一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片，包括衬底和依次设置在衬底上侧的振膜与背极板，振膜上设置有泄气阀，背极板上与振膜上的泄气阀相对应的位置设置有泄气孔，所述的泄气孔远离振膜的一侧上设置有阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件。本实用新型专利技术通过设置阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件，当泄气阀受到气流冲击时，泄气阀打开，但是由于遮挡组件的设置，泄气阀不能完全伸展开，微尘由于受到泄气阀和遮挡组件的共同作用，被阻挡在背极板的外侧，有效防止微尘进入到麦克风的内部。本实用新型专利技术的结构简单小巧，在保证抗吹风能力的同时具有良好的防尘能力。

【技术实现步骤摘要】
一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片
本技术涉及麦克风
，具体涉及一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片。
技术介绍
许多微机电麦克风在振膜上都具有泄气阀结构设计，且在背极板对应位置开孔，让泄气阀在遭受吹气压力时能毫无阻档的完整开启，产生泄气路径的同时降低振膜承受的压力。但是当泄气阀开启后的开口大小大于空气中微尘粒子的时候，微尘粒子会因此容易进入麦克风内部，有一定机会落尘在麦克风上，甚至掉落在振膜与背极板间，影响产品性能与可靠性。因此，有必要提出一种改进，以克服现有技术的缺陷。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有技术中的问题，提供一种兼顾泄气和防止微尘粒子进入到麦克风内部的防尘抗吹气微机电麦克风芯片。本技术的技术方案是：一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片，包括衬底和依次设置在衬底上侧的振膜与背极板，振膜上设置有泄气阀，背极板上与振膜上的泄气阀相对应的位置设置有泄气孔，所述的泄气孔远离振膜的一侧上设置有阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件。作为一种优选的技术方案，所述的遮挡组件包括用于阻碍泄气阀顶部完全伸展开的顶部遮挡板。作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板与背极板之间设置有间隔，顶部遮挡板上至少有一侧边缘通过延长板连接在背极板上。作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板的沿泄气阀打开方向且背离泄气阀端部的一端通过延长板连接在背极板上。作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板的沿泄气阀打开方向且靠近泄气阀端部的一端通过延长板连接在背极板上。作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板的沿泄气阀打开方向的两端均通过延长板连接在背极板上。作为一种优选的技术方案，所述的顶部遮挡板沿垂直于泄气阀打开方向的两端均通过延长板连接在背极板上。作为一种优选的技术方案，所述的遮挡组件包括用于阻碍泄气阀中部完全伸展开的中部遮挡板，所述的中部遮挡板平贴于背极板上。作为一种优选的技术方案，所述的中部遮挡板背离泄气阀端部的一端连接在背极板上，且中部遮挡板的另一端与背极板之间存在间隔。作为一种优选的技术方案，所述的中部遮挡板沿垂直于泄气阀打开方向的两端连接在背极板上，且中部遮挡板的两侧与背极板之间存在间隔。本技术还提供一种电子设备，包括上述所述的防尘抗吹气微机电麦克风芯片。有益效果：本技术通过设置阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件，当泄气阀受到气流冲击时，泄气阀打开，但是由于遮挡组件的设置，泄气阀不能完全伸展开，微尘由于受到泄气阀和遮挡组件的共同作用，被阻挡在背极板的外侧，有效防止微尘进入到麦克风的内部。本技术的结构简单小巧，在保证抗吹风能力的同时具有良好的防尘能力。附图说明图1为泄气阀的结构示意图；图2为实施例一的剖视示意图；图3为实施例一的俯视示意图；图4为实施例二的剖视示意图；图5为实施例二的俯视示意图；图6为实施例三的剖视示意图；图7为实施例三的俯视示意图；图8为实施例四的剖视示意图；图9为实施例四的俯视示意图；图10为实施例五的剖视示意图；图11为实施例五的俯视示意图；图12为实施例六的剖视示意图；图13为实施例六的俯视示意图；其中：1、背极板，2、振膜，3、泄气阀，4、微尘，5、气流，6、延长板，7、顶部遮挡板，8、中部遮挡板，1-1、泄气孔。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、技术特征、技术目的与技术效果易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。麦克风通常包括衬底、振膜2和背极板1，振膜2和背极板1依次设置在衬底的上侧，为了让振膜2具有良好的抗吹气冲击能力，如图1所示，通常会在振膜2上设置若干组泄气阀3，泄气阀3的结构如舌状结构，且为了避免影响泄气阀3的开启，背极板1上对应泄气阀3的位置会设置有泄气孔1-1，为了避免泄气阀3在收到气流的冲击打开时，微尘会进入到麦克风的内，本申请提供以下几种所述的泄气孔1-1远离振膜2的一侧上设置有阻碍泄气阀3完全伸展的遮挡组件。实施例一如图2和图3所示，本实施例所述的遮挡组件包括用于阻碍泄气阀3顶部完全伸展开的顶部遮挡板7，所述的顶部遮挡板7与背极板1之间设置有间隔，该间隔的高度低于泄气阀3处于打开状态时的最大高度，所述的顶部遮挡板7沿泄气阀3打开方向且背离泄气阀3端部的一端通过延长板6连接在背极板1上，顶部遮挡板7的其他边缘与泄气孔1-1的边缘之间均设置有一定的间隔，以该间隔作为泄气通道，该间隔与顶部遮挡板7的设置高度和顶部遮挡板7的尺寸有关，因此在顶部遮挡板7的高度和顶部遮挡板7的尺寸在设置时，应让该间隔小于防尘级别相应的微尘粒径.。当泄气阀3受到气流5冲击打开时，泄气阀3的端部会受到阻挡而折叠，气流5沿顶部遮挡板7与泄气孔1-1之间的间隙通过，而微尘被阻挡于背极板1的外侧，起到防尘抗吹气的作用。实施例二如图4和图5所示，与实施例一相比，实施例二的主要区别在于：所述的顶部遮挡板7沿泄气阀3打开方向且靠近泄气阀3端部的一端通过延长板6连接在背极板1上，本实施例的结构原理与实施例一的结构原理相同，顶部遮挡板7设置在泄气阀3的打开端，防尘效果更佳。实施例三如图6和图7所示，与实施例一相比，实施例三的主要区别在于：所述的顶部遮挡板7的沿泄气阀打开方向的两端均通过延长板连接在背极板上，本实施例综合上述实施例一的设置方式与实施例二的设置方式，泄气通道位于顶部遮挡板7的两侧。实施例四如图8和图9所示，与实施例一相比，实施例四的主要区别在于：所述的顶部遮挡板7沿垂直于泄气阀3打开方向的两端均通过延长板6连接在背极板1上，与实施例三相比，相当于将实施例三的顶部遮挡板平面转动90°，该实施例的泄气通道主要为顶部遮挡板7靠近泄气阀3的打开端。实施例五如图10和图11所示，与实施例一相比，实施例五的主要区别在于：所述的遮挡组件包括用于阻碍泄气阀3中部完全伸展开的中部遮挡板8，所述的中部遮挡板8平贴于背极板1上，平贴指的是中部遮挡板8与背极板1之间的位置关系，即中部遮挡板8与背极板1之间的间距为零，所述的中部遮挡板8背离泄气阀3端部的一端连接在背极板1上，且中部遮挡板8的另一侧与背极板1之间存在间隔。相比于前述实施例，中部遮挡板8与背极板1之间没有间隔，中部遮挡板8直接连接在背极板1上，当泄气阀3受气流冲击打开时，由于中部遮挡板8的高度较低，泄气阀3的中部受到遮挡折叠后，泄气阀3的端部会伸入到中部遮挡板8与泄气孔1-1之间的间隔内，并且泄气阀3会占用一定的空间，能够阻挡微尘进入到麦克风内部。实施例六如图12和图13所示，与实施例五相比，实施例六的主要区别在于：所述的中部遮挡板沿垂直于泄气阀打开方向的两端连接在背极板上，且中部遮挡板的两侧与背极板之间存在间隔。作为实施例五中的中部遮挡板的安装方式的演变，参考本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片，包括衬底和固定设置在衬底上的振膜与背极板，振膜上设置有泄气阀，背极板上与振膜上的泄气阀相对应的位置设置有泄气孔，其特征在于：所述泄气孔远离振膜的一侧设置有阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件。/n

【技术特征摘要】
1.一种防尘抗吹气微机电麦克风芯片，包括衬底和固定设置在衬底上的振膜与背极板，振膜上设置有泄气阀，背极板上与振膜上的泄气阀相对应的位置设置有泄气孔，其特征在于：所述泄气孔远离振膜的一侧设置有阻碍泄气阀完全伸展的遮挡组件。


2.根据权利要求1所述的防尘抗吹气微机电麦克风芯片，其特征在于：所述遮挡组件包括用于阻碍泄气阀自由端完全伸展开的顶部遮挡板。


3.根据权利要求2所述的防尘抗吹气微机电麦克风芯片，其特征在于：所述顶部遮挡板与背极板之间设置有间隔，顶部遮挡板上至少有一侧边缘通过延长板连接在背极板上。


4.根据权利要求3所述的防尘抗吹气微机电麦克风芯片，其特征在于：所述顶部遮挡板的沿泄气阀打开方向且背离泄气阀端部的一端通过延长板连接在背极板上。


5.根据权利要求3所述的防尘抗吹气微机电麦克风芯片，其特征在于：所述顶部遮挡板的沿泄气阀打开方向且靠近泄气阀端部的一端通过延长板连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：周宗燐，邱冠勋，卫勇，
申请(专利权)人：歌尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37