掩膜版及其制造方法、复合型掩膜版、真空干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种掩膜版，所述掩膜版包括相对设置的第一表面和第二表面，所述掩膜版上设有若干通孔，每一所述通孔贯穿所述第一表面和所述第二表面，所述第一表面和所述第二表面上涂布有超疏水材料。本发明专利技术提供的掩膜版应用于真空干燥装置中，在真空干燥装置对打印有墨水的面板进行真空干燥的过程中，能够阻挡粘附在真空干燥装置的腔室的顶部的溶剂液滴滴落至面板，避免了面板上形成的薄膜不均匀的情况发生，改善了显示面板的显示效果。本发明专利技术还提供该掩膜版的制造方法、具有该掩膜版的复合型掩膜版及具有该掩膜版或该复合型掩膜版的真空干燥装置。

【技术实现步骤摘要】
掩膜版及其制造方法、复合型掩膜版、真空干燥装置
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种掩膜版及其制造方法、复合型掩膜版、真空干燥装置。
技术介绍
在显示面板的生产过程中，通常使用喷墨打印(InkJetPrint，IJP)的方式将含有有机功能材料的墨水打印在面板上的预定位置，然后使用真空干燥(VacuumDry，VCD)装置对打印有墨水的面板进行真空干燥，以使墨水中的溶剂挥发，在面板上形成只含有溶质(也即有机功能材料)的薄膜。在真空干燥的过程中，溶剂挥发时产生的气体容易转换成液滴粘附在真空干燥装置的腔壁，而粘附在腔壁的液滴在一定条件下会滴落至面板上，造成面板上形成的薄膜不均匀，进而影响显示面板的显示效果。
技术实现思路
因此，有必要提供一种应用于真空干燥装置的掩膜版及其制造方法、复合型掩膜版、真空干燥装置，用以解决现有的真空干燥装置在对打印有墨水的面板进行真空干燥的过程中造成面板上形成的薄膜不均匀，进而影响显示面板的显示效果的问题。第一方面，本专利技术的实施例提供一种掩膜版，所述掩膜版包括相对设置的第一表面和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜版，所述掩膜版包括相对设置的第一表面和第二表面，其特征在于，所述掩膜版上设有若干通孔，每一所述通孔贯穿所述第一表面和所述第二表面，所述第一表面和所述第二表面上涂布有超疏水材料。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版，所述掩膜版包括相对设置的第一表面和第二表面，其特征在于，所述掩膜版上设有若干通孔，每一所述通孔贯穿所述第一表面和所述第二表面，所述第一表面和所述第二表面上涂布有超疏水材料。


2.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述通孔的孔径沿着所述第一表面到所述第二表面的方向逐渐增加。


3.如权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述通孔在所述第一表面处的孔径的取值范围为50-200μm，所述通孔的侧面与所述第二表面之间所夹的锐角小于80°，所述掩膜版的厚度的取值范围为100-600μm。


4.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，若干所述通孔在所述掩膜版上均匀排布。


5.如权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述通孔呈圆形、椭圆形或长条形。


6.一种掩膜版的制造方法，其特征在于，所述掩膜版的制造方法包括以下步骤：
提供基板，所述基板包括相对设置的第一表面和第二表面；
在所述基板上制备若干通孔，其中，每一所述通孔贯穿所述第一表面和所述第二表面；
在所述第一表面和所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢海秋，汪国杰，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44