衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。载具搬送机构(51)在2个开启机构(9、10)的载置台(13)与多个载具保管架(53)之间搬送载具(C)。多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)分别搭载在第1处理块(3)之上。因此，也可以不像以往那样从装载块在水平方向上延长地设置多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)，能够削减在水平方向上延长的设置面积。即，能够减小衬底处理装置(1)的占据面积。

【技术实现步骤摘要】
衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置
本专利技术涉及一种对衬底进行处理的衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。衬底例如可以列举半导体衬底、FPD(FlatPanelDisplay，平板显示器)用衬底、光掩模用衬底、光盘用衬底、磁盘用衬底、陶瓷衬底及太阳电池用衬底等。FPD例如可以列举液晶显示装置、有机EL(electroluminescence，电致发光)显示装置等。
技术介绍
以往的衬底处理装置具备衬底处理装置主体及载具缓冲装置(存放装置)(例如参照日本专利特开2011-187796号公报)。衬底处理装置主体具备装载块及处理块。处理块在水平方向上与装载块连结。装载块内置着衬底搬送机械手。在装载块的外壁设有载具载置台。载具载置台供载置能够收纳多个衬底的载具。载具载置台隔着搬送机械手设于处理块的相反侧。载具缓冲装置具备保管载具的多个载具保管架及载具搬送机构。载具搬送机构以在多个载具保管架与载具载置台之间搬送载具的方式构成。
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]以往的载具缓冲装置配置为隔着装载块处于处理块的相反侧，即在水平方向上从装载块延长到载具载置台侧。这种以往的载具缓冲装置有可能导致衬底处理装置的设置面积即占据面积变大。本专利技术是鉴于这种情况完成的，目的在于提供一种能够减小衬底处理装置的占据面积的衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。[解决问题的技术手段]本专利技术为了达成这种目的，采用如下构成。即，本专利技术的对衬底进行处理的衬底处理装置包含以下要素：第1装载块，设有用于载置能够收纳多个衬底的载具的至少1个第1载具载置台；第1处理块，在水平方向上与所述第1装载块连结；多个载具保管架，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，分别保管所述载具；及载具搬送机构，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。根据本专利技术的衬底处理装置，载具搬送机构在至少1个第1载具载置台与多个载具保管架之间搬送载具。多个载具保管架及载具搬送机构分别搭载在第1装载块及第1处理块中的至少任一个之上。因此，也可以不从装载块在水平方向上延长地设置多个载具保管架及载具搬送机构，能够削减在水平方向上延长的设置面积。即，能够减小衬底处理装置的占据面积。另外，在所述衬底处理装置中，优选所述第1处理块包含配置成1列的多个处理块，所述第1装载块在水平方向上与所述多个处理块中的一端的第1处理块连结，所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块及所述多个处理块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块及所述多个处理块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。由此，对于具备配置成1列的多个处理块的衬底处理装置，能够减小衬底处理装置的占据面积。另外，在所述衬底处理装置中，优选还具备第2装载块，该第2装载块在水平方向上与所述多个处理块中的另一端的处理块连结，且设有用于载置所述载具的至少1个第2载具载置台，所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台、所述多个载具保管架及所述至少1个第2载具载置台之间搬送所述载具。由此，对于在2个装载块之间配置着多个处理块的衬底处理装置，能够减小衬底处理装置的占据面积。另外，在所述衬底处理装置中，优选还具备第2装载块，该第2装载块配置在所述多个处理块中的一端侧的处理块与另一端侧的处理块之间，且设有用于载置所述载具的至少1个第2载具载置台，所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台、所述多个载具保管架及所述至少1个第2载具载置台之间搬送所述载具。由此，对于在2个处理块之间配置着第2装载块的衬底处理装置，能够减小衬底处理装置的占据面积。另外，在所述衬底处理装置中，优选还具备第2载具搬送机构，该第2载具搬送机构隔着所述第2装载块搭载在所述载具搬送机构即第1载具搬送机构的相反侧且所述另一端侧的处理块之上，搬送所述载具。由于利用2台载具搬送机构搬送载具，所以能够提高载具搬送效率。因此，能够提高衬底处理装置的处理量。另外，在所述衬底处理装置中，优选还具备配置在所述第2装载块之上的中继用载具载置台，所述第1载具搬送机构使用所述中继用载具载置台将所述载具搬送到所述第2载具搬送机构，另外，所述第2载具搬送机构使用所述中继用载具载置台将所述载具搬送到所述第1载具搬送机构。能够利用第2装载块之上的区域作为2个载具搬送机构的中继用载置台。因此，能够更顺利地进行载具的交付。另外，在所述衬底处理装置中，优选所述载具搬送机构具备：固持部，固持所述载具；臂部，安装着所述固持部；驱动部，支撑所述臂部；及导轨，搭载在所述多个处理块中的至少2个处理块及所述第2装载块之上；所述驱动部构成为能够使所述固持部及所述臂部沿着所述导轨移动，所述导轨搭载在形成于所述第2装载块的槽部上。由于导轨搭载在形成于第2装载块的槽部上，所以能够抑制载具搬送机构的高度，并且能够利用隔着第2装载块与载具搬送机构为相反侧的区域作为载具保管架。另外，在所述衬底处理装置中，优选所述载具搬送机构具备：固持部，固持所述载具；臂部，安装着所述固持部；驱动部，支撑所述臂部；及导轨，搭载在所述多个处理块中的至少2个处理块之上；所述驱动部构成为能够使所述固持部及所述臂部沿着所述导轨移动。能够扩大载具搬送机构的载具搬送范围，并且能够利用多个区域作为载具保管架。另外，在所述衬底处理装置中，优选还具备第2装载块，该第2装载块相对于所述第1处理块连结在所述第1装载块的相反侧，且设有用于载置所述载具的至少1个第2载具载置台，所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块、所述第1处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块、所述第1处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台、所述多个载具保管架及所述至少1个第2载具载置台之间搬送所述载具。由此，对于在2个装载块之间隔着单一的处理块的衬底处理装置，能够减小衬底处理装置的占据面积。另外，在所述衬底处理装置中，优选所述至少1个第1载具载置台设于比所述第1处理块的上表面高的位置。搭载在第1装载块及第1处理块中的至少一个之上的载具搬送机构容易搬送载置在第1载具载置台上的载具。另外，在所述衬底处理装置中，优选所述至少1个第1载具载置台设于所述第1处理块的上方。能够使第1载具载置台朝向载具搬送机构。由此，载具搬送机构容易搬送载置在第1载具载置台上的载具。另外，由于能够抑制在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底处理装置，对衬底进行处理，且包含以下要素：/n第1装载块，设有用于载置能够收纳多个衬底的载具的至少1个第1载具载置台；/n第1处理块，在水平方向上与所述第1装载块连结；/n多个载具保管架，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，分别保管所述载具；及/n载具搬送机构，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。/n

【技术特征摘要】
20181228 JP 2018-2487391.一种衬底处理装置，对衬底进行处理，且包含以下要素：
第1装载块，设有用于载置能够收纳多个衬底的载具的至少1个第1载具载置台；
第1处理块，在水平方向上与所述第1装载块连结；
多个载具保管架，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，分别保管所述载具；及
载具搬送机构，搭载在所述第1装载块及所述第1处理块中的至少一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。


2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中
所述第1处理块包含配置成1列的多个处理块，
所述第1装载块在水平方向上与所述多个处理块中的一端的处理块连结，
所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块及所述多个处理块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，
所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块及所述多个处理块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台与所述多个载具保管架之间搬送所述载具。


3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其还具备第2装载块，
该第2装载块在水平方向上与所述多个处理块中的另一端的处理块连结，且设有用于载置所述载具的至少1个第2载具载置台，
所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，
所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台、所述多个载具保管架及所述至少1个第2载具载置台之间搬送所述载具。


4.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其还具备第2装载块，
该第2装载块配置在所述多个处理块中的一端侧的处理块与另一端侧的处理块之间，且设有用于载置所述载具的至少1个第2载具载置台，
所述多个载具保管架搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，分别保管所述载具，
所述载具搬送机构搭载在所述第1装载块、所述多个处理块及所述第2装载块中的至少任一个之上，在所述至少1个第1载具载置台、所述多个载具保管架及所述至少1个第2载具载置台之间搬送所述载具。


5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其还具备第2载具搬送机构，
该第2载具搬送机构隔着所述第2装载块搭载在所述载具搬送机构即第1载具搬送机构的相反侧且所述另一端侧的处理块之上，搬送所述载具。


6.根据权利要求5所述的衬底处理装置，其
还具备配置在所述第2装载块之上的中继用载具载置台，
所述第1载具搬送机构使用所述中继用载具载置台将所述载具搬送到所述第2载具搬送机构，另外，
所述第2载具搬送机构使用所述中继用载具载置台将所述载具搬送到所述第1载具搬送机构。


7.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中
所述载具搬送机构具备：固持部，固持所述载具；臂部，安装着所述固持部；驱动部，支撑所述臂部；及导轨，搭载在所述多个处理块中的至少2个处理块及所述第2装载块之上；
所述驱动部构成为能够使所述固持部及所述臂部沿着所述导轨移动，
所述导轨搭载在形成于所述第2装载块的槽部上。


8.根据权利要求1至4中任一项所述的衬底处理装置，其中
所述载具搬送机构具备：固持部，固持...

【专利技术属性】
技术研发人员：桑原丈二，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP