一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构及制作方法技术

本发明专利技术公开了一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构及制作方法，在铌酸锂衬底上制作波导区域以及集成光学调制器芯片上的调制电极，调制电极为推挽式结构，包括两侧的信号电极与中心的地电极，信号电极与地电极均为平行于波导区域的长条状，波导区域为Y型分支，位于衬底表面之下，调制电极对称分布于波导区域两侧，位于衬底表面之下，均匀蒸镀并电镀于沉降式凹槽的三个表面。本发明专利技术根据电场与光场之间的分布特性，优化传统电极设计模式，采用沉降式的电极替代传统平面电极，使得调制器电光作用区域的电场分布更为均一，有效抑制了由于电场分布偏差引入的调制误差，为高精度光纤陀螺的研制提供了有效可行方案。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构及制作方法
本专利技术涉及一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构，属于集成光学芯片设计

技术介绍
光纤陀螺是一种重要的惯性角速度传感器，已广泛运用于卫星、潜艇、车辆等应用领域，具有寿命长、抗干扰性能好、启动时间短、动态范围大、可靠性高等特点。铌酸锂集成光学调制器是闭环光纤陀螺系统中的核心光学组件之一，其参数指标直接影响光纤陀螺系统的性能。在闭环光纤陀螺中，集成光学调制器产生相位变化用于反馈补偿Sagnac相移，以维持光纤陀螺的最佳工作点。因此，在光纤陀螺的全波调制过程中，均要求集成光学调制器具有精确的相位响应，以满足闭环光纤陀螺的反馈调制需求，降低调制解调过程中的误差信号。在实际应用中，施加在调制器上的阶梯波调制信号关于零电位对称，若要实现整个调制过程中准确的相位响应，需要调制器在正反向调制信号作用下具有相同的调制特性。通常将相同大小、不同方向调制信号作用下调制器相位响应的差异称为调制器的调制不对称性。根据铌酸锂晶体的电光效应能够推出，调制信号中的z向(沿铌酸锂晶体的z轴)分量是产生相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构，其特征在于：在集成光学调制器芯片(3)上制作波导区域(4)以及调制电极(2)，调制电极(2)为推挽式结构，包括两侧的信号电极与中心的地电极，信号电极与地电极均为平行于波导区域的长条状，其特征在于：所述的波导区域(4)为Y型分支，位于集成光学调制器芯片(3)表面之下，所述的调制电极(2)对称分布于波导区域两侧，位于集成光学调制器芯片(3)表面之下，均匀蒸镀并电镀于沉降式凹槽的三个表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构，其特征在于：在集成光学调制器芯片(3)上制作波导区域(4)以及调制电极(2)，调制电极(2)为推挽式结构，包括两侧的信号电极与中心的地电极，信号电极与地电极均为平行于波导区域的长条状，其特征在于：所述的波导区域(4)为Y型分支，位于集成光学调制器芯片(3)表面之下，所述的调制电极(2)对称分布于波导区域两侧，位于集成光学调制器芯片(3)表面之下，均匀蒸镀并电镀于沉降式凹槽的三个表面。


2.如权利要求1所述的一种用于光纤陀螺的集成光学调制器电极结构的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：

【专利技术属性】
技术研发人员：宋镜明，刘嘉琪，张春熹，高福宇，张祖琛，宋凝芳，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京;11