机（32）固接，所述电机（32）的输出端通过转轴（33）与一水平的抛光盘（34）相连；所述升降座（31）另一侧表面与一安装座（35）滑动连接，所述安装座（35）位于所述工作台（2）外侧并设于所述机架（1）。/n

【技术特征摘要】
1.一种石墨切片的高精度抛光设备，其特征在于：包括
-机架（1），所述机架（1）上设有两平行滑轨（4）；
-工作台（2），通过所述滑轨（4）安装于所述机架（1）；所述工作台（2）上表面开设有若干与真空管道（6）连通的小孔（21），所述真空管道（6）与真空发生器相连；
-打磨组件（3），包括升降座（31）；所述升降座（31）一侧表面与一竖直设置的电机（32）固接，所述电机（32）的输出端通过转轴（33）与一水平的抛光盘（34）相连；所述升降座（31）另一侧表面与一安装座（35）滑动连接，所述安装座（35）位于所述工作台（2）外侧并设于所述机架（1）。


2.根据权利要求1所述的石墨切片的高精度抛光设备，其特征在于：所述工作台（2）下方设有一平行于所述滑轨（4）并安装于所述机架（1）的丝杠（5），所述丝杠（5）上套设的支撑座与所述工作台（2）固接。


3.根据权利要求1所述的石墨切片的高精度抛光设备，其特征在于：所述安装座（35）与所述机架（1）滑动连接。


4.根据权利要求1所述的石墨切片的高精度抛光设备，其特征在于：所述升降座（31）通过其上表面的旋转部（311）调节升降，所述旋转部（311）外周标有刻度。


5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志强，
申请(专利权)人：浙江华熔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33