药液槽体的闸门装置制造方法及图纸

技术编号:25232413 阅读:34 留言:0更新日期:2020-08-11 23:19
本实用新型专利技术公开了一种药液槽体的闸门装置,包括旋转气缸,所述旋转气缸固定在药液槽体的开口处;旋转轴,所述旋转轴与所述旋转气缸传动连接,所述旋转气缸能够带动所述旋转轴转动;固定座,所述旋转轴套设在所述固定座上,所述固定座对所述旋转轴进行限位;闸门,所述闸门设置在所述旋转轴上,所述闸门沿所述旋转轴的长度方向设置,所述闸门与所述旋转轴传动连接,所述闸门能够盖合在所述药液槽体的开口上,所述闸门能够在所述旋转轴的带动下在所述药液槽体的开口上旋转。其增加药水槽体的入/出料口密闭效果,有效防止药气外泄。

【技术实现步骤摘要】
药液槽体的闸门装置
本技术涉及了液晶面板制造领域,具体的是一种药液槽体的闸门装置。
技术介绍
在现有技术中,因药液槽体有药气外泄等工安问题,会使用一些方式(出/入口增加抽气机构等方式)阻隔药气外泄。但抽气机构实际使用效果有限,对厂务负压系统的稳定性要求较高。
技术实现思路
为了克服现有技术中的缺陷,本技术实施例提供了一种药液槽体的闸门装置,其增加入/出料口密闭效果,有效防止药气外泄。为实现上述目的,本申请实施例公开了一种药液槽体的闸门装置,包括:旋转气缸,所述旋转气缸固定在药液槽体的开口处;旋转轴,所述旋转轴与所述旋转气缸传动连接,所述旋转气缸能够带动所述旋转轴转动;固定座,所述旋转轴套设在所述固定座上,所述固定座对所述旋转轴进行限位;闸门,所述闸门设置在所述旋转轴上,所述闸门沿所述旋转轴的长度方向设置,所述闸门与所述旋转轴传动连接,所述闸门能够盖合在所述药液槽体的开口上,所述闸门能够在所述旋转轴的带动下在所述药液槽体的开口上旋转。优选的,所述旋转气缸上还设有调速阀。...

【技术保护点】
1.一种药液槽体的闸门装置,其特征在于,包括:/n旋转气缸,所述旋转气缸固定在药液槽体的开口处;/n旋转轴,所述旋转轴与所述旋转气缸传动连接,所述旋转气缸能够带动所述旋转轴转动;/n固定座,所述旋转轴套设在所述固定座上,所述固定座对所述旋转轴进行限位;/n闸门,所述闸门设置在所述旋转轴上,所述闸门沿所述旋转轴的长度方向设置,所述闸门与所述旋转轴传动连接,所述闸门能够盖合在所述药液槽体的开口上,所述闸门能够在所述旋转轴的带动下在所述药液槽体的开口上旋转。/n

【技术特征摘要】
1.一种药液槽体的闸门装置,其特征在于,包括:
旋转气缸,所述旋转气缸固定在药液槽体的开口处;
旋转轴,所述旋转轴与所述旋转气缸传动连接,所述旋转气缸能够带动所述旋转轴转动;
固定座,所述旋转轴套设在所述固定座上,所述固定座对所述旋转轴进行限位;
闸门,所述闸门设置在所述旋转轴上,所述闸门沿所述旋转轴的长度方向设置,所述闸门与所述旋转轴传动连接,所述闸门能够盖合在所述药液槽体的开口上,所述闸门能够在所述旋转轴的带动下在所述药液槽体的开口上旋转。


2.如权利要求1所述的药液槽体的闸门装置,其特征在于,所述旋转气缸...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈宽政
申请(专利权)人:亚智系统科技苏州有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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