从设备部件中移除污染物颗粒的设备和方法技术

一种用于从设备(140，MT)的部件(202、204)移除污染物颗粒(205)的设备(300)，所述污染物颗粒产生环境电场(E)，所述设备包括：用于吸引所述颗粒的收集区域(301)，其中，所述环境电场至少在所述部件与所述收集区域之间；和电场发生器，所述电场发生器被配置成在所述收集区域与所述部件之间建立施加电场以使所述颗粒从所述部件传输到所述收集区域，其中所述电场发生器被配置成基于环境电场来确定所施加电场的极性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】从设备部件中移除污染物颗粒的设备和方法相关申请的交叉引用本申请要求于2017年12月28日提交的欧洲申请17210857.3和2018年3月6日提交的欧洲申请18160148.5的优先权，所述欧洲申请的全部内容通过引用的方式合并入本文中。
本公开涉及用于从设备(可选地，量测设备)的部件中移除污染物颗粒的方法和设备。
技术介绍
在光刻过程中，需要对所创建的结构进行频繁的测量，例如，用于过程控制和验证。进行这些测量的工具通常称为量测工具(MET)。用于进行这些测量的不同类型的量测工具是已知的，包括扫描电子显微镜或各种形式的散射仪量测工具。散射仪是多用途仪器，通过在散射仪物镜的光瞳或与光瞳共轭的平面上安装传感器来允许进行对光刻过程的参数的测量，通常称为基于光瞳的测量，或者通过使传感器位于图像平面或与图像平面共轭的平面，在这种情况下，测量通常被称为基于图像或基于场的测量。在专利申请US20100328655、US2011102753A1、US20120044470A、US20110249244、US20110026032或EP1628164A中进一步描述了这些散射仪和相关联的测量技术，这些专利申请通过引用全部并入本文中。上述散射仪可使用来自软x射线、极紫外(EUV)和可见光至近红外波长范围的辐射来测量光栅。有时，污染物颗粒(诸如聚酯或纤维素颗粒/纤维)可能附着在量测工具的部件上，例如，附着在形成散射仪的一部分的光学物镜上。量测工具内存在着若干潜在的污染物颗粒源，诸如在工具维修和维护期间所使用的清洁擦拭件。包含有被测结构的半导体晶片本身可能由于晶片输送系统或用于存储和运输晶片的前开式统集盒或前开式晶片传送盒(FOUP)中的污染而将污染物颗粒引入量测工具内。专利技术人已经认识到，在某些情况下，这种污染物颗粒会导致量测工具对被测晶片造成损坏，这是不期望的，因为它会导致较低的产率。例如，污染物颗粒也可能影响量测工具在准确度方面的性能。因此，本专利技术解决的问题是如何从设备移除污染物颗粒。该设备可以是一种量测工具。
技术实现思路
根据本专利技术的一个方面，提供了一种用于从设备的部件移除污染物颗粒的设备，所述污染物颗粒产生环境电场，所述设备包括：用于吸引所述颗粒的收集区域，其中所述环境电场至少在所述部件与所述收集区域之间；和电场发生器，其被配置成在所述收集区域与所述部件之间建立所施加电场以使所述颗粒从所述部件传输到所述收集区域，其中，电场发生器被配置成基于所述环境电场来确定所施加电场的极性。根据本专利技术的另一方面，提供了一种用于从设备的部件移除污染物颗粒的设备，所述污染物颗粒产生环境电场，所述设备包括：用于吸引所述颗粒的收集区域，其中所述环境电场至少在所述部件与所述收集区域之间；电场发生器；和处理器，所述处理器被配置成执行以下步骤：基于所述环境电场来确定所施加电场的极性；使电场发生器在所述收集区域与所述部件之间建立所施加电场，以使所述颗粒从所述部件传输到所述收集区域。所施加电场的极性可能与所述环境电场的极性相反。电场发生器可被配置成基于以下一个或多个来确定所施加电场的量值：环境电场的量值；将所述颗粒保持在所述部件上的粘附力的估计；将颗粒保持在部件上的范德华力的估计。所述收集区域的至少一部分可以是导电的，并且其中所述电场发生器可包括电压源，所述电压源被布置成通过向收集区域的至少一部分施加电压来建立所施加电场。所述设备还可包括场传感器，所述场传感器被配置成在建立所施加电场之前感测所述环境电场的极性并且可选地感测所述周围电场的量值。所述场传感器可包括导电元件，并且感测所述环境电场可包括监测由环境电场在导电元件中感应的电压。所述设备可被配置成在感测到环境电场时允许导电元件的电压浮动。所施加电场的量值可以基于所感测的环境电场的量值和介于部件与导电元件和/或收集区域之间的距离中的至少一个来确定。所述收集区域可包括导电元件。所述设备还可包括场感应器，其配置成在建立所施加电场之前在介于所述收集区域与所述部件之间的区域中感应另一电场，而所述收集区域可选地触及所述污染物颗粒。所述部件可以是光学系统的物镜。所施加电压的量值可以是在从0V到10kV的范围内。所施加电压的量值可以被确定以便防止所述部件与所述收集区域之间的电击穿。所述部件可以被保持处于地电位。所述设备还可包括检查单元，该检查单元被配置成进行针对颗粒检查该部件的初始步骤，并且其中电场发生器被配置成根据在该部件上检测到的颗粒的阈值数量来建立所施加电场。所述电场发生器可以被配置成以环境电场的极性和/或量值作为输入，基于从实验数据的库查找和/或所述设备的静电有限元模型来确定所施加电场的极性和/或量值。在建立所施加电场之前，所述部件可以被转换为位于所述收集区域的正上方，或者替代地，所述收集区域可以被转换为位于所述部件的正下方。所述设备还可包括配置成从所述收集区域移除所述颗粒的颗粒移除器。所述颗粒移除器可包括真空泵，其中通过抽吸从所述收集区域移除所述颗粒。所述设备还可包括用于放置在所述收集区域上方的盖子，所述盖子具有与真空泵流体连通的通风口，并且所述通风口被配置成在真空泵操作时跨过所述收集区域且朝向所述真空泵抽吸气体通过所述通风口。所述电场发生器可被配置成在真空泵运行之前或期间减小所施加电场的量值。所述电场发生器可被配置成在真空泵运行之前或期间移除所施加电场。所述电场发生器可被配置成在真空泵运行之前或期间反转所施加电场的极性。所述设备还可包括位于所述收集区域外围的防护装置，所述防护装置被配置成将所施加电场保持在与所述收集区域相邻的区域内。所述防护装置的至少一部分可以是导电的，并且被保持处于地电位。所述部件是量测设备。根据本专利技术的另一个方面，提供了一种用于从设备的部件移除污染物颗粒的方法，所述污染物颗粒产生环境电场，并且所述设备包括用于吸引所述颗粒的收集区域，其中所述环境电场至少在所述部件与所述收集区域之间，所述方法包括：由电场发生器基于环境电场来确定所施加电场的极性；以及由电场发生器在所述收集区域与所述部件之间建立确定极性的所施加电场，以使所述颗粒从部件传输到所述收集区域。确定所施加电场的极性和量值可以至少基于以下其中之一：所述环境电场的量值；将颗粒保持在部件上的粘附力的估计；以及将颗粒保持在部件上的范德华力的估计。所述电场发生器可包括电压源，并且建立所施加电场可包括向导电的所述收集区域的一部分施加电压的电压源。在建立所施加电场之前，所述环境电场的极性和/或所述环境电场的量值可由场传感器感测。所述场传感器可包括导电元件，且感测所述环境电场可包括监测由所述环境电场在导电元件中所感应的电压。可以在感测到环境电场时允许导电元件的电压浮动。所述方法还可包括基于所感测的环境电场的量值和介于所述部件与所述导电元件和/或所述收集区域之本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于从设备的部件移除污染物颗粒的设备，所述污染物颗粒产生环境电场，所述设备包括：/n用于吸引所述颗粒的收集区域，其中所述环境电场至少在所述部件与所述收集区域之间；以及/n电场发生器，其被配置成在所述收集区域与所述部件之间建立所施加电场以使所述颗粒从所述部件被传输到所述收集区域，/n其中，电场发生器被配置成基于所述环境电场来确定所施加电场的极性。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171228 EP 17210857.3;20180306 EP 18160148.51.一种用于从设备的部件移除污染物颗粒的设备，所述污染物颗粒产生环境电场，所述设备包括：
用于吸引所述颗粒的收集区域，其中所述环境电场至少在所述部件与所述收集区域之间；以及
电场发生器，其被配置成在所述收集区域与所述部件之间建立所施加电场以使所述颗粒从所述部件被传输到所述收集区域，
其中，电场发生器被配置成基于所述环境电场来确定所施加电场的极性。


2.根据权利要求1所述的设备，其中所施加电场的极性与所述环境电场的极性相反。


3.根据权利要求1或2所述的设备，其中所述电场发生器被配置成基于以下一个或多个来确定所施加电场的量值：所述环境电场的量值；将所述颗粒保持在所述部件上的粘附力的估计；以将所述颗粒保持在所述部件上的范德华力的估计。


4.根据前述任一权利要求所述的设备，其中所述收集区域的至少一部分是导电的，并且其中所述电场发生器包括电压源，所述电压源被布置成通过向收集区域的所述至少一部分施加电压来建立所述所施加电场。


5.根据前述任一权利要求所述的设备，还包括场传感器，所述场传感器被配置成在建立所施加电场之前感测所述环境电场的极性。


6.根据权利要求5所述的设备，其中所述场传感器包括导电元件，并且其中感测所述环境电场包括监测由所述环境电场在所述导电元件中感生的电压，并且其中可选地，所述设备被配置成在感测所述环境电场时允许所述导电元件的电压浮动。


7.根据权利要求5至6中任一权利要求所述的设备，其中所施加电场的量值基于所感测的环境电场的量值和介于所述部件与所述导电元件和/或收集区域之间的距离中的至少一个来确定。

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【专利技术属性】
技术研发人员：T·P·J·G·马斯，B·M·J·范豪特，H·W·M·范布尔，F·佐斯绍特，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL