高精度球度气动量规制造技术

一种高精度球度气动量规，它包括基座、量规、气针式传感器，其特 征是量规为球面，固定在基座上，在量规的球面上均匀布置若干个气针式 传感器，气针式传感器由进气喷嘴和测量喷嘴构成，在气针式传感器旁连 有排气槽，量规的球面为凸球面和凹球面，与被测球外缘做到相吻合。本 实用新型专利技术的优点是：(1)使用亚微米测量精度的气针式传感器，达到分辨 率0.1μm，测量范围20μm；(2)使用多传感器、多测点的分布测量方式， 同步测量取样点上的尺寸相对偏移量；(3)气针式传感器测量端位于同一球 面上，测量喷嘴的中轴线交点即为该球面圆心；(4)传感器数量根据额定测 量球面半径的大小可以优化选择；(5)使用传感器测量的相对偏移量求解出 对应测量点的坐标，并进行球面拟合，求算出被测球面的半径、球度。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁发云，赵前程，邓善熙，
申请(专利权)人：南昌大学，
类型：实用新型
国别省市：