一种低压扩散炉制造技术

本发明专利技术提供一种低压扩散炉，包括基座、炉门、炉门驱动组件、控制单元，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启或关闭。该低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和/或至少一个第二接触开关，所述第一接触开关与基座固定连接，所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述炉门驱动组件接触并触发所述第一接触开关，所述第一接触开关在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；和/或所述第二接触开关与基座固定连接，所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述炉门驱动组件接触并触发所述第二接触开关，所述第二接触开关在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。本发明专利技术提供的低压扩散炉提高了确认炉门位置的准确性和设备安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种低压扩散炉
本专利技术涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种低压扩散炉。
技术介绍
在现有技术中，低压扩散炉的炉门开关动作通常由旋转气缸驱动完成，如图1所示，炉门驱动组件2控制炉门1的运动，炉门驱动组件2通常为气缸，其运动可被分解为旋转关闭、前进、后退、旋转打开4个分步骤。在炉门驱动组件2上安装有前限位、后限位(即气缸电磁阀沿扩散炉管5的深度方向进行前后运动的极限位置，朝向扩散炉管5为前)、开限位和关限位(即气缸电磁阀沿垂直于扩散炉管5的深度方向旋转，使炉门1与扩散炉管5对齐或错开)共4个磁控传感器用以检测炉门驱动组件2的运动状态，在炉门驱动组件2附近安装有控制单元3来控制炉门驱动组件2中电磁阀等元件的动作。表1-1所示为根据传感器信号确定扩散炉操作的关键逻辑判断规律。其中，限位到达为1，大气状态为1，限位未到为0，真空状态为0，任意状态为X。仅当旋转气缸位于后限位和开限位时才能关闭炉门，仅当旋转气缸位于前限位、关限位且大气状态时才能打开炉门，仅当旋转气缸位于前限位和关限位时才能抽真空，其他状态都为禁止动作或非正常状态。表1-1序号气缸前气缸后气缸开气缸关腔室压力动作101101可关门21X1X1不可关门310011可开门4XXXX0不可开门51001X可抽真空然而，现有的低压扩散炉常在使用过程中出现切碎扩散炉管的问题。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种低压扩散炉，该低压扩散炉的安全性更高。为实现上述目的，本专利技术提供一种低压扩散炉，所述低压扩散炉包括基座、炉门、炉门驱动组件和控制单元，所述炉门驱动组件设置在所述基座上，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启或关闭，所述低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和/或至少一个第二接触开关；其中，所述第一接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述炉门驱动组件与所述第一接触开关接触并触发所述第一接触开关，所述第一接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；和/或所述第二接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述炉门驱动组件与所述第二接触开关接触并触发所述第二接触开关，所述第二接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。优选地，所述炉门驱动组件包括驱动机构和连接件，所述驱动机构与所述基座固定连接，所述驱动机构通过所述连接件与所述炉门连接，且能够通过所述连接件驱动所述炉门开启或关闭；所述低压扩散炉包括至少一个所述第一接触开关，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述连接件能够触发所述第一接触开关。优选地，所述炉门驱动组件包括驱动机构和连接件，所述驱动机构与所述基座固定连接，所述驱动机构通过所述连接件与所述炉门连接，且能够通过所述连接件驱动所述炉门开启或关闭；所述低压扩散炉包括至少一个所述第二接触开关，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述连接件能够触发所述第二接触开关。优选地，所述低压扩散炉包括扩散炉管，所述扩散炉管设置在所述基座上的安装位置，所述炉门选择性地封闭所述扩散炉管的管口；所述低压扩散炉还包括第三接触开关，所述第三接触开关设置在所述扩散炉管的管口位置处，在所述扩散炉管位于所述安装位置时，所述扩散炉管管口处的侧壁接触并触发所述第三接触开关，所述第三接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出管口正常信号。优选地，所述低压扩散炉还包括第四接触开关，所述第四接触开关设置在所述扩散炉管的尾部，在所述扩散炉管的管口沿所述扩散炉管的长度方向运动并脱离所述安装位置时，所述扩散炉管尾部的侧壁能够接触并触发所述第四接触开关，所述第四接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出尾部异常信号。优选地，所述低压扩散炉还包括第一抽气管和第一压力传感器，所述第一抽气管与所述扩散炉管的尾部连通，用于抽出所述扩散炉管中的气体，所述第一压力传感器与所述第一抽气管连通，所述第一压力传感器用于检测所述第一抽气管中的气压并将检测到的第一气压值发送至所述控制单元；所述控制单元用于在所述第一压力传感器检测到的第一气压值超出预设气压范围时，控制所述炉门驱动组件停止驱动所述炉门运动。优选地，所述炉门具有炉门内腔，所述低压扩散炉还包括第二抽气管和第二压力传感器，所述第二抽气管与所述炉门内腔连通，用于抽出所述炉门内腔中的气体，所述第二压力传感器与所述第二抽气管连通，所述第二压力传感器用于检测所述第二抽气管中的气压并将检测到的第二气压值发送至所述控制单元；所述控制单元用于在所述第二压力传感器检测到的第二气压值超出预设气压范围时，控制所述炉门驱动组件停止驱动所述炉门运动。优选地，所述低压扩散炉还包括进气管，所述进气管与所述炉门的炉门内腔连通，用于向所述炉门内腔中提供气体。优选地，所述控制单元还用于在接收到所述第一气压值与所述第二气压值，且二者之间的差超出预设压差范围时，控制所述炉门驱动组件停止驱动所述炉门运动。优选地，所述低压扩散炉还包括防护板，所述防护板包括防护顶板和防护侧板，所述防护顶板与所述扩散炉管的延伸方向平行设置，所述防护侧板与所述防护顶板固定连接，且所述防护侧板与所述扩散炉管的延伸方向之间存在预设夹角，所述防护顶板位于所述扩散炉管与所述控制单元之间，所述防护侧板位于所述炉门驱动组件与所述控制单元之间。在本专利技术中，第一接触开关能够在关门后被炉门驱动组件触发，从而同时完成“气缸关限位”传感器与“气缸前限位”传感器的侦测任务，第二接触开关能够在开门后被炉门驱动组件触发，从而同时完成“气缸开限位”传感器与“气缸后限位”传感器的侦测任务，不仅可以利用更少的部件确定炉门的状态，还能够与炉门驱动组件上的传感器相互校验，以降低出错概率。并且，在本专利技术中，第一接触开关与第二接触开关设置在基座上，不随炉门驱动组件运动，在设备的重复使用中，第一接触开关和第二接触开关不会出现松动、脱落问题，从而提高了炉门位置确认信息的准确性和设备的安全性。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是现有技术中的低压扩散炉结构示意图；图2是本专利技术实施例提供的低压扩散炉的一种结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的接触开关的结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的低压扩散炉中炉门驱动组件的位姿变换示意图；图5是本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低压扩散炉，所述低压扩散炉包括基座、炉门、炉门驱动组件和控制单元，所述炉门驱动组件设置在所述基座上，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启或关闭，其特征在于，所述低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和/或至少一个第二接触开关；其中，/n所述第一接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述炉门驱动组件与所述第一接触开关接触并触发所述第一接触开关，所述第一接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；和/或/n所述第二接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述炉门驱动组件与所述第二接触开关接触并触发所述第二接触开关，所述第二接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。/n

【技术特征摘要】
1.一种低压扩散炉，所述低压扩散炉包括基座、炉门、炉门驱动组件和控制单元，所述炉门驱动组件设置在所述基座上，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启或关闭，其特征在于，所述低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和/或至少一个第二接触开关；其中，
所述第一接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述炉门驱动组件与所述第一接触开关接触并触发所述第一接触开关，所述第一接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；和/或
所述第二接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述炉门驱动组件与所述第二接触开关接触并触发所述第二接触开关，所述第二接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。


2.根据权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉门驱动组件包括驱动机构和连接件，所述驱动机构与所述基座固定连接，所述驱动机构通过所述连接件与所述炉门连接，且能够通过所述连接件驱动所述炉门开启或关闭；
所述低压扩散炉包括至少一个所述第一接触开关，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述连接件能够触发所述第一接触开关。


3.根据权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉门驱动组件包括驱动机构和连接件，所述驱动机构与所述基座固定连接，所述驱动机构通过所述连接件与所述炉门连接，且能够通过所述连接件驱动所述炉门开启或关闭；
所述低压扩散炉包括至少一个所述第二接触开关，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述连接件能够触发所述第二接触开关。


4.根据权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉包括扩散炉管，所述扩散炉管设置在所述基座上的安装位置，所述炉门选择性地封闭所述扩散炉管的管口；
所述低压扩散炉还包括第三接触开关，所述第三接触开关设置在所述扩散炉管的管口位置处，在所述扩散炉管位于所述安装位置时，所述扩散炉管管口处的侧壁接触并触发所述第三接触开关，所述第三接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出管口正常信号。


5.根据权利要求4所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉还包括第四...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙朋涛，桂晓波，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11