一种用于半导体设备的循环液温控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种用于半导体设备的循环液温控装置，包括外箱体和安装在外箱体内部的水箱、泵、换热器、过滤器，外箱体的后面板上设置有冷却水出水口、冷却水回水口、循环液出水口和循环液回水口；泵固定安装在水箱上，泵的出水口通过管道连接循环液出水口；换热器上设置有循环液入口、循环液出口、冷却水入口和冷却水出口，循环液入口通过管道连接循环液回水口，循环液出口通过管道连接过滤器的入口，冷却水入口通过管道连接冷却水回水口，冷却水出口通过管道连接冷却水出水口；过滤器的出口通过管道连接水箱回水口。本实用新型专利技术装置结构简单、安全性高，可以实现自动化控制半导体设备的循环液温度和水阻值的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体设备的循环液温控装置
本技术涉及一种用于半导体设备的循环液温度控制装置，属于半导体设备

技术介绍
半导体作为重要的导电材料，目前广泛应用于计算机、大型精密仪器等领域，在半导体的使用过程中，在半导体设备长时间工作时，必然伴随设备发热，为了保证设备的正常运行，往往需要给半导体设备配备制冷或者恒温装置，目前常用的有加热管、风扇、制冷件等，制冷件中最常用的就是循环液制冷，在使用循环液制冷过程中，对循环液的温度、循环液的水阻值都有较高要求。
技术实现思路
为了实现半导体设备降温需求，本技术提出了一种用于半导体设备的循环液温控装置，通过水箱内的循环液为外部半导体设备降温，在循环降温过程中，实时采集装置各处的温度、压力、流量等模拟量信号，由控制值控制泵、加热器、阀等设备，实现对循环液温度和水阻值的控制。为解决上述技术问题，本技术采用了如下技术手段：一种用于半导体设备的循环液温控装置，包括外箱体和安装在外箱体内部的水箱、泵、换热器、过滤器，所述外箱体的后面板上设置有电源插座和数据接口，外箱体内还安装有三相进线端子、第一断路器、第二断路器、第三断路器、第一接触器、第二接触器、固态继电器、相序保护器、隔离变压器、开关电源、控制器、模拟信号输入输出模块、热电阻模块、数字信号输入输出模块、第一温度传感器、第二温度传感器、第三温度传感器、压力传感器、水阻值传感器和流量计，所述水箱内安装有加热器；所述电源插座连接三相进线端子的一端，三相进线端子的另一端连接所述第一断路器的一端，第一断路器的另一端分别连接所述第二断路器的一端、第三断路器的一端、开关电源的一端、隔离变压器的一端和相序保护器的一端，第二断路器的另一端连接所述第一接触器的一端，第一接触器的另一端连接所述固态继电器的一端，固态继电器的另一端连接所述加热器，第三断路器的另一端连接所述第二接触器的一端，第二接触器的另一端连接所述泵，开关电源的另一端、隔离变压器的另一端和相序保护器的另一端分别连接所述控制器，所述模拟信号输入输出模块的一端连接控制器，模拟信号输入输出模块的另一端分别连接所述压力传感器、水阻值传感器和流量计，所述热电阻模块的一端连接控制器，热电阻模块的另一端分别连接所述第一温度传感器、第二温度传感器和第三温度传感器，所述数字信号输入输出模块的一端连接控制器，数字信号输入输出模块的另一端通过所述数据接口连接外部设备。进一步的，所述外箱体的后面板上还设置有冷却水出水口、冷却水回水口、循环液加液口、循环液出水口和循环液回水口，所述换热器上设置有循环液入口、循环液出口、冷却水入口和冷却水出口；所述泵固定安装在水箱上，泵的入水口连接在水箱内部，泵的出水口通过管道连接所述循环液出水口，所述循环液入口通过管道连接循环液回水口，所述循环液出口通过管道连接过滤器的入口，所述冷却水入口通过管道连接冷却水回水口，所述冷却水出口通过管道连接冷却水出水口，过滤器的出口通过管道连接水箱回水口，所述循环液加液口连接水箱内部。进一步的，所述第一温度传感器和压力传感器分别安装在泵的出水口处，第二温度传感器和水阻值传感器分别安装在水箱上，第三温度传感器安装在过滤器的出口处，流量计安装在循环液回水口处。进一步的，所述装置还包括DI阀和过滤箱，所述DI阀设置在泵的出水口处，DI阀通过软管连接过滤箱的入口，过滤箱的出口通过软管连接水箱的过滤液回水口，DI阀与控制器电连接。进一步的，所述过滤箱内部填充有树脂材料。进一步的，所述外箱体的前面板上设置有触摸显示屏和急停按钮，所述触摸显示屏和急停按钮分别与控制器电连接，所述外箱体的侧面板上设置有散热口。进一步的，所述外箱体的底部分别安装有万向脚轮和地脚，所述地脚通过螺柱固定在外箱体底部。进一步的，所述加热器采用电热管。进一步的，所述外箱体内部还安装有风扇和散热片。采用以上技术手段后可以获得以下优势：本技术提出了一种用于半导体设备的循环液温控装置，该装置包括主回路和DI回路，主回路：通过循环液加液口为装置内部的水箱添加循环液，接通电源后，控制器发送控制信号到泵，泵将水箱内的循环液抽出，从循环液出水口连接到装置外部的需要降温的半导体设备处，循环液吸收半导体设备的温度变为高温液体，然后从循环液回水口流入换热器，换热器利用送外部接入的冷却水为循环液降温，降温后的循环液通过过滤器重新回到水箱内部，本技术装置在工作过程中，通过多个传感器实时测量装置内部各处的温度、压力和流量，当循环液温度过低时，控制器控制断路器打开加热器，为循环液加热，此外，控制器还可以通过控制信号控制冷水阀，改变冷却水流量，进而控制循环液温度。DI回路：当循环液水阻值过低时，控制器打开DI阀，循环液被泵从水箱抽出流入入过滤箱内，由过滤箱内的树脂材料进行过滤，得到去离子水。本技术装置通过电路结构和硬件结构的组合，实现了自动化控制半导体设备的循环液温度和水阻值的功能，装置的结构简单、安全性高、温控效果好，装置底部安装有万向脚轮，适用于各种工作场合。附图说明图1为本技术一种用于半导体设备的循环液温控装置的外部结构示意图。图2为本技术一种用于半导体设备的循环液温控装置的背部示意图。图3为本技术循环液温控装置内部的结构示意图。图4为本技术循环液温控装置内部的后侧结构示意图。图5为本技术循环液温控装置内部的右侧结构示意图。图6为本技术循环液温控装置中泵和水箱的结构示意图。图7为本技术循环液温控装置的电路示意图。图8为本技术循环液温控装置中控制器的引脚连接示意图。图中，1是外箱体，2是水箱，3是泵，4是换热器，5是过滤器，6是触摸显示屏，7是急停按钮，8是电源插座，9是电源开关，10是数据接口，11是冷却水出水口，12是冷却水回水口，13是循环液加液口，14是循环液出水口，15是循环液回水口，16是散热口，17是风扇，18是万向脚轮，19是地脚，20是排液口，21是四氟管，22是三相进线端子，23是第二断路器，24是第三断路器，25是第一接触器，26是第二接触器，27是变频器，28是散热片，29是固态继电器，30是隔离变压器，31是开关电源，32是保险丝，33是晶体管输出板，34是控制器，35是数字信号输入输出模块，36是模拟信号输入输出模块，37是热电阻模块，38是第一断路器，39是流量计，40是冷水阀，41是排液阀，42是DB9接口，43是DB25接头，44是DI阀，45是过滤箱，46是第三温度传感器，47是回水阀，48是漏液开关，49是水箱回水口，50是压力传感器，51是加热器，52是第一温度传感器，53是泵的出水口，54是水阻值传感器，55是第二温度传感器，56是过滤液回水口。具体实施方式下面结合附图对本技术的技术方案作进一步说明：一种用于半导体设备的循环液温控装置，包括外箱体1和安装在外箱体内部的水箱2、泵3、换热器4、过滤器5。如图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体设备的循环液温控装置，包括外箱体和安装在外箱体内部的水箱、泵、换热器、过滤器，其特征在于，所述外箱体的后面板上设置有电源插座和数据接口，外箱体内还安装有三相进线端子、第一断路器、第二断路器、第三断路器、第一接触器、第二接触器、固态继电器、相序保护器、隔离变压器、开关电源、控制器、模拟信号输入输出模块、热电阻模块、数字信号输入输出模块、第一温度传感器、第二温度传感器、第三温度传感器、压力传感器、水阻值传感器和流量计，所述水箱内安装有加热器；/n所述电源插座连接三相进线端子的一端，三相进线端子的另一端连接所述第一断路器的一端，第一断路器的另一端分别连接所述第二断路器的一端、第三断路器的一端、开关电源的一端、隔离变压器的一端和相序保护器的一端，第二断路器的另一端连接所述第一接触器的一端，第一接触器的另一端连接所述固态继电器的一端，固态继电器的另一端连接所述加热器，第三断路器的另一端连接所述第二接触器的一端，第二接触器的另一端连接所述泵，开关电源的另一端、隔离变压器的另一端和相序保护器的另一端分别连接所述控制器，所述模拟信号输入输出模块的一端连接控制器，模拟信号输入输出模块的另一端分别连接所述压力传感器、水阻值传感器和流量计，所述热电阻模块的一端连接控制器，热电阻模块的另一端分别连接所述第一温度传感器、第二温度传感器和第三温度传感器，所述数字信号输入输出模块的一端连接控制器，数字信号输入输出模块的另一端通过所述数据接口连接外部设备。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备的循环液温控装置，包括外箱体和安装在外箱体内部的水箱、泵、换热器、过滤器，其特征在于，所述外箱体的后面板上设置有电源插座和数据接口，外箱体内还安装有三相进线端子、第一断路器、第二断路器、第三断路器、第一接触器、第二接触器、固态继电器、相序保护器、隔离变压器、开关电源、控制器、模拟信号输入输出模块、热电阻模块、数字信号输入输出模块、第一温度传感器、第二温度传感器、第三温度传感器、压力传感器、水阻值传感器和流量计，所述水箱内安装有加热器；
所述电源插座连接三相进线端子的一端，三相进线端子的另一端连接所述第一断路器的一端，第一断路器的另一端分别连接所述第二断路器的一端、第三断路器的一端、开关电源的一端、隔离变压器的一端和相序保护器的一端，第二断路器的另一端连接所述第一接触器的一端，第一接触器的另一端连接所述固态继电器的一端，固态继电器的另一端连接所述加热器，第三断路器的另一端连接所述第二接触器的一端，第二接触器的另一端连接所述泵，开关电源的另一端、隔离变压器的另一端和相序保护器的另一端分别连接所述控制器，所述模拟信号输入输出模块的一端连接控制器，模拟信号输入输出模块的另一端分别连接所述压力传感器、水阻值传感器和流量计，所述热电阻模块的一端连接控制器，热电阻模块的另一端分别连接所述第一温度传感器、第二温度传感器和第三温度传感器，所述数字信号输入输出模块的一端连接控制器，数字信号输入输出模块的另一端通过所述数据接口连接外部设备。


2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的循环液温控装置，其特征在于，所述外箱体的后面板上还设置有冷却水出水口、冷却水回水口、循环液加液口、循环液出水口和循环液回水口，所述换热器上设置有循环液入口、循环液出口、冷却水入口和冷却水出口；
所述泵固定安装在水箱上，泵的入水...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘鸿当，赵一航，周明辉，
申请(专利权)人：河北艾法茨科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13