【技术实现步骤摘要】
本技术属于长度计量与测试
进行三座标测量机的精度检定常使用步距规、一维球列或二维球阵等具有若干标准步距(间距)的标准检具进行。图1是步距规示意图。图2是一维球列示意图。图3是二维球阵示意图。步距规是通过其上相同方向的平行测量面之间的距离形成一系列标准步距,如图1所示。一维球列是将其上各球同方向的垂直切线之间形成的距离作为标准步距,如图2所示。二维球阵是一维球列的二维体现,可以具有两个方向和尺寸的步距,如图3所示。因为这些标准步距用于检测测量机或机床的精度,本身应具有更高的检定精度,所以要用高精度的双频激光干涉仪来进行测量以获得所需的标准步距。在测量步距时按照双频激光干涉仪的常用检测装置和方法,为了不挡光,激光测量线与步距被测线必须相距一段距离,但这样会产生阿贝误差,从而降低测量精度,而且测量不连续。在″H.J.Rademacher,A COMPARATOR FOR-->CALIBRATION OF LONG STANDARDS OF LENGTH,ACTAIMEKO,1985″介绍了目前进行步距规检定的一种双光路测距装置,这种测量方法是利用偏振光经1/4波片后偏振方向旋转45°的特点,在分光镜的出光孔前加一1/4波片,将双频激光中偏振方向相互垂直的两种偏振光两次经1/4波片后偏转90°,使透射光变成反射光,反射光变成透射光,利用两个适当放置的平面反射镜来形成两路光线,在与步距规相接触的测量点同相邻光路中心线的距离和两光路中心线的距离相等的情况下,测距装置移动时倾斜产生的阿贝误差可以被两个光路的光程差所抵消。这种测距装置是用接触式传感器对测量面进 ...
【技术保护点】
用于测量步距的双光路激光测距装置,该装置是由光路转折装置(1)和可移动测量装置(6)组成;所说光路转折装置(1)由分光镜(2)、平面反射镜(3)、1/4波片(4)和角锥棱镜(5)组成;平面反射镜(3)和角锥棱镜(5)分别位于分光镜(2)的两侧,平面反射镜(3)与分光镜(2)的分光面平行,1/4波片(4)置于分光镜(2)出光孔前并与光束垂直,本实用新型的特征在于:所说可移动测量装置(6)由直角棱镜(7)、平面反射镜(8)、测头(9)和支承(10)组成;直角棱镜(7)的脊与测头(9)的中心距离等于直角棱镜(7)的脊到射向平面反射镜(8)的二光束中心的距离之两倍;直角棱镜(7)、平面反射镜(8)和测头(9)安装在同一支承(10)上,可以沿激光光路方向和与直角棱镜(7)的脊相平行的方向做整体移动,移动过程中光路不中断。
【技术特征摘要】
1、用于测量步距的双光路激光测距装置,该装置是由光路转折装置(1)和可移动测量装置(6)组成;所说光路转折装置(1)由分光镜(2)、平面反射镜(3)、1/4波片(4)和角锥棱镜(5)组成;平面反射镜(3)和角锥棱镜(5)分别位于分光镜(2)的两侧,平面反射镜(3)与分光镜(2)的分光面平行,1/4波片(4)置于分光镜(2)出光孔前并与光束垂直,本实用新型的特...
【专利技术属性】
技术研发人员:张国雄,臧艳芬,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:实用新型
国别省市:12[中国|天津]
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